晶圆切割刀及包含其的晶圆切割机的制作方法

本实用新型涉及晶圆切割工具领域，特别涉及一种晶圆切割刀及包含其的晶圆切割机。

背景技术：

现有技术中晶圆划片机的晶圆切割刀刀片为一种圆环形金属片状刀片，其锁附结构为一对圆形刀夹，在使用时，两片刀夹从刀片的左右两侧夹紧刀片，两刀夹的内端面贴合刀片的两端面，通过摩擦力来固定刀片以及带动刀片转动。

此种锁附方式系通过摩擦力实现，长时间的使用中，刀片和刀夹在旋转切割受力时容易产生小的沿径向方向的相对滑动，这种运动导致刀片和刀夹的端面难免产生磨损从而造成切割时刀片打滑锁附不紧，切割作业中出现震动崩刀等情况，损坏刀夹、刀片和切割产品。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题是为了克服现有技术中晶圆切割刀长时间的使用中，刀片和刀夹在旋转切割受力时容易产生小的沿径向方向的相对滑动导致刀片和刀夹的端面产生磨损从而造成切割时刀片打滑锁附不紧，切割作业中出现震动崩刀等情况，损坏刀夹、刀片和切割产品的缺陷，提供一种晶圆切割刀及包含其的晶圆切割机。

本实用新型是通过下述技术方案来解决上述技术问题：

一种晶圆切割刀，其包括刀片和一对刀夹，所述刀夹位于所述刀片的两侧并夹紧所述刀片，其特点在于，所述刀片和所述刀夹通过分布在所述刀片和所述刀夹上相互对应的若干定位销和若干销孔进行固定。

在本方案中，采用上述结构形式，刀夹从两侧夹住刀片，在轴向上限制刀片运动防止刀片脱出，而定位销从径向上卡住刀片，避免刀片相对于刀夹产生旋转方向上的运动，从而防止刀片和刀夹的端面产生磨损从而造成切割时刀片打滑锁附不紧，避免切割作业中出现震动崩刀等情况。

较佳的，所述定位销设在所述刀夹的内端面沿所述刀夹的轴向方向向外延伸，所述销孔开设在所述刀片上，所述定位销与所述销孔的位置一一对应，当所述刀片夹设于一对所述刀夹间时，若干所述定位销插入到对应的若干所述销孔中。

在本方案中，采用上述结构形式，定位销在刀夹上，销孔在刀片上，当刀片夹设在刀夹中时，定位销插入销孔中从而固定刀片，定位销朝刀片的轴向方向延伸，与刀片的旋转方向垂直，当晶圆切割刀运转时，定位销从刀片的选装方向卡住刀片，以固定刀片。

较佳的，所述定位销的数量为三个，且三个所述定位销均匀分布在所述刀夹同心圆的圆周上，所述销孔的数量为三个，三个所述销孔开设在与所述定位销的位置相对应的位置上。

在本方案中，采用上述结构形式，通过同一圆周的三个点来固定刀片这一圆形部件更为稳固，同时，三点均匀分布，使三者受力均匀，稳定性更好。

较佳的，所述销孔开设在所述刀片的内边，所述刀片的内边向内凹陷形成所述销孔。

在本方案中，采用上述结构形式，销孔开设在刀片内边，不会影响刀片的切割面，同时比起开设在刀片中间而言对刀片的强度的负面影响更小，使得刀片更为坚固。

较佳的，所述销孔为半圆形，所述刀片的内边向内凹陷形成所述销孔的半圆形圆边。

在本方案中，采用上述结构形式，半圆形开孔的刀片相较圆形开工的刀片而言在固定上效果相当，但是减少了刀片所缺损的面积从而强度上优于圆形开孔的刀片。

较佳的，所述刀夹的内侧端面的外端设有一凸台面，所述凸台面呈圆环型，所述凸台面沿所述内侧端面的垂直方向向所述刀夹外延伸。

在本方案中，采用上述结构形式，在夹和时，刀夹的凸台面接触刀片的端面，使刀夹的其他部分不接触刀片产生一个避让空间，使得刀片和刀夹的接触面

较佳的，所述定位销位于所述凸台面的内侧，且所述定位销的高度高于所述凸台面。

在本方案中，采用上述结构形式，定位销在凸台面内侧让定位销和销孔与刀片和刀夹的接触部相分离，保证接触质量，提高刀片的稳定性。

较佳的，所述刀夹的中心具有一传动接口，所述传动接口连接传动轴。

在本方案中，采用上述结构形式，刀夹通过传动接口连接传动轴，从而产生旋转力，之后带动刀片旋转实现切割功能。

较佳的，所述刀片的材料选自金刚石、树脂、金属、陶瓷、尼龙中的一种。

在本方案中，采用上述结构形式，能够保证刀片的硬度和强度，便于切割。

一种晶圆切割机，其特点在于，所述晶圆切割机具有上述的晶圆切割刀。

在本方案中，采用上述结构形式，这种晶圆切割机的晶圆切割刀刀片和刀夹的端面不易产生磨损从而造成切割时刀片打滑锁附不紧，可以避免切割作业中出现震动崩刀等情况，使用效果更佳。

