一种光电半导体加工系统的制作方法

文档序号:20570136发布日期:2020-04-29 00:43阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种光电半导体加工系统,包括支撑底座(1、夹紧输送模块(2)、硅壳(3)、切削模块(4)、横向位移系统(555)、吸盘模块(6)、支撑柱(7)和纵向驱动模块(8),其特征在于:所述支撑底座(1)的上方通过支撑柱(7)固定连接有夹紧输送模块(2),夹紧输送模块(2)的中部搭接有硅壳(3),硅壳(3)的上方设置有切削模块(4),切削模块(4)的顶端设置有横向位移系统(5),所述夹紧输送模块(2)的下方设置有吸盘模块(6),所述横向位移系统(5)的底端设置有纵向驱动模块(8);

所述的夹紧输送模块(2)包括运输底盘(201)、左侧运输电机支架(202)、左侧运输电机(203)、左侧运输驱动齿轮(204)、左侧运输从动齿轮(205)、左侧传送带(206)、右侧运输从动齿轮(207)、右侧传送带(208)、右侧运输驱动电机(209)、右侧运输电机支架(210)和右侧运输驱动齿轮(211),右侧运输从动齿轮(207)和左侧运输从动齿轮(205)的外表面分别齿轮连接有右侧运输驱动齿轮(211)和左侧运输驱动齿轮(204),右侧运输驱动齿轮(211)和左侧运输驱动齿轮(204)的下方分别设置有右侧运输驱动电机(209)和左侧运输电机(203),右侧运输驱动电机(209)和左侧运输电机(203)的输出轴分别与右侧运输驱动齿轮(211)和左侧运输驱动齿轮(204)固定连接,所述右侧运输驱动电机(209)和左侧运输电机(203)与支撑底座(1)分别通过右侧运输电机支架(210)和左侧运输电机支架(202)固定连接;

所述的切削模块(4)包括切削位移支撑板(401)、切削位移螺母(402)、切削旋转轴稳定架(403)、切削传动齿轮(404)、切削旋转轴(405)、切削轮(406)、切削主动齿轮(407)、切削齿轮支架(408)、切削驱动电机(409)和切削电机支架(410),所述切削轮(406)与硅壳(3)搭接,切削轮(406)上表面的中心固定连接有切削旋转轴(405),切削旋转轴(405)外表面的中部套接有切削传动齿轮(404),切削传动齿轮(404)的外表面通过切削齿轮支架(408)齿轮连接有切削主动齿轮(407),切削主动齿轮(407)的上方设置有切削驱动电机(409),切削驱动电机(409)的输出轴与切削主动齿轮(407)固定连接,所述切削齿轮支架(408)的背面固定连接有切削位移支撑板(401),切削位移支撑板(401)与切削旋转轴(405)的顶端通过切削旋转轴稳定架(403)转动连接;

所述的横向位移系统(5)包括位移支撑板(501)、位移驱动从动齿轮(502)、位移驱动丝杠(503)、位移驱动限制杆(504)、位移驱动电机(505)、位移驱动电机支架(506)、纵向位移丝杠(507)、位移驱动主动齿轮(508)、位移驱动支撑板(509)和位移驱动滑动板(510),所述切削位移螺母(402)的中间螺纹连接有位移驱动丝杠(503),位移驱动丝杠(503)的前端固定连接有位移驱动从动齿轮(502),位移驱动从动齿轮(502)的外表面通过位移支撑板(501)齿轮连接有位移驱动主动齿轮(508),所述位移支撑板(501)的侧面螺纹连接有纵向位移丝杠(507),位移支撑板(501)的后方通过位移驱动限制杆(504)固定连接有位移驱动支撑板(509),位移驱动支撑板(509)与位移驱动丝杠(503)转动连接,所述切削位移支撑板(401)与位移驱动限制杆(504)滑动连接,所述位移驱动支撑板(509)的底端固定连接有位移驱动滑动板(510),位移驱动滑动板(510)中部与支撑柱(7)滑动连接,位移驱动滑动板(510)的前端与纵向位移丝杠(507)滑动连接;

