一种单晶硅棒两线开方机的制作方法

文档序号:16610202发布日期:2019-01-15 22:11阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种单晶硅棒两线开方机,包括底座(1),所述底座(1)上设有上料组件(2)、下料组件(3)、切割头机构(5)、夹持机构(6)及进给滑台组件(7),其特征在于,所述上料组件(2)和下料组件(3)通过支撑组件(4)与底座(1)连接,所述支撑组件(4)垂直于进给滑台组件(7)的进给方向设置,所述上料组件(2)和下料组件(3)分别位于支撑组件(4)的两端,且上料组件(2)和下料组件(3)的进给方向垂直于进给滑台组件(7)的进给方向;

所述进给滑台组件(7)通过立柱框架(8)设于底座(1)上方,所述夹持机构(6)固设于进给滑台组件(7)的下方,且夹持机构(6)与进给滑台组件(7)同步进给,所述切割头机构(5)位于支撑组件(4)的一侧,切割线(10)绕过切割头机构(5)形成平行线以切割单晶硅棒。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒两线开方机,其特征在于,所述上料组件(2)包括上料固定板(201)、第一夹爪(202)和第二夹爪(203),所述第一夹爪(202)和\或第二夹爪(203)与上料固定板(201)活动连接,所述第一夹爪(202)和第二夹爪(203)的纵截面均呈V型,且两者的V型开口相对设置以形成容纳单晶硅棒的空间,所述上料固定板(201)的上表面且位于第一夹爪(202)、第二夹爪(203)之间设有上料托块(204)。

3.根据权利要求2所述的一种单晶硅棒两线开方机,其特征在于,所述下料组件(3)包括下料固定板(301)、下料气缸(302)、托板(303)和纵截面呈L型的下料托块(304),所述下料气缸(302)的缸体端与下料固定板(301) 的上表面固连,其活塞端与托板(303)的下表面固连,所述下料托块(304)设为2个,且2个下料托块(304)相对的设于托板(303)的上表面,所述下料固定板(301)与托板(303)之间设有导向柱(305)。

4.根据权利要求3所述的一种单晶硅棒两线开方机,其特征在于,所述支撑组件(4)包括垫板(401)、上料电缸模组(402)和下料电缸模组(403),所述上料电缸模组(402)的导轨滑块上设有上料组件支撑板(404),所述下料电缸模组(403)的导轨滑块上设有与下料固定板(301)固连的下料组件支撑板(405),所述上料组件支撑板(404)上设有上料缓冲组件,所述上料缓冲组件包括第一缓冲座(406)、第二缓冲座(407)和缓冲弹簧(408),所述第一缓冲座(406)的底部与上料组件支撑板(404)固连,其顶部为自由端,所述第二缓冲座(407)的底部为自由端,其顶部与上料固定板(201)固连,所述缓冲弹簧(408)的两端分别连接第一缓冲座(406)和第二缓冲座(407)。

5.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒两线开方机,其特征在于,所述进给滑台组件(7)包括滑台(701)、滑台驱动电机(702)和进给丝杠(703),所述进给丝杠(703)的两端分别通过丝杠支撑架(704)与立柱框架(8)固连,所述进给丝杠(703)的外围套设有与其螺纹配合的滑动座(706),所述滑动座(706)的底部与滑台(701)固连,其一侧与滑台驱动电机(702)的输出端连接,所述滑台(701)通过位于其下方的滑块(705)与立柱框架(8)滑动连接。

6.根据权利要求5所述的一种单晶硅棒两线开方机,其特征在于,所述夹持机构(6)包括定夹头(601)、动夹头(602)和夹边皮组件,所述定夹头(601)的顶端与滑台(701)固连,所述动夹头(602)的顶端与滑台(701)滑动连接,所述定夹头(601)、动夹头(602)均为浮动夹头,所述浮动夹头包括夹头本体(604)、设置于夹头本体后侧的膜片(605)以及设置于所述夹头本体(604)与膜片(605)之间的球头(606)。

7.根据权利要求6所述的一种单晶硅棒两线开方机,其特征在于,所述夹边皮组件设为2个,且2个夹边皮组件分别与定夹头(601)、动夹头(602)连接,所述夹边皮组件至少包括2个夹边皮气缸(603),所述至少2个夹边皮气缸(603)位于定夹头(601)或动夹头(602)的外围,所述2个夹边皮组件中至少一者与边皮旋转元件(614)连接。

8.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒两线开方机,其特征在于,所述切割头机构(5)包括左切割组件(501)、右切割组件(502)和绕线组件,所述左切割组件(501)、右切割组件(502)对称分布,且两者之间设有供单晶硅棒穿过的让位间隙,所述左切割组件(501)和右切割组件(502)均包括线网支架(503)及位于线网支架(503)上竖向分布的第一切割轮(504)和第二切割轮(505),所述第一切割轮(504)和第二切割轮(505)位于同一平面内,位于左切割组件(501)和右切割组件(502)的线网支架相对设置,切割线(10)依次绕过位于左切割组件(501)和右切割组件(502)的第一切割轮、第二切割轮形成用于切割单晶硅棒的平行线,所述线网支架(503)的底部与底座(1)可滑动连接。

9.根据权利要求8所述的一种单晶硅棒两线开方机,其特征在于,所述绕线组件包括收线筒(506)和放线筒(507),所述收线筒(506)和放线筒(507)均沿着水平向且平行于线网支架(503)设置,且两者位于切割机构不同侧,所述收线筒(506)和放线筒(507)处均设有绕线驱动组件和排线驱动组件。

10.根据权利要求1-9任一所述的一种单晶硅棒两线开方机,其特征在于,所述底座(1)远离支撑组件(4)的一侧设有接边皮组件(9),所述接边皮组件(9)包括接边皮输送机和接料箱,所述接边皮输送机包括接边皮电机(901)、皮带(902)、斜坡(903)和接料箱,所述接边皮电机(901)带动皮带(902)运转,所述接料箱的顶端正对切割线(10)形成的平行线设置,其底端与斜坡(903)相接,所述斜坡(903)与接边皮输送机的机架固连。

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