一种晶圆切割机用清理系统的制作方法

本实用新型涉及半导体生产设备技术领域，尤其是涉及一种晶圆切割机用清理系统。

背景技术：

晶圆，即硅晶圆片，是制造半导体晶体管或集成电路的衬底（也叫基片）。在半导体生产过程中，在晶圆上形成集成电路后，需要将晶圆切割成若干分立芯片(chip)或晶粒(die),然后对分立的芯片或晶粒进行封装,形成芯片封装结构。晶圆切割机就是将晶圆切割为分立芯片或晶粒的专用设备。

公告号为cn204035799u的中国实用新型专利公开了一种全自动晶圆切割机，其包括切割机本体、容置于所述切割机本体内的控制组件、装设于所述切割机本体上的进料结构组件、切割定位组件、装设于所述切割机本体上并将待切割晶圆从进料机构组件传送到所述切割定位组件的真空转移机构、装设于所述切割机本体上并与所述切割定位组件相互配合的的激光切割机构；所述激光切割机构包括装设于所述切割机本体上的激光发生器、装设于所述激光发生器上用于将激光发生器发出的激光进行传送的光路结构、装设于所述光路结构上用于对所述晶圆进行切割的切割结构，所述真空转移机构可沿直线来回移动与上下移动；所述切割定位组件可沿x、y轴来回移动与圆周转动，且所述切割定位组件包括装设于所述激光切割机构上用于对所述晶圆片的切割位置进行检测的ccd检测结构、装设于所述切割机本体上的与所述ccd检测结构相互配合的线性运动机构，所述线性运动机构包括装设于所述切割机本体上的第一x轴移动结构、装设于所述x轴移动结构上的y轴移动结构、装设于所述y轴移动结构上的用于将所述待切割晶圆片进行吸平的真空陶瓷吸盘；所述光路结构包括至少两个用于将激光进行扩束的扩束镜、若干对激光进行反射传递的反射镜、对激光进行杂光滤除的光阑、对激光进行开关控制的光闸。

使用时，将待切割晶圆通过进料结构组件放置在起始平台上，线性运动机构将待切割的位置平台沿第一x轴移动结构传送到与真空转移机构相对应的前切割位置，真空转移机构将待切割晶圆从起始平台传送到前切割位置的陶瓷吸盘上，陶瓷吸盘将所述待切割晶圆吸平，线性运动机构将前切割位置上的陶瓷吸盘通过所述线性运动机构传送到待切割的位置，第一ccd摄像头及第二ccd摄像头通过所述第一光源及第二光源拍摄待切割晶圆的切割点并进行分析，然后将切割的位置传送到切割结构，激光发生器通过光路结构将激光传送到切割结构，切割结构沿着切割点对晶圆进行切割。

上述中的现有技术方案存在以下缺陷：激光切割时将高功率的激光聚焦于晶圆表面，使得晶圆局部温度升高汽化，汽化的部分材料在空气中冷却后形成尘粒，粘附在晶圆表面，导致切割出的晶粒良品率降低，影响切割质量。

技术实现要素：

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的之一是提供一种晶圆切割机用清理系统，其能够将光切割晶圆产生的汽化材料吹离切割机本体的切割室，降低汽化材料粘附在晶圆表面的可能，提升切割得到的晶粒的良品率，保证切割质量。

本实用新型的上述实用发明目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种晶圆切割机用清理系统，包括设置于切割机本体上的循环送风机构，所述循环送风机构包括设置于切割机本体上的抽风机以及分别与所述抽风机进气口和出气口连通的进风管和出风管，所述进风管和出风管远离抽风机一端均与切割机本体的切割室连通，所述出风管上还设置有对自切割机本体的切割室抽出的空气进行过滤的净风机构。

通过采用上述技术方案，圆晶切割机工作时，循环送风机构和净风机构开始工作，抽风机工作，使得切割机本体的切割室内的空气开始流动、循环，由出风管排出的空气在向进风管流动过程中，带动切割时产生的汽化材料一同进入进风管，并通过进风管进入净风机构进行过滤，过滤完成的空气在抽风机作用下重新通过出风管进入切割机本体的切割室进行循环；设计的循环送风机构，通过抽风机带动切割机本体的切割室内的空气流动，使得汽化材料在空中迅速降温结晶，并将汽化材料吹出切割室，降低处于高温状态的汽化材料直接粘附到晶圆表面的可能，提升切割得到的晶粒的良品率，保证切割质量，避免含有汽化材料结晶体的空气直接排至外界环境中，保证外界环境的结晶度；同时，通过切割机本体切割室内的空气流动，达到对切割机本体的切割机构降温的效果，使得切割机本体的切割机构保持正常切割温度进行工作，延长使用寿命。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述净风机构包括设置于所述出风管上的净风室以及设置于所述净风室下方的水循环室，所述水循环室与净风室通过导水管连通，所述净风室顶壁上设置有水幕喷头，所述水循环室外设置有循环水泵，所述循环水泵的进水端通过进水管与水循环室连通，所述循环水泵的出水端通过循环水管与水幕喷头连通，且所述进水管的进水口上设置有滤网。