所述的吸盘模块(6)包括真空外壳(601)、真空驱动齿轮(602)、真空驱动电机(603)、真空驱动主动齿轮(604)、真空驱动电机支架(605)、真空外壳支架(606)、透气盖(607)和真空轮(608),真空外壳(601)的正面设置有真空驱动齿轮(602),真空驱动齿轮(602)的外表面通过真空外壳支架(606)齿轮连接有真空驱动主动齿轮(604),真空驱动主动齿轮(604)的前方设置有真空驱动电机(603),真空驱动电机(603)的输出轴与真空驱动主动齿轮(604)固定连接,所述真空外壳(601)的内部转动连接有真空轮(608),真空轮(608)与真空驱动齿轮(602)通过连接轴固定连接;

所述的纵向驱动模块(8)包括纵向驱动齿轮支架(801)、纵向驱动齿轮(802)、纵向主动齿轮(803)、纵向驱动电机支架(804)和纵向驱动电机(805),所述纵向驱动电机(805)与支撑底座(1)通过纵向驱动电机支架(804)固定连接,纵向驱动电机(805)的输出轴固定连接有纵向主动齿轮(803),纵向主动齿轮(803)的外表面齿轮连接有纵向驱动齿轮(802),纵向驱动齿轮(802)与纵向位移丝杠(507)的底端固定连接,纵向驱动齿轮(802)与支撑底座(1)通过纵向驱动齿轮支架(801)转动连接。

2.根据权利要求1所述的一种光电半导体加工系统,其特征在于:所述运输底盘(201)与支撑底座(1)通过支撑柱(7)固定连接,运输底盘(201)的上表面搭接有硅壳(3),硅壳(3)的前后两侧分别设置有右侧传送带(208)和左侧传送带(206),所述右侧传送带(208)和左侧传送带(206)的左端分别固定连接有右侧运输从动齿轮(207)和左侧运输从动齿轮(205)。

3.根据权利要求1所述的一种光电半导体加工系统,其特征在于:所述切削驱动电机(409)与切削齿轮支架(408)通过切削电机支架(410)固定连接,切削传动齿轮(404)正面的上部固定连接有切削位移螺母(402)。

4.根据权利要求1所述的一种光电半导体加工系统,其特征在于:所述位移驱动主动齿轮(508)的侧方设置有位移驱动电机(505),位移驱动电机(505)的输出轴与位移驱动主动齿轮(508)固定连接,所述位移驱动电机(505)与位移支撑板(501)通过位移驱动电机支架(506)固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种光电半导体加工系统,其特征在于:所述透气盖(607)的下侧开设有排气孔。

6.根据权利要求1所述的一种光电半导体加工系统,其特征在于:所述纵向位移丝杠(507)的上半部为螺纹,纵向位移丝杠(507)的下半部为光杆。

7.根据权利要求1所述的一种光电半导体加工系统,其特征在于:所述右侧传送带(208)和左侧传送带(206),的左右两端均与运输底盘(201)的上表面转动连接。

8.根据权利要求1所述的一种光电半导体加工系统,其特征在于:所述硅壳(3)位于夹紧输送模块(2)上表面开孔的正上方。

9.根据权利要求1所述的一种光电半导体加工系统,其特征在于:所述运输底盘(201)上表面的中心开设有通孔,通孔的下方连通有真空外壳(601),真空驱动电机(603)与真空外壳支架(606)通过真空驱动电机支架(605)固定连接,所述真空外壳601与支撑底座(1)通过真空外壳支架(606)固定连接。

10.根据权利要求1所述的一种光电半导体加工系统,其特征在于:所述真空轮608的正面设置有透气盖(607),透气盖(607)与真空外壳(601)固定连接。


技术总结
本发明公开了一种光电半导体加工系统,包括支撑底座、夹紧输送模块、硅壳、切削模块、横向位移系统、吸盘模块、支撑柱和纵向驱动模块,支撑底座的上方通过支撑柱固定连接有夹紧输送模块,夹紧输送模块的中部搭接有硅壳,硅壳的上方设置有切削模块,切削模块的顶端设置有横向位移系统。本发明通过设置的夹紧输送模块,可以将硅壳移动到相应的位置,并且可以通过右侧传送带和左侧传送带与硅壳之间的摩擦力来夹紧硅壳,通过设置的切削模块,可以带动切削轮转动,方便硅壳的加工,从而对硅壳外形的修正,通过设置横向位移系统,方便切削模块的横向移动,从而实现对硅壳的横向加工,通过设置吸盘模块,可以方便将硅壳吸住在运输底盘的上表面。

技术研发人员:赵汉章;王志伟
受保护的技术使用者:赵汉章
技术研发日:2020.02.20
技术公布日:2020.04.28
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