一种半导体notch寻边器定位手轮的制作方法

文档序号:22240708发布日期:2020-09-15 19:53阅读:937来源:国知局
一种半导体notch寻边器定位手轮的制作方法

本实用新型涉及寻边器技术领域,具体为一种半导体notch寻边器定位手轮。



背景技术:

半导体晶片切口英文名称为notchonasemiconductorwafer。有意在硅片周边上加工成具有规定形状和尺寸的凹槽,通过凹槽中心的直径平行于规定的的低指数晶向,用做识别标示。目前,现有的半导体notch寻边器通过手轮带动滚筒转动,用以平衡半导体晶片进行寻边,但是现有的手轮在转动时,不便于对其进行定位,导致滚筒易松动,使得寻边位置不精确,鉴于此,我们提出一种半导体notch寻边器定位手轮。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种半导体notch寻边器定位手轮,以解决上述背景技术中提出的寻边器手轮不便于进行定位的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:

一种半导体notch寻边器定位手轮,包括前面板,所述前面板上设有通孔,所述前面板的一侧设有后面板,所述后面板的上表面设有转动座,所述前面板和所述后面板之间紧密粘接有横梁,所述横梁靠近所述前面板的一端紧密粘接有限位板,所述通孔和所述转动座之间设有转轴,所述转轴上紧密粘接有滚筒,所述转轴穿过所述通孔一端的两侧均紧密焊接有限位柱,所述转轴靠近所述限位柱的一端设有套管,所述套管的两侧均设有滑道,所述套管的一端紧密粘接有齿轮盘,所述齿轮盘上紧密粘接有手轮,所述手轮上设有握把,所述前面板的前表面位于所述通孔的外置处紧密粘接有圆环,所述圆环的内圈设有若干个定位齿。

优选的,所述前面板和所述后面板的底端两侧均设有支撑脚。

优选的,所述转轴穿过所述转动座的一端设有挡块,所述挡块与所述转轴的一端紧密焊接。

优选的,所述转轴的直径与所述套管的内径相适配,所述套管与所述转轴的一端套接配合。

优选的,所述限位柱的一端穿过所述滑道,所述限位柱通过所述滑道与所述套管滑动连接。

优选的,所述齿轮盘通过所述定位齿与所述圆环啮合。

优选的,所述定位齿设有12-36个,呈环形等间距排列。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该半导体notch寻边器定位手轮,寻边操作完成后,将套管向转轴上套入,限位柱向滑道内滑动,且齿轮盘插入圆环的内圈,并使得定位齿与齿轮盘啮合,使得手轮无法再转动,从而起到定位的效果,防止滚筒松动,提高寻边位置的精确度,结构简单,使用方便,解决寻边器手轮不便于进行定位的问题。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图;

图2为本实用新型图1中a处结构放大图;

图3为本实用新型中前面板的结构示意图;

图4为本实用新型中转轴和套管的结构示意图;

图5为本实用新型中套管的结构示意图。

图中:1、前面板;11、通孔;12、后面板;121、转动座;13、横梁;131、限位板;14、支撑脚;2、转轴;21、滚筒;22、限位柱;23、挡块;3、套管;31、滑道;32、齿轮盘;33、手轮;331、握把;34、圆环;341、定位齿。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外,在本实用新型的描述中,“若干”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。

实施例1

一种半导体notch寻边器定位手轮,如图1-5所示,包括前面板1,前面板1上设有通孔11,前面板1的一侧设有后面板12,后面板12的上表面设有转动座121,前面板1和后面板12之间紧密粘接有横梁13,横梁13靠近前面板1的一端紧密粘接有限位板131,通孔11和转动座121之间设有转轴2,转轴2上紧密粘接有滚筒21,转轴2穿过通孔11一端的两侧均紧密焊接有限位柱22,转轴2靠近限位柱22的一端设有套管3,套管3的两侧均设有滑道31,套管3的一端紧密粘接有齿轮盘32,齿轮盘32上紧密粘接有手轮33,手轮33上设有握把331,前面板1的前表面位于通孔11的外置处紧密粘接有圆环34,圆环34的内圈设有若干个定位齿341。

