一种用于半导体大型管类的开孔装置的制作方法

1.本实用新型属于半导体装置技术领域，具体涉及一种开孔装置。


背景技术：

2.随着半导体产业景气向上，尤其是使用在大型设备上的部件(石英管)产品的质量要求越来越高，对于石英管的需求大幅度增长的背景下，尤其是一些用做半导体大型管类需求越来越大，装配的技术指标越来越高，对于装配相关的开孔技术指标也越来越高。
3.传统的石英管的开孔是通过事先使用墨斗在石英管开孔位置画开孔线，通过人工使用角磨机在划线位置开孔，此方法在对大型管类的开孔时，对所划线人员和开孔人员的要求非常高，尤其是对开孔的要求很高，人的熟练程度直接影响大型管类的开孔的准确性和开孔效率。


技术实现要素：

4.本实用新型针对上述技术问题，目的在于提供一种用于半导体大型管类的开孔装置。
5.一种用于半导体大型管类的开孔装置，包括一工作台，所述工作台上具有：
6.两个夹具，分别位于所述工作台左右两侧；
7.一台钻，位于两个所述夹具之间，所述台钻的钻头轴向为前后方向；
8.一四方向移动机构，具有上下移动端、左右移动端和前后移动端，所述前后移动端固定所述台钻。
9.本实用新型通过夹具将需要开孔的石英管两端进行固定，使用工作台上的台钻进行打孔，台钻可以通过四方向移动机构进行上下方向和左右方向的移动，以使台钻至待开孔产品，如石英管的待开孔位置，启动台钻后，通过台钻自身具有的进给功能进行前后移动，对待开孔产品进行钻孔，钻孔完成后，通过四方向移动机构调节台钻位置，进行下一个钻孔工作，所有孔加工完成后，松开夹具即可。本实用新型的上述结构提高了打孔速度，减少人工成本，提高了打孔的可靠性，降低操作者对待开孔产品开孔品质的影响，提升了待开孔产品品质的稳定性，提高了生产能力，此装置亦可快速装卸，提高了工作效率。
10.所述夹具包括：
11.一卡爪底座，固定在所述工作台上；
12.两条直线导轨，沿左右方向对称固定在所述卡爪底座上，长度方向均为前后方向；
13.四个导轨滑块，两个所述导轨滑块为一组对称设置且分别与两条所述直线导轨滑动连接，每个所述导轨滑块上均装有锁紧装置，由所述锁紧装置将所述导轨滑块锁紧在所述直线导轨上；
14.两个卡爪，一个所述卡爪底部固定在同一组所述导轨滑块上，两个所述卡爪沿前后方向对称设置。
15.根据待开孔产品的规格，可以对两个对称设置的卡爪通过滑动导轨滑块调节两者
之间的距离，通过锁紧装置将其中一个卡爪锁定。另一个卡爪可以在待开孔产品落到夹具上后，通过相对运动卡住待开孔产品。
16.所述夹具还包括一夹具丝杆移动模组，所述夹具丝杆移动模组包括：
17.一夹具丝杆固定底座，固定于工作台上；
18.一夹具丝杆，轴向为前后方向，一端固定于所述夹具丝杆固定底座上；
19.一夹具螺母，与所述夹具丝杆转动连接，与其中一个所述卡爪固定，带动所述卡爪前后移动；
20.一夹具手轮，与所述夹具丝杆的另一端固定。
21.通过转动夹具手轮，夹具螺母在夹具丝杆上前后移动，带动其中一个卡爪前后移动，致使两个卡爪进行相对运动，实现对待开孔产品的锁紧或松开。
22.两个所述卡爪的相对面分别为弧形面，以便于锁紧具有圆形形状的待开孔产品。
23.所述四方向移动机构包括：
24.一上下移动机构，具有上下移动端；
25.一左右移动机构，固定在所述上下移动机构的上下移动端上，具有左右移动端，所述左右移动端经台钻支架固定所述台钻。
26.所述上下移动机构包括：
27.一竖直丝杆，固定在所述工作台侧边，长度方向为上下方向；
28.一竖直滑台，作为所述上下移动端，与所述竖直丝杆连接；
29.一竖直手轮，与所述竖直丝杆的一端连接，由所述竖直手轮的转动带动所述竖直滑台在所述竖直丝杆上做上下直线运动。
30.所述左右移动机构包括：
31.一水平丝杆，固定在所述竖直滑台上，长度方向为左右方向；
32.一水平滑台，作为所述左右移动端，与所述水平丝杆连接；
33.一水平手轮，与所述水平丝杆的一端连接，由所述水平手轮的转动带动所述水平滑台在所述水平丝杆上做左右直线运动。
