一种用于硅棒加工的装置的制作方法

文档序号:27794153发布日期:2021-12-04 11:12阅读:63来源:国知局
一种用于硅棒加工的装置的制作方法

1.本实用新型涉及硅棒加工技术领域,具体为一种用于硅棒加工的装置。


背景技术:

2.单晶硅棒是通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的硅单晶体棒,是制作硅片的原料,需要通过拉丝设备对硅棒进行线切割,将其切割为薄片,并经过一系列加工流程,如倒角、研磨、腐蚀、抛光、清洗和包装才能制成合格的硅片。
3.硅棒在切割前需要对其进行固定,而现有的硅棒夹持装置,因硅棒表面过于光滑,在切割受力后,硅棒容易出现滑动,硅棒可能会发生切割损坏的问题。


技术实现要素:

4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种用于硅棒加工的装置,具备防止硅棒在切割时发生滑动的优点,解决了现有的硅棒夹持装置难以阻止硅棒在受力后发生滑动的问题。
6.(二)技术方案
7.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种用于硅棒加工的装置,包括主体、底板和工作台,所述主体的内部固定连接有底板,所述工作台的底部与底板的内部活动连接,所述工作台的顶部固定连接有固定板,所述固定板的前侧固定连接有第一固定块,所述第一固定块的前侧连接有固定杆,所述固定杆的右端通过连杆连接有第一移动杆,所述固定板的前侧固定连接有第二固定块和第三固定块,所述固定杆的内部连接有第二移动杆,所述第二移动杆的顶端连接有第三移动杆,所述第三移动杆的右端与第三固定块的前侧活动连接,所述第一移动杆的顶部与第三移动杆的底部均连接有卡合块,所述底板的顶部固定连接有固定管,所述固定杆的侧面固定连接有连接板,所述固定管的内部螺纹连接有伸缩螺栓,所述伸缩螺栓的顶端与连接板的底部固定连接,所述固定管的顶端活动连接有调节螺母,所述伸缩螺栓的侧表面与调节螺母的内部螺纹连接。
8.优选的,所述第一固定块的前侧固定连接有第一转轴,所述第一转轴的侧表面与固定杆的内部活动连接,所述第二固定块的前侧固定连接有第二转轴,所述第二转轴的侧表面与第一移动杆的内部活动连接,所述第三固定块的前侧固定连接有第三转轴,所述第三转轴的侧表面与第三移动杆的内部活动连接。
9.优选的,所述卡合块的侧面开设有弧形槽,所述弧形槽的内部固定连接有硅胶片。
10.优选的,所述卡合块的侧面固定连接有固定螺栓和限位杆,所述固定螺栓的侧表面与螺纹连接有锁紧螺母。
11.优选的,所述调节螺母的底端固定连接有限位环,所述固定管的内部开设有转动槽,所述限位环的侧表面与转动槽的内部活动连接。
12.优选的,所述调节螺母的侧表面固定套接有旋钮,所述旋钮位于固定管的上侧。
13.与现有技术相比,本实用新型提供了一种用于硅棒加工的装置,具备以下有益效果:
14.1、该用于硅棒加工的装置,通过底板、工作台、固定板、第一固定块、固定杆、连杆、第一移动杆、第二固定块、第二移动杆、第三移动杆、第三移动块、卡合块、固定管、连接板、伸缩螺栓和调节螺母之间的相互配合,可以通过拧动调节螺母来控制上下两侧卡合块的开合,达到了防止硅棒在切割时发生滑动的效果,解决了现有的硅棒夹持装置难以阻止硅棒在受力后发生滑动的问题。
15.2、该用于硅棒加工的装置,通过第一移动杆、第三移动杆、卡合块、限位杆、固定螺栓和锁紧螺母之间的相互配合,可以通过对卡合块进行更换,来对不同直径的硅棒进行固定,达到了便于固定不同规格硅棒的效果,解决了当硅棒直径远大于卡合块上弧形槽直径时,上下两侧的卡合块难以对硅棒进行固定的问题。
附图说明
16.图1为本实用新型局部剖视图;
17.图2为本实用新型图1中a处放大图;
18.图3为本实用新型正视图。
19.其中:1、主体;2、底板;3、工作台;4、固定板;5、第一固定块;6、固定杆;7、连杆;8、第一移动杆;9、第二固定块;10、第二移动杆;11、第三移动杆;12、第三固定块;13、卡合块;14、限位杆;15、固定螺栓;16、锁紧螺母;17、固定管;18、连接板;19、伸缩螺栓;20、调节螺母。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
21.请参阅图1