本实施例中,前面板1和套管3整体均采用pvc(聚氯乙烯)材质,该材质具有良好的耐磨耐腐蚀性,且结构稳固,成本较低等优点,延长其使用寿命。

值得注意的是,滚筒21采用硅胶材质,该材质具有良好的防滑效果,且滚筒21与横梁13的上表面存在一定的间隙,使得半导体能夹持在滚筒21和横梁13之间,由于滚筒21的外表面与半导体之间存在一定的摩擦力,使得半导体随着滚筒21的转动而在横梁的表面移动,且当半导体的一侧与横梁13的侧边贴合以完成寻边操作。

进一步的,转轴2穿过转动座121的一端设有挡块23,挡块23与转轴2的一端紧密焊接,利用挡块23对转轴2的一端进行限位,且转动座121上设有与转轴2直径相适配的圆孔,转轴2的一端穿过圆孔,其另一端穿过前面板1上的通孔11,使得转轴2能在转动座121和前面板1之间转动。

除此之外,转轴2的直径与套管3的内径相适配,套管3与转轴2的一端套接配合,转轴2的直径右端为2cm,便于将转轴2向套环3内套入,或将套管3箱转轴2外拔出。

值得说明的是,限位柱22的一端穿过滑道31,限位柱22通过滑道31与套管3滑动连接,便于在拔插套管3时,利用限位柱22将转轴2的一端限位在套管3内,同时,转动手轮33时,套管3通过限位柱22带动转轴2在转动座121和前面板1之间转动。

具体的,齿轮盘32通过定位齿341与圆环34啮合,便于当套管3向转轴2套入时,使得齿轮盘32插入圆环34内,并使得定位齿341与齿轮盘32啮合,使得手轮33无法再转动,从而起到定位的效果。

更进一步的,定位齿341设有12-36个,呈环形等间距排列,本实施例中定位齿341的个数优选为24个,便于利用多个定位齿341,提高定位精度。

本实施例中,前面板1和后面板12上的转动座121之间设有转轴2,且转轴2能通过通孔11和转动座121在前面板1和后面板12之间转动,因此,利用握把331转动手轮33,使得转轴2带动滚筒21转动,半导体被夹持在滚筒21和横梁13之间,滚筒21的外表面与半导体之间存在一定的摩擦力,使得半导体随着滚筒21的转动而在横梁的表面移动,将手轮33转动合适的位置后,半导体的一侧与横梁13的侧边贴合以完成寻边操作,由于转轴2穿过通孔11一端的两侧均设有限位柱22,且转轴2上套设有套管3,套管3的两侧均设于滑道31,限位柱22的一端穿过滑道31,且限位柱22通过滑道31与套管3滑动连接,套管3一端的齿轮盘32通过定位齿341与圆环34啮合,寻边操作完成后,将套管3向转轴2上套入,限位柱22向滑道31内滑动,且齿轮盘32插入圆环34的内圈,并使得定位齿341与齿轮盘32啮合,使得手轮33无法再转动,从而起到定位的效果,防止滚筒松动,提高寻边位置的精确度,结构简单,使用方便,解决寻边器手轮不便于进行定位的问题。

实施例2

作为本实用新型的第二种优选的实施例,前面板1和后面板12的底端两侧均设有支撑脚14,便于利用支撑脚14对前面板1和后面板12起到支撑作用。

本实用新型的半导体notch寻边器定位手轮在使用时,前面板1和后面板12上的转动座121之间设有转轴2,且转轴2能通过通孔11和转动座121在前面板1和后面板12之间转动,因此,利用握把331转动手轮33,使得转轴2带动滚筒21转动,半导体被夹持在滚筒21和横梁13之间,滚筒21的外表面与半导体之间存在一定的摩擦力,使得半导体随着滚筒21的转动而在横梁的表面移动,将手轮33转动合适的位置后,半导体的一侧与横梁13的侧边贴合以完成寻边操作,由于转轴2穿过通孔11一端的两侧均设有限位柱22,且转轴2上套设有套管3,套管3的两侧均设于滑道31,限位柱22的一端穿过滑道31,且限位柱22通过滑道31与套管3滑动连接,套管3一端的齿轮盘32通过定位齿341与圆环34啮合,寻边操作完成后,将套管3向转轴2上套入,限位柱22向滑道31内滑动,且齿轮盘32插入圆环34的内圈,并使得定位齿341与齿轮盘32啮合,使得手轮33无法再转动,从而起到定位的效果,防止滚筒松动,提高寻边位置的精确度,结构简单,使用方便,解决寻边器手轮不便于进行定位的问题,便于普及和推广。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的仅为本实用新型的优选例,并不用来限制本实用新型,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

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