34.所述台钻为采用具有进给功能的台钻。
35.所述工作台上还具有：
36.两个抬升装置，沿左右方向对称设置于两个所述夹具之间；
37.所述抬升装置包括：
38.一转轴底座，顶面为向下凹进的弧形面，顶面上前后两侧分别挖设有转轴容纳槽；
39.两个抬升气缸，分别位于所述转轴底座前后两侧的工作台上，所述抬升气缸的活塞杆分别与所述转轴底座的前后两侧面固定；
40.两个转轴，沿前后方向对称且倾斜设置在所述转轴底座的容纳槽内，后侧的所述转轴竖向且上部向后倾斜，前侧的所述转轴竖向且上部向前倾斜，两个所述转轴的圆周面均突出于所述转轴底座的弧形面。转轴底座可以预先支撑待打孔产品，通过抬升气缸可以带动转轴底座抬起或下降，当转轴底座下降使待打孔产品平稳落在两个夹具上，通过两个夹具锁紧。当产品完成打孔后，通过两个夹具松开产品，通过抬升气缸带动转轴底座抬起产品，便于产品的取出。
41.所述开孔装置还包括：
42.另一工作台，位于所述工作台左右或右侧；
43.另两个抬升装置，沿左右方向对称设置于所述另一工作台上。
44.在待开孔产品开孔前，可以先将其至于另一工作台上的另两个抬升装置上，由于另两个抬升装置位于两个抬升装置的左侧或右侧，且由于转轴的设置，直接可以将待开孔产品沿左右方向推入工作台上的两个抬升装置，再通过抬升气缸带动转轴底座下降至两个夹具上进行锁紧和打孔工作。当产品完成打孔后，通过两个夹具松开产品，通过抬升气缸带动转轴底座抬起产品，再次将产品沿左右方向推向侧边的另一工作台上的另两个抬升装置，进而取出产品。
45.有益效果：本实用新型具有如下优点：
46.1、可快速上下待打孔产品，提高工作效率，减少人工搬运；
47.2、可通过四方向移动机构至钻孔位置，提高钻孔精度；
48.3、操作简单，使用方便，效率高、成本低，减少资源浪费。
附图说明
49.图1为本实用新型的一种整体结构示意图；
50.图2为本实用新型夹具的一种结构示意图；
51.图3为本实用新型夹具丝杆移动模组的一种结构示意图；
52.图4为本实用新型抬升装置的一种结构示意图。
具体实施方式
53.为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示进一步阐述本实用新型。
54.参照图1，一种用于半导体大型管类的开孔装置，包括工作台1及位于工作台1左侧或右侧的另一工作台2。
55.工作台1上具有两个夹具3、台钻4、四方向移动机构和两个抬升装置6。
56.两个夹具3分别位于工作台1左右两侧。参照图2，每个夹具3均包括卡爪底座31、两条直线导轨32、四个导轨滑块33、两个卡爪34和一组夹具丝杆移动模组35。卡爪底座31固定在工作台1上。两条直线导轨32沿左右方向对称固定在卡爪底座31上，每条直线导轨32的长度方向均为前后方向。四个导轨滑块33中的两个导轨滑块33为一组对称设置且分别与两条直线导轨32滑动连接，每个导轨滑块33上均装有锁紧装置，由锁紧装置将导轨滑块33锁紧在直线导轨32上。锁紧装置可以是螺丝或螺栓，在导轨滑块33上挖设有锁紧通孔，通过螺丝或螺栓将导轨滑块33紧固于直线导轨32上。一个卡爪34底部固定在同一组导轨滑块33上，两个卡爪34沿前后方向对称设置。两个卡爪34的相对面分别为弧形面，以便于锁紧具有圆形形状的待开孔产品。如图2中所示，位于后侧的卡爪34为通过锁紧装置固定不动的固定卡爪，位于前侧的卡爪34为通过夹具丝杆移动模组35可移动的移动卡爪。
57.参照图3，夹具丝杆移动模组35包括夹具丝杆固定底座351、夹具丝杆352、夹具螺母353和夹具手轮354。夹具丝杆固定底座351固定于工作台1上。优选夹具丝杆固定底座351位于固定卡爪下方。夹具丝杆352的轴向为前后方向，夹具丝杆352的一端固定于夹具丝杆固定底座351上。夹具螺母353与夹具丝杆352连接，夹具螺母353与其中一个卡爪34固定，即
