一种硅片的高效裂片装置的制作方法

文档序号:33104423发布日期:2023-02-01 01:12阅读:20来源:国知局

1.本发明涉及一种裂片装置,尤其涉及一种硅片的高效裂片装置。


背景技术:

2.随着现代社会科技的不断发展,硅材料是加工硅片的一种重要材料,而硅片是用于制作晶体管和集成电路的原料,硅片在生产制作的过程中,通常需要进行裂片处理。
3.经检索,授权专利公开号为cn207388030u的专利,公开了一种硅片裂片装置,包括手持部、固定部和裂片部,手持部固定设置在固定部的顶部,裂片部与固定部可拆卸连接。本发明的有益效果是结构简单,便于操作,解决了目前使用胶木裂片棒存在的缺点和不足,采用不锈钢外包橡胶材质,裂片压头可拆卸连接,可根据不同尺寸的硅片选用合适的裂片压头,更加方便,减少硅片碎片率,提高工作效率,减少硅片碎片率。上述专利存在以下不足:在操作的过程中需要人工手持设备来对准硅片进行操作,操作时较为耗费人力,裂片完毕后,还需要人工来换上新的硅片进行裂片,工作效率较低,不能够满足人们的需求。


技术实现要素:

4.(1)要解决的技术问题本发明为了克服上述专利在操作的过程中需要人工手持设备来操作,较为耗费人力,裂片完后,还需要人工来换上新的硅片进行裂片,工作效率较低的缺点,本发明要解决的技术问题是提供一种操作时能够节省人力,并且提高工作效率的硅片的高效裂片装置。
5.(2)技术方案为了解决上述技术问题,本发明提供了这样一种硅片的高效裂片装置,包括有底板、电机、丝杆、裂片块、置料机构和上料机构,底板顶部右侧安装有电机,电机的输出轴上连接有丝杆,丝杆上通过螺纹连接有裂片块,底板上与裂片块之间设有置料机构,底板上设有上料机构。
6.优选地,置料机构包括有第一支撑架、第一活动板、第一弹簧、导向杆、第一活动杆、第二活动板、保护框和推块,底板顶部中间连接有第一支撑架,裂片块与第一支撑架滑动配合,裂片块上滑动式连接有第一活动板,第一支撑架顶部左侧连接有导向杆,第一活动板与导向杆滑动配合,导向杆上套有第一弹簧,第一弹簧两端分别连接在第一活动板与第一支撑架上,第一支撑架顶部左侧连接有保护框,保护框内前后两侧均连接有卡块,保护框位于导向杆左侧,第一支撑架上部左侧滑动式连接有两块第二活动板,第二活动板顶部铰接连接有第一活动杆,两根第一活动杆均与第一支撑架底部铰接连接,裂片块左侧中部连接有推块。
7.优选地,上料机构包括有第二支撑架、第一装料框、第三活动板、橡胶块、固定架、粘料杆、扭力弹簧和转动轴,底板顶部左侧连接有四个第二支撑架,四个第二支撑架为前后对称设置,四个第二支撑架上部之间连接有第一装料框,第一装料框内滑动式连接有第三活动板,第三活动板前后两侧均连接有两块橡胶块,两侧橡胶块为对称设置,橡胶块与第一
装料框接触,底板顶部左侧连接有两个固定架,两个固定架为对称设置,固定架位于第一装料框右侧,两侧固定架上部之间转动式连接有转动轴,转动轴中部连接有粘料杆,粘料杆与保护框滑动配合,转动轴前后两侧均套有扭力弹簧,两个扭力弹簧两端分别连接在粘料杆两侧与两侧固定架上。
8.优选地,还包括有触发机构和装料机构,裂片块与第一支撑架之间设有触发机构,底板上设有装料机构。
9.优选地,触发机构包括有第二活动杆、第三弹簧、第三活动杆、滑杆、l形杆和推板,裂片块上部滑动式连接有第二活动杆,第二活动杆与裂片块之间连接有第三弹簧,第一支撑架右侧连接有两根第三活动杆,两根第三活动杆为对称设置,第三活动杆右侧滑动式连接有滑杆,第三活动杆下部铰接连接有l形杆,l形杆上部与滑杆底部铰接连接,第一支撑架前后两侧均滑动式连接有推板,推板与l形杆下部铰接连接。
