一种晶圆加工光照定位结构的制作方法

本实用新型涉及晶圆加工用的光照定位技术领域，具体为一种晶圆加工光照定位结构。

背景技术：

现有的电子产品正在向着轻薄或尺寸缩减的方向发展，从而使得电子产品所使用的芯片越来越小，亦使得晶圆在加工制作时更要求准确加工，常见的加工时定位的方式有两种，其一压制式当晶圆被移动至晶圆撑座后，通过压制边缘使其定位，其二夹爪式是利用夹爪固定晶圆进行加工，不过以上方法通常对晶圆的边缘会有损伤，大大的降低了晶圆的资源利用，同时在压制或夹爪定位时，容易挡住光亮，导致加工出现失误。

为了解决目前市场上所存在的缺点，急需改善晶圆加工定位的技术，能够更好的保证晶圆的生产，促进半导体行业的发展。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种晶圆加工光照定位结构，以解决上述背景技术中提出通常对晶圆的边缘会有损伤，大大的降低了晶圆的资源利用，同时在压制或夹爪定位时，容易挡住光亮，导致加工出现失误的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆加工光照定位结构，包括工作支架，所述工作支架上端设置有连接支架，连接支架下端内壁设置有固定块，固定块侧端设置的吸气器下端与连接支架下端内壁接触，且撑板中部开设的吸附管口由吸附管与吸气器的侧端连接，且固定块侧端设置的横杆与撑柱连接，且撑柱下端与工作支架上端固定连接，且撑柱上端设置的撑块与吸附管的下端接触，撑块两端设置的连接竖杆与撑板下端连接，且撑板上端设置有限位板，限位板外端内开设有聚光定位凹槽，限位板内部开设有晶圆槽，晶圆槽的四端开设有激光定位槽，连接支架上端外壁设置有固定板，连接支架上端端口设置有连接夹板，连接夹板的下端设置第一连接板，第一连接板的下端设置的第二连接板的侧端连接定位上支架，定位上支架的四端设置有聚光定位灯，定位上支架的中部设置的伸缩推杆下端连接晶圆加工器板，晶圆加工器板的侧端设置有伸缩激光定位灯壳。

优选的，所述连接支架为c字状，且内部向内凹陷，连接夹板同为c字状，且连接夹板的下侧内壁与连接支架的内壁下端形成固定连接，连接夹板的内壁上端由连接柱与连接支架凹陷的内壁上端固定连接。

优选的，所述第一连接板与连接夹板的外壁下端固定连接，且第一连接板与连接夹板镶嵌在固定板的中部，且三者间为固定连接。

优选的，所述晶圆加工器板与晶圆槽大小相同，且晶圆槽上端的外圈部上设置的防护圈紧密贴合，伸缩激光定位灯壳与激光定位槽位置相对应，且激光定位槽贯穿限位板，激光定位槽的槽口为三到五毫米左右。

优选的，所述定位上支架与限位板的长宽相同，且聚光定位灯与聚光定位凹槽相对应，且聚光定位凹槽贯穿限位板的四端。

优选的，所述限位板为轻便的多重组合制成的铝材质，且限位板与撑板不固定接触，固定块为内部凹陷状，吸气器的外壳固定镶嵌在固定块的凹陷处。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该晶圆加工光照定位结构，结构设置合理，首先将晶圆放置到限位板上开设的晶圆槽上，在将限位板放到撑板上，同时使吸气器由吸附管口吸气，使得限位板与撑板紧密贴合，同时由聚光定位灯与聚光定位凹槽对应，使其加工时的初步定位，同时在晶圆加工器板周边设置的伸缩激光定位灯壳与激光定位槽对应，在次精准定位，可以减少了晶圆产品加工时出现的错误，大大提高了加工时的准确性。

附图说明

图1为本实用新型结构侧视示意图；

图2为本实用新型结构正视示意图；

图3为本实用新型结构限位块俯视示意图。

图中：1、工作支架；2、连接支架；3、吸气器；4、固定板；5、连接夹板；6、第一连接板；7、第二连接板；8、伸缩推杆；9、定位上支架；10、聚光定位灯；11、晶圆加工器板；12、伸缩激光定位灯壳；13、激光定位槽；14、聚光定位凹槽；15、限位板；16、晶圆槽；17、撑板；18、吸附管口；19、连接竖杆；20、固定块；21、撑块；22、撑柱；23、防护圈。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1—3，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆加工光照定位结构，包括工作支架1，工作支架1上端设置有连接支架2，连接支架2下端内壁设置有固定块20，固定块20侧端设置的吸气器3下端与连接支架2下端内壁接触，且撑板17中部开设的吸附管口18由吸附管与吸气器3的侧端连接，且固定块20侧端设置的横杆与撑柱22连接，且撑柱22下端与工作支架1上端固定连接，且撑柱22上端设置的撑块21与吸附管的下端接触，撑块21两端设置的连接竖杆19与撑板17下端连接，且撑板17上端设置有限位板15，限位板15外端内开设有聚光定位凹槽14，限位板15内部开设有晶圆槽16，晶圆槽16的四端开设有激光定位槽13，连接支架2上端外壁设置有固定板4，连接支架2上端端口设置有连接夹板5，连接夹板5的下端设置第一连接板6，第一连接板6的下端设置的第二连接板7的侧端连接定位上支架9，定位上支架9的四端设置有聚光定位灯10，定位上支架9的中部设置的伸缩推杆8下端连接晶圆加工器板11，晶圆加工器板11的侧端设置有伸缩激光定位灯壳12；

连接支架2为c字状，且内部向内凹陷，连接夹板5同为c字状，且连接夹板5的下侧内壁与连接支架2的内壁下端形成固定连接，可以提高整体工作时的稳定性，连接夹板5的内壁上端由连接柱与连接支架2凹陷的内壁上端固定连接，第一连接板6与连接夹板5的外壁下端固定连接，且第一连接板6与连接夹板5镶嵌在固定板4的中部，且三者间为固定连接，晶圆加工器板11与晶圆槽16大小相同，且晶圆槽16上端的外圈部上设置的防护圈23紧密贴合，可以有效的保护了晶圆放置到晶圆槽16时的产品安全性，不至于损伤晶圆，伸缩激光定位灯壳12与激光定位槽13位置相对应，且激光定位槽13贯穿限位板15，激光定位槽13的槽口为三到五毫米左右，定位上支架9与限位板15的长宽相同，且聚光定位灯10与聚光定位凹槽14相对应，可以有效的进行定位，避免出现错误，导致浪费资源，且聚光定位凹槽14贯穿限位板15的四端，限位板15为轻便的多重组合制成的铝材质，且限位板15与撑板17不固定接触，固定块20为内部凹陷状，吸气器3的外壳固定镶嵌在固定块20的凹陷处，可以起到保护吸气器3的作用，。

工作原理：在使用该晶圆加工光照定位结构时，首先将晶圆放置到限位板15开设的晶圆槽16，再将限位板15放置到撑板17上，再由定位上支架9设置的聚光定位灯10与限位板15开设的聚光定位凹槽14进行调整到相对应，然后开启吸气器3进行无损伤的固定晶圆，同时由晶圆加工器板11设置的伸缩激光定位灯壳12与激光定位槽13进行再次调整，可以避免了在加工时出现光度不够导致加工时出现错误，节省了资源，保证产品的快效加工，同时保证了产品的质量生产，这就是该晶圆加工光照定位结构工作的整个过程。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。