通过采用上述技术方案，通过进风管进入净风室的空气经过水幕喷头喷出的水幕，空气中汽化材料进一步降温结晶，并随水幕下落，由导水管进入水循环室，进入水循环室的水流在循环水泵的作用下经进水管和循环管重新进入净风室进行喷淋，而水流中的汽化材料的结晶体经滤网阻隔留在水循环室中；设计的净风机构，使得水幕对空气中的汽化材料降温，并使得汽化材料的结晶体随水幕进入水循环箱，与空气分离，达到净化空气的目的，同时，通过循环水泵，使得落入水循环室的水流重新进入净风室进行喷淋，循环使用，节约水资源。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述水幕喷头设置有至少两组，且全部水幕喷头沿所述净风室的进风方向间隔设置。

通过采用上述技术方案，使得空气多次进过喷淋水幕，进行多级过滤，将空气中的汽化材料结晶体充分除去，提升净化效果。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述净风室底壁呈倒锥状设置，所述导水管连接于所述净风室底壁锥尖处。

通过采用上述技术方案，便于汽化材料结晶体在水流带动下流入水循环室，避免汽化材料结晶体留存在净风室中，使得定期清理水循环室即可将汽化材料结晶体完全清理，提高清理效率，降低清理成本。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述净风室的出风口与抽风机之间设置有除水室，所述除水室中装设有干燥剂。

通过采用上述技术方案，设计的除水室和干燥剂，对空气经过净化室后带入的水分进行去除，保证循环进入切割机本体切割室的空气干燥度，降低对切割机本体的侵蚀作用，使得切割机本体的使用寿命得到保障。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述滤网上转动连接有螺旋桨叶，所述螺旋桨叶靠近滤网一侧设置刷毛，所述刷毛与滤网抵接。

通过采用上述技术方案，循环水泵工作时，水循环室中的水通过进水管的进水口向循环水泵流动，水流流动带动螺旋桨叶旋转，螺旋桨叶上的刷毛对吸附到滤网上的汽化材料结晶体进行刷除，避免滤网堵塞，保证水流正常循环。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述导水管伸入所述水循环室内的一端可拆卸设置有滤渣盒。

通过采用上述技术方案，设计的滤渣盒，对含有汽化材料结晶体的水流进行过滤，对汽化材料结晶体进行收集，减少落入水循环室底部循环水中的汽化材料结晶体含量，降低滤网堵塞的风险，保证循环水泵正常使用。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述进风管的出风口和出风管的进风口与切割机本体内腔连通处分别于切割机本体两相对侧壁上正对设置。

通过采用上述技术方案，便于进风管排出的空气推动切割机本体切割室中的空气进入出风管，提升了空气循环质量，有效减少汽化材料在切割机本体切割室中的停留时间。

综上所述，本实用新型包括以下至少一种有益技术效果：

1.设计的循环送风机构，通过抽风机带动切割机本体的切割室内的空气流动，使得汽化材料在空中迅速降温结晶，并将汽化材料吹出切割室，降低处于高温状态的汽化材料直接粘附到晶圆表面的可能，提升切割得到的晶粒的良品率，保证切割质量，避免含有汽化材料结晶体的空气直接排至外界环境中，保证外界环境的结晶度；同时，通过切割机本体切割室内的空气流动，达到对切割机本体的切割机构降温的效果，使得切割机本体的切割机构保持正常切割温度进行工作，延长使用寿命；

2.设计的净风机构，使得水幕对空气中的汽化材料降温，并使得汽化材料的结晶体随水幕进入水循环箱，与空气分离，达到净化空气的目的，同时，通过循环水泵，使得落入水循环室的水流重新进入净风室进行喷淋，循环使用，节约水资源；

3.设计的除水室和干燥剂，对空气经过净化室后带入的水分进行去除，保证循环进入切割机本体切割室的空气干燥度，降低对切割机本体的侵蚀作用，使得切割机本体的使用寿命得到保障。