夹具螺母353与移动卡爪固定，夹具螺母353带动移动卡爪前后移动。夹具手轮354与夹具丝杆352的另一端固定。
58.台钻4位于两个夹具之间，台钻4的钻头轴向为前后方向。台钻为采用具有进给机构的台钻。具有进给机构的台钻为现有技术中常见易得的台钻，其具有台钻本体和对台钻本体进行前后方向移动的前后移动机构，该前后移动机构可以包括前后丝杆、前后螺母和前后手轮，前后丝杆可以固定在台钻支架41上，前后螺母固定在前后丝杆上，前后手轮与前后丝杆的端部连接，前后螺母与台钻本体固定，通过转动前后手轮带动前后螺母在前后丝杆上做前后运动，进而实现对台钻本体的进给或退回功能。
59.四方向移动机构具有上下移动端和左右移动端，左右移动端固定台钻4，台钻4通过四方向移动机构实现上下方向和左右方向的移动。
60.四方向移动机构包括具有上下移动端的上下移动机构、具有左右移动端的左右移动机构。左右移动机构固定在上下移动机构的上下移动端上。左右移动机构的左右移动端经台钻支架41固定台钻4。
61.其中，上下移动机构包括竖直丝杆51、竖直滑台52和竖直手轮53。竖直丝杆51固定在工作台1侧边，竖直丝杆51的长度方向为上下方向。竖直滑台52作为上下移动端与竖直丝杆51连接。竖直手轮与竖直丝杆51的一端连接，由竖直手轮53的转动带动竖直滑台52在竖直丝杆51上做上下直线运动。左右移动机构包括水平丝杆54、水平滑台55和水平手轮56。水平丝杆54固定在竖直滑台52上，水平丝杆54的长度方向为左右方向。水平滑台55作为左右移动端与水平丝杆54连接。水平手轮56与水平丝杆54的一端连接，由水平手轮56的转动带动水平滑台55在水平丝杆54上做左右直线运动。
62.两个抬升装置6沿左右方向对称设置于两个夹具3之间。参照图4，每个抬升装置6均包括转轴底座61、两个抬升气缸62和两个转轴63。转轴底座61顶面为向下凹进的弧形面，转轴底座61的顶面上前后两侧分别挖设有转轴容纳槽，转轴容纳槽用于连接转轴63的两端。两个抬升气缸62分别位于转轴底座61前后两侧的工作台1上，抬升气缸62的活塞杆分别与转轴底座61的前后两侧面固定。两个转轴63沿前后方向对称且倾斜设置在转轴底座61的容纳槽内，转轴63与转轴底座61转动连接，后侧的转轴63竖向且上部向后倾斜，前侧的转轴63竖向且上部向前倾斜，两个转轴63的圆周面均突出于转轴底座61的弧形面。
63.另一工作台2位于工作台1左右或右侧，如图1中所示，另一工作台2位于工作台1的右侧。另一工作台2上设置有另两个抬升装置7，另两个抬升装置7沿左右方向对称设置于另一工作台2上。
64.本实用新型工作时，在待开孔产品7开孔前，首先将待开孔产品7至于另一工作台2上的另两个抬升装置7上，由于另两个抬升装置7位于两个抬升装置6的右侧，且由于转轴的设置，直接可以将待开孔产品7向左推入工作台1上的两个抬升装置6，再通过抬升气缸62带动转轴底座61下降使待打孔产品7平稳落在两个夹具3上。通过转动夹具手轮354，夹具螺母353在夹具丝杆352上向后移动，带动前侧的移动卡爪向后移动，致使两个卡爪34进行相对运动，实现对待开孔产品7的锁紧。通过上下移动机构中的竖直手轮53的转动带动竖直滑台52在竖直丝杆51上上下移动，确定好竖向位置。通过左右移动机构中的水平手轮56的转动带动水平滑台55在水平丝杆54上左右移动，确定好左右位置，以使台钻4至待开孔产品7的待开孔位置。启动台钻4后，通过台钻4自带的进给机构对待开孔产品7进行钻孔，钻孔完成
后，通过四方向移动机构再次调节台钻4位置，进行下一个钻孔工作，所有孔加工完成后，通过反方向转动夹具手轮354，移动卡爪向前移动，松开开孔完成的产品。通过抬升气缸62带动转轴底座61抬起产品，将产品向右方向推向右侧的另一工作台2上的另两个抬升装置7，进而取出产品。
65.以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。