一种消除硅棒隐裂的间隔支撑机构的制作方法

文档序号:31156784发布日期:2022-08-17 07:15阅读:205来源:国知局
一种消除硅棒隐裂的间隔支撑机构的制作方法

1.本实用新型涉及硅棒加工技术领域,尤其涉及一种消除硅棒隐裂的间隔支撑机构。


背景技术:

2.硅片制成的芯片有着惊人的运算能力,从而使微电子技术正在悄悄走进航空、航天、工业、农业和国防,也正在悄悄进入每一个家庭,小小硅片的巨大“魔力”是我们的前人根本无法想象的,硅片在生产制造的过程中需要对硅棒进行切割。
3.在硅棒加工过程中,需要将两个硅棒粘接在粘板上再固定到晶托底部,然后将晶托固定方便后续的加工,常见的支撑机构只是将两个硅棒通过胶水粘接在粘板上,硅棒之间是直接接触,如果在固定晶托时发生形变,硅棒底部就容易受到挤压,导致硅棒隐裂,因此,提出一种消除硅棒隐裂的间隔支撑机构显得非常必要。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种消除硅棒隐裂的间隔支撑机构。
5.为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
6.一种消除硅棒隐裂的间隔支撑机构,包括设置在晶托底部的粘板,所述粘板的两侧均开设有两个卡槽,卡槽内卡接有塑料架,所述粘板的内部开设有两个限位孔,限位孔内设有尼龙绳,所述粘板的底部固定连接有夹板,所述夹板的两侧均设有双面胶带。
7.作为本实用新型再进一步的方案,所述夹板的底部固定连接有海绵层。
8.作为本实用新型再进一步的方案,还包括多个导向块,所述导向块通过螺栓固定在晶托的两侧,所述导向块的内部活动连接有压块,所述晶托的两侧均固定连接有两个固定块,固定块的内部开设有滑孔,滑孔内活动连接有滑动杆,滑动杆与压块相接触,所述滑动杆的底端固定连接有拉簧,且拉簧与固定块相固定,两个所述滑动杆之间固定连接有侧板。
9.作为本实用新型再进一步的方案,所述压块的顶端开设有多个防滑纹,且防滑纹均匀分布。
10.作为本实用新型再进一步的方案,所述滑动杆的顶端固定连接有限位块,且限位块与固定块相接触。
11.作为本实用新型再进一步的方案,所述侧板的一侧固定连接有橡胶垫。
12.本实用新型的有益效果为:
13.1.通过塑料架、尼龙绳与夹板的配合使用,把外部的两个硅棒通过胶水粘接在粘板上,且两个硅棒处在夹板的两侧,使双面胶带对硅棒的一端进行粘接,同时将塑料架的底端与硅棒的底端进行接触,使塑料架对硅棒进行支撑,然后把尼龙绳从硅棒的底部绕过,使尼龙绳对两个硅棒进行捆绑,避免常规装置在固定晶托时发生形变,由于硅棒之间直接接
触导致硅棒底部容易受到挤压产生隐裂,提高了装置的使用效果。
14.2.通过压块与滑动杆的配合使用,把晶托与外部物体相固定,外部物体挤压压块,使压块向下移动并推动滑动杆沿着滑孔向前移动,从而使侧板向内移动到合适的位置与硅棒接触,进而对硅棒进行夹持,提高了装置的夹持效果。
15.3.通过滑动杆上安装限位块的设置,限位块能够对滑动杆的位置进行限制,避免滑动杆移出滑孔影响装置的使用,提高了装置的限制作用。
16.4.通过在侧板上安装橡胶垫的设置,橡胶垫能够对硅棒进行防护,避免侧板直接与硅棒接触导致硅棒容易受损,提高了装置的防护效果。
附图说明
17.图1为本实用新型提出的一种消除硅棒隐裂的间隔支撑机构实施例1的立体结构示意图;
18.图2为本实用新型提出的一种消除硅棒隐裂的间隔支撑机构实施例1的局部剖视结构示意图;
19.图3为本实用新型提出的一种消除硅棒隐裂的间隔支撑机构实施例2的立体结构示意图;
20.图4为本实用新型提出的一种消除硅棒隐裂的间隔支撑机构实施例2的a部放大结构示意图。