附图说明

图1是本实用新型的晶圆切割机用清理系统的整体结构示意图；

图2是本实用新型另一视角的整体结构示意图；

图3是图2中a部分的局部放大示意图，旨在展示净风机构的具体结构；

图4是进水管进水口部分的结构示意图，旨在展示滤网、螺旋桨叶以及刷毛的配合关系。

图中，1、循环送风机构；11、抽风机；111、进风管；112、出风管；2、净风机构；21、净风室；211、水幕喷头；22、水循环室；23、导水管；231、滤渣盒；3、循环水泵；31、进水管；311、滤网；32、循环水管；4、除水室；5、螺旋桨叶；51、刷毛。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

参照图1和图2，为本实用新型公开的一种晶圆切割机用清理系统，包括设置于切割机本体上的循环送风机构1，循环送风机构1上设置有对自切割机本体的切割室抽出的空气进行过滤的净风机构2。

参照图2和图3，循环送风机构1包括安装于切割机本体上的抽风机11以及分别与抽风机11的进气口和出气口连通的进风管111和出风管112，进风管111和出风管112远离抽风机11一端均与切割机本体的切割室连通，且进风管111的出风口和出风管112的进风口与切割机本体内腔连通处分别于切割机本体两相对侧壁上正对设置。便于将切割机本体切割室中的含有汽化材料的空气吹离切割机本体切割室，降低处于高温状态的汽化材料直接粘附到晶圆表面的可能，提升切割得到的晶粒的良品率。

参照图2和图3，净风机构2包括安装于出风管112上且与出风管112连通的净风室21以及安装于净风室21下方的水循环室22。净风室21和水循环室22通过导水管23连通，净风室21底壁设置为倒锥状，导水管23靠近净风室21一端连接于净风室21底壁锥尖处，导水管23远离净风室21一端贯穿水循环室22顶壁伸入水循环室22内腔设置，且导水管23伸入水循环室22内的一端螺纹连接有滤渣盒231，对水流带入水循环室22的汽化材料结晶体进行收集，减少直接落入水循环室22的汽化材料结晶体含量。净风室21内腔顶壁上安装有至少两组水幕喷头211，且全部水幕喷头211沿净风室21的进风方向间隔设置，本实施例中，水幕喷头211优选设置有四组。水循环室22外安装有循环水泵3，循环水泵3的进水端通过进水管31与水循环室22连通，循环水泵3的出水端通过循环水管32与水幕喷头211连通。

参照图2，为了避免空气经过净风室21融入空气中的水分对切割机本体内的切割设备造成侵蚀，净风室21和抽风机11之间的出风管112上还设置有除水室4。除水室4顶壁上铰接有密封室门，除水室4中装设有干燥剂，干燥剂图中未示出。本实施例中，干燥剂优选设置为硅胶干燥剂。

参照图4，为了避免落入水循环室22中的部分汽化材料结晶体通过水泵重新进入净风室21，在进水管31的进水口上安装有滤网311，滤网311远离进水口一侧中心处转动连接有螺旋桨叶5，螺旋桨叶5靠近滤网311一侧粘接有刷毛51，刷毛51与滤网311抵接。通过刷毛51对滤网311进行清理，避免汽化材料结晶体堵塞滤网311。

本实施例的实施原理为：圆晶切割机工作时，循环送风机构1和净风机构2开始工作，抽风机11工作，使得切割机本体的切割室内的空气开始流动、循环。由出风管112排出的空气在向进风管111流动过程中，带动切割时产生的汽化材料一同进入进风管111，通过进风管111进入净风室21的空气经过水幕喷头211喷出的水幕，空气中汽化材料进一步降温结晶，并随水幕下落，由导水管23进入水循环室22。而过滤完成的空气继续流动进入除水室4，由干燥剂进行干燥，干燥完成的空气在抽风机11作用下重新通过出风管112进入切割机本体的切割室进行循环。

由导水管23进入水循环室22的水流经滤渣盒231进行过滤，对汽化材料结晶体进行收集，通过滤渣盒231流至水循环室22底部的水流在循环水泵3的作用下经进水管31和循环管重新进入净风室21进行喷淋，而水流中的剩余汽化材料的结晶体经滤网311阻隔留在水循环室22中。

本具体实施方式的实施例均为本实用新型的较佳实施例，并非依此限制本实用新型的保护范围，故：凡依本实用新型的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本实用新型的保护范围之内。