技术特征：
1.一种飞切机床纳米调姿补偿装置，包括底座(101)和支撑部(102)，支撑部(102)设有供加工工件固定的安装平台(104)，其特征是，所述支撑部(102)设有三个沿安装平台(104)四周呈三角分布的柔性铰链(103)，每个柔性铰链(103)与底座(101)之间对应设有至少一个位移驱动件(106)以及至少一个位移检测件(105)。2.根据权利要求1所述的一种飞切机床纳米调姿补偿装置，其特征是，所述支撑部(102)呈三角形中空框架，柔性铰链(103)分布在支撑部(102)对应边框的中部。3.根据权利要求2所述的一种飞切机床纳米调姿补偿装置，其特征是，所述位移驱动件(106)位于柔性铰链(103)与底座(101)的相向面之间，位移检测件(105)位于支撑部(102)的外侧，且位移驱动件(106)、位移检测件(105)均垂直于底座(101)表面设置。4.根据权利要求1所述的一种飞切机床纳米调姿补偿装置，其特征是，所述位移驱动件(106)为压电陶瓷。5.根据权利要求1所述的一种飞切机床纳米调姿补偿装置，其特征是，所述位移检测件(105)为电容传感器。6.根据权利要求1所述的一种飞切机床纳米调姿补偿装置，其特征是，所述安装平台(104)为带孔的真空吸盘。7.一种卧式超精密飞切机床，其特征是，包括床身(201)以及安装在床身(201)上的进给组件(202)、定位组件(204)，进给组件(202)设置有用于安装飞刀盘的气浮主轴(203)，定位组件(204)安装有如权利要求1
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6任意一项所述的三自由度纳米调姿补偿装置(107)。8.根据权利要求7所述的一种卧式超精密飞切机床，其特征是，所述床身(201)底部设有支撑组件(206)，床身(201)与支撑组件(206)之间设有至少一个隔振组件(205)。
技术总结
本实用新型公开了一种飞切机床纳米调姿补偿装置及卧式超精密飞切机床，涉及超精密加工技术领域，其技术方案要点是：包括底座和支撑部，支撑部设有供加工工件固定的安装平台，所述支撑部设有三个沿安装平台四周呈三角分布的柔性铰链，每个柔性铰链与底座之间对应设有位移驱动件以及位移检测件。本实用新型通过控制吸附在三自由度纳米调姿装置上的KDP晶体的姿态，使KDP晶体的工件中心线与加工过程的主轴轴线始终相互平行，实现对飞切加工表面低频“类马鞍”形状误差的有效抑制，保证飞切加工的KDP晶体在高功率激光装置中的精度使用要求。求。求。
技术研发人员：李加胜 黄明 阳红 魏巍 袁锦春 李星占 苏星 刘品宽
受保护的技术使用者：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
技术研发日：2021.05.24
技术公布日：2021/12/3