21.图中:1、晶托;2、粘板;3、卡槽;4、限位孔;5、尼龙绳;6、塑料架;7、夹板;8、海绵层;9、双面胶带;10、防滑纹;11、压块;12、导向块;13、滑孔;14、限位块;15、固定块;16、拉簧;17、滑动杆;18、侧板;19、橡胶垫。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“连接”、“设置”应做广义理解,对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。
23.实施例1
24.参照图1-图2,包括设置在晶托1底部的粘板2,粘板2的两侧均开设有两个卡槽3,卡槽3内卡接有塑料架6,粘板2的内部开设有两个限位孔4,限位孔4内设有尼龙绳5,粘板2的底部粘接有夹板7,夹板7的两侧均设有双面胶带9,把外部的两个硅棒通过胶水粘接在粘板2上,且两个硅棒处在夹板7的两侧,使双面胶带9对硅棒的一端进行粘接,同时将塑料架6的底端与硅棒的底端进行接触,使塑料架6对硅棒进行支撑,然后把尼龙绳5从硅棒的底部绕过,使尼龙绳5对两个硅棒进行捆绑,避免常规装置在固定晶托1时发生形变,由于硅棒之间直接接触导致硅棒底部容易受到挤压产生隐裂。
25.本实用新型中,需要说明的是,夹板7的底部粘接有海绵层8,海绵层8能够对两个硅棒的底部之间进行防护和缓冲。
26.本实施例的工作原理:当需要对硅棒进行固定时,把外部的两个硅棒通过胶水粘
接在粘板2上,且两个硅棒处在夹板7的两侧,使双面胶带9对硅棒的一端进行粘接,同时将塑料架6的底端与硅棒的底端进行接触,使塑料架6对硅棒进行支撑,然后把尼龙绳5从硅棒的底部绕过,使尼龙绳5对两个硅棒进行捆绑,避免常规装置固定晶托1时发生形变,由于硅棒之间直接接触导致硅棒底部容易受到挤压产生隐裂。
27.实施例2
28.参照图3-图4,一种消除硅棒隐裂的间隔支撑机构,还包括多个导向块12,导向块12通过螺栓固定在晶托1的两侧,导向块12的内部滑动连接有压块11,晶托1的两侧均通过螺栓固定有两个固定块15,固定块15的内部开设有滑孔13,滑孔13内滑动连接有滑动杆17,滑动杆17与压块11相接触,滑动杆17的底端焊接有拉簧16,且拉簧16与固定块15相固定,两个滑动杆17之间通过螺栓固定有侧板18,把晶托1与外部物体相固定,外部物体挤压压块11,使压块11向下移动并推动滑动杆17沿着滑孔13向前移动,从而使侧板18向内移动到合适的位置与硅棒接触,进而对硅棒进行夹持。
29.尤其的,压块11的顶端开设有多个防滑纹10,且防滑纹10均匀分布,防滑纹10能够增大压块11与外部物体之间的摩擦力,滑动杆17的顶端通过螺栓固定有限位块14,且限位块14与固定块15相接触,限位块14能够对滑动杆17的位置进行限制,避免滑动杆17移出滑孔13影响装置的使用,侧板18的一侧粘接有橡胶垫19,橡胶垫19能够对硅棒进行防护,避免侧板18直接与硅棒接触导致硅棒容易受损。
30.本实施例的工作原理:当把晶托1与外部物体相固定时,外部物体挤压压块11,使压块11向下移动并推动滑动杆17沿着滑孔13向前移动,从而使侧板18向内移动到合适的位置与硅棒接触,进而对硅棒进行夹持,限位块14对滑动杆17的位置进行限制,避免滑动杆17移出滑孔13影响装置的使用,橡胶垫19对硅棒进行防护,避免侧板18直接与硅棒接触导致硅棒容易受损。
31.以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
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