本实用新型的积极进步效果在于：通过本实用新型所公开的晶圆切割刀及包含其的晶圆切割机，刀夹从两侧夹住刀片，在轴向上限制刀片运动防止刀片脱出，而定位销从径向上卡住刀片，避免刀片相对于刀夹产生旋转方向上的运动，从而防止刀片和刀夹的端面产生磨损从而造成切割时刀片打滑锁附不紧，避免切割作业中出现震动崩刀等情况。

附图说明

图1为本实用新型实施例的晶圆切割刀的剖面结构示意图。

图2为本实用新型实施例的晶圆切割刀的刀夹结构示意图。

图3为本实用新型实施例的晶圆切割刀的刀片结构示意图。

图4为本实用新型实施例的晶圆切割机的结构示意图。

附图标记说明

刀夹1

定位销11

凸台面12

传动接口13

刀片2

销孔21

晶圆切割刀100

传动轴101

紧固螺母102

具体实施方式

下面通过实施例的方式并结合附图来更清楚完整地说明本实用新型，但并不因此将本实用新型限制在的实施例范围之中。

如图1至图3所示，本实用新型实施例的晶圆切割刀包括刀片2和一对刀夹1，刀夹1位于刀片2的两侧并夹紧刀片2，刀片2和刀夹1通过分布在刀片2和刀夹1上相互对应的若干定位销11和若干销孔21进行固定，定位销11用于限制刀片2在晶圆切割刀的旋转方向上相对于刀夹1运动。刀夹1从两侧夹住刀片2，在轴向上限制刀片2运动防止刀片2脱出，而定位销11从径向上卡住刀片2，避免刀片2相对于刀夹1产生旋转方向上的运动，从而防止刀片2和刀夹1的端面产生磨损从而造成切割时刀片2打滑锁附不紧，避免切割作业中出现震动崩刀等情况。

如图1所示，定位销11设在刀夹1的内端面沿刀夹1的轴向方向向外延伸，销孔21开设在刀片2上，定位销11与销孔21的位置一一对应，当刀片2夹设于一对刀夹1间时，若干定位销11插入到对应的若干销孔21中。定位销11朝刀片2的轴向方向延伸，与刀片2的旋转方向垂直，当晶圆切割刀运转时，定位销11从刀片2的选装方向卡住刀片2，以固定刀片2。

如图2、图3所示，在本实施例中，定位销11的数量为三个，且三个定位销11均匀分布在刀夹1同心圆的圆周上，销孔21的数量为三个，三个销孔21开设在与定位销11的位置相对应的位置上。通过同一圆周的三个点来固定刀片2这一圆形部件更为稳固，同时，三点均匀分布，使三者受力均匀，稳定性更好。

如图3所示，销孔21开设在刀片2的内边，刀片2的内边向内凹陷形成三个销孔21。销孔21开设在刀片2内边，不会影响刀片2的切割面，同时比起开设在刀片2中间而言对刀片2的强度的负面影响更小，使得刀片2更为坚固。

如图3所示，销孔21为半圆形，刀片2的内边向内凹陷形成销孔21的半圆形圆边。半圆形开孔的刀片2相较圆形开工的刀片2而言在固定上效果相当，但是减少了刀片2所缺损的面积从而强度上优于圆形开孔的刀片2。

如图1、2所示，刀夹1的内侧端面的外端设有一凸台面12，凸台面12呈圆环型，凸台面12沿刀夹1内侧端面的垂直方向向刀夹1外延伸。在夹和时，刀夹1的凸台面12接触刀片2的端面，使刀夹1的其他部分不接触刀片2产生一个避让空间，使得刀片2和刀夹1的接触面

如图1、2所示，定位销11位于凸台面12的内侧，且定位销11的高度高于凸台面12。定位销11和销孔21与刀片2和刀夹1的接触部相分离，保证接触质量，提高刀片2的稳定性。

如图1、2所示，刀夹1的中心具有一传动接口13，传动接口13连接传动轴。刀夹1通过传动接口13连接传动轴，从而产生旋转力，之后带动刀片2旋转实现切割功能。

在本实施例中，刀片2的材料选自金刚石、树脂、金属、陶瓷、尼龙中的一种。这些材料通常能够满足切割刀所需的硬度和强度要求。

一种晶圆切割机，其具有上述晶圆切割刀。晶圆切割刀100安装在晶圆切割机的传动轴101上，通过紧固螺母102固定。这种晶圆切割机的晶圆切割刀刀片和刀夹的端面不易产生磨损从而造成切割时刀片打滑锁附不紧，可以避免切割作业中出现震动崩刀等情况，使用效果更佳。

虽然以上描述了本实用新型的具体实施方式，但是本领域的技术人员应当理解，这仅是举例说明，本实用新型的保护范围是由所附权利要求书限定的。本领域的技术人员在不背离本实用新型的原理和实质的前提下，可以对这些实施方式做出多种变更或修改，但这些变更和修改均落入本实用新型的保护范围。