3,一种用于硅棒加工的装置,包括主体1、底板2和工作台3,主体1为线切割机,它主要由机床、数控系统和高频电源这三部分组成,机床则主要由由床身、储丝机构、线架、xy工作台、油线切割机箱等部件构成,绕在储丝筒上的钼丝经过线架作高速往复运动,加工工件固定在xy工作台上,x、y两方向的运动各由一台步进电机控制,数控系统每发出一个信号,步进电机就走一步,并通过中间传动机构带动两方向的丝杠旋转,分别使得x、y工作台进给,如今线切割技术正在各行各业中得到广泛的应用,主体1的内部固定连接有底板2,工作台3的底部与底板2的内部活动连接,工作台3的顶部固定连接有盛物台,盛物台的顶部的高度与下侧卡合块13内弧形槽最低处的高度相同,以便于为硅片提供支撑,工作台3的顶部固定连接有固定板4,固定板4共有两个,均以主体1的横向中心线为对称轴对称分布,固定板4的前侧固定连接有第一固定块5,第一固定块5的前侧连接有固定杆6,固定杆6的右端通过连杆7连接有第一移动杆8,固定板4的前侧固定连接有第二固定块9和第三固定块12,固定杆6的内部连接有第二移动杆10,第二移动杆10的顶端连接有第三移动杆11,第三移动杆11的右端与第三固定块12的前侧活动连接,第一固定块5的前侧固定连接有
第一转轴,第一转轴的侧表面与固定杆6的内部活动连接,第二固定块9的前侧固定连接有第二转轴。
22.第二转轴的侧表面与第一移动杆8的内部活动连接,第三固定块12的前侧固定连接有第三转轴,第三转轴的侧表面与第三移动杆11的内部活动连接,第一移动杆8的顶部与第三移动杆11的底部均连接有卡合块13,卡合块13的侧面开设有弧形槽,上侧弧形槽位于上侧卡合块13的底部,下侧弧形槽位于下侧卡合块13的顶部,弧形槽的内部固定连接有硅胶片,硅胶片与被夹持的硅棒贴合,此时硅胶片既起到增大卡合块13与硅棒之间的摩擦力的作用,同时也起到了防止硅棒被卡合块13划伤的作用,卡合块13的侧面固定连接有固定螺栓15和限位杆14,上侧卡合块13的顶部与上侧固定螺栓15的底端固定连接,上侧卡合块13的顶部与上侧限位杆14的底端固定,下侧卡合块13的底部与下侧固定螺栓15的顶端固定连接,下侧卡合块13的底部与下侧限位杆14的顶端固定连接,固定螺栓15的侧表面与螺纹连接有锁紧螺母16,第一移动杆与第三移动杆的内部均开设有限位孔与螺纹孔,固定螺栓15的侧表面与螺纹孔的内部活动连接,限位杆14的侧表面与限位孔的内部活动连接,通过第一移动杆8、第三移动杆11、卡合块13、限位杆14、固定螺栓15和锁紧螺母16之间的相互配合,可以通过对卡合块13进行更换,来对不同直径的硅棒进行固定,达到了便于固定不同规格硅棒的效果,解决了当硅棒直径远大于卡合块13上弧形槽的直径时,上下两侧的卡合块13难以对硅棒进行固定的问题,底板2的顶部固定连接有固定管17,固定杆6的侧面固定连接有连接板18,固定管17的内部螺纹连接有伸缩螺栓19,伸缩螺栓19的顶端与连接板18的底部固定连接,固定管17的顶端活动连接有调节螺母20。
23.调节螺母20的侧表面固定套接有旋钮,旋钮位于固定管17的上侧,调节螺母20的底端固定连接有限位环,固定管17的内部开设有转动槽,限位环的侧表面与转动槽的内部活动连接,伸缩螺栓19的侧表面与调节螺母20的内部螺纹连接,第一固定块5、第二固定块9、第三固定块12、固定杆6、第一移动杆8、第二移动杆10和第三移动杆11的数量均为两个,且均以主体1的横向中心线为对称轴对称分布,卡合块13、固定螺栓15和锁紧螺母16的数量均为四个,每两个为一组,每组均主体1的横向中心线为对称轴对称分布,通过底板2、工作台3、固定板4、第一固定块5、固定杆6、连杆7、第一移动杆8、第二固定块9、第二移动杆10、第三移动杆11、第三固定块12、卡合块13、固定管17、连接板18、伸缩螺栓19和调节螺母20之间的相互配合,可以通过拧动调节螺母20来控制上下两侧卡合块13的开合,达到了防止硅棒在切割时发生滑动的效果,解决了现有的硅棒夹持装置难以阻止硅棒在受力后发生滑动的问题。
24.在使用时,先将硅棒放在下侧卡合块的弧形槽内,然后拧动调节螺母20,控制伸缩螺栓19下移,当伸缩螺栓19下移后,连接板18会一同下降,而连接板18下降则会带动第一移动杆8转动,同时会使第三移动杆11下移,当第三移动杆11下降后,上侧的卡合块13会一同下降,直至上侧卡合块13的弧形槽与硅棒侧表面贴合,停止转动调节螺母20,硅棒被固定在上下两侧的卡合块13之间,此时便完成了硅棒的固定夹持工作。
25.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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