10.优选地,装料机构包括有第二装料框、活动仓、第五活动板和第四弹簧,底板顶部中间连接有第二装料框,第二装料框内下部滑动式连接有活动仓,第二装料框上部滑动式连接有第五活动板,第五活动板与第二装料框之间连接有两根第四弹簧。
11.优选地,还包括有上升机构,上升机构包括有第一传动组件、单齿棘轮、单向离合器、第一限位杆、第一棘齿条、第五弹簧和转轴,两侧固定架上部均转动式连接有转轴,转轴上连接有单向离合器,单向离合器上连接有单齿棘轮,固定架左侧滑动式连接有第一限位杆,第一限位杆顶部与第三活动板底部接触,第一限位杆右侧滑动式连接有第一棘齿条,单齿棘轮能够戳动第一棘齿条向上移动,第一棘齿条与第一限位杆之间连接有两根第五弹簧,转动轴前后两侧与两侧转轴之间均设有第一传动组件,第一传动组件为两个设置,第一传动组件由两个皮带轮和一个平皮带组成,两个皮带轮分别连接在转轴和转动轴上,平皮带绕在两个皮带轮之间。
12.优选地,还包括有复位机构,复位机构包括有第二限位杆、第六弹簧、第二活动块、第二棘齿条、第七弹簧、棘齿轮和第二传动组件,第二装料框前后两侧下部均连接有第二限位杆,第二限位杆上滑动式连接有第二活动块,第五活动板能够推动第二活动块移动,第二限位杆上套有第六弹簧,第六弹簧两端分别连接在第二活动块和第二限位杆上,第二活动块顶部滑动式连接有第二棘齿条,第二棘齿条底部与第二活动块顶部之间连接有两根第七弹簧,前后两侧固定架中部均转动式连接有棘齿轮,两侧棘齿轮为对称设置,前后两个棘齿轮的传动轴与转动轴的前后两侧之间均连接有第二传动组件,第二传动组件为两个设置,第二传动组件由两个传动轮和一个传动带组成,两个传动轮分别连接在棘齿轮的传动轴和转动轴上,传动带绕在两个传动轮之间。
13.(3)有益效果在于:1、通过置料机构来放置硅片,放置完毕后,启动电机通过丝杆带动裂片块向下移动来对硅片进行裂片,从而实现对硅片进行裂片的效果。
14.2、通过上料机构来添加硅片,不需要人工来频繁的添加硅片,操作简单,有效的节省了人力。
15.3、通过触发机构和装料机构来对裂片后的硅片进行收集,从而实现对裂片后的硅片进行收集的效果。
16.4、通过上升机构和复位机构来辅助上料机构的运作,在使用时不需要人工来操作
上料机构运作,使得人工操作时更加方便。
17.5、在操作时只需要放置好硅片即可,操作简单,有效的节省了人力,并且提高了工作效率。
附图说明
18.图1为本发明的立体结构示意图。
19.图2为本发明的下压机构立体结构示意图。
20.图3为本发明的置料机构立体结构示意图。
21.图4为本发明的上料机构立体结构示意图。
22.图5为本发明的触发机构立体结构示意图。
23.图6为本发明的装料机构立体结构示意图。
24.图7为本发明的上升机构第一部分立体结构示意图。
25.图8为本发明的上升机构第二部分立体结构示意图。
26.图9为本发明的复位机构第一部分立体结构示意图。
27.图10为本发明的复位机构第二部分立体结构示意图。
28.附图中的标记为:1-底板,2-电机,3-丝杆,4-裂片块,5-置料机构,50-第一支撑架,51-第一活动板,52-第一弹簧,53-导向杆,54-第一活动杆,55-第二活动板,56-保护框,57-推块,58-转动轴,6-上料机构,60-第二支撑架,61-第一装料框,62-第三活动板,63-橡胶块,64-固定架,65-粘料杆,66-扭力弹簧,7-触发机构,70-第二活动杆,71-第三弹簧,72-第三活动杆,73-滑杆,74-l形杆,75-推板,8-装料机构,80-第二装料框,81-活动仓,82-第五活动板,83-第四弹簧,9-上升机构,90-第一传动组件,91-单齿棘轮,92-单向离合器,93-第一限位杆,94-第一棘齿条,95-第五弹簧,96-转轴,10-复位机构,1000-第二限位杆,1001-第六弹簧,1002-第二活动块,1003-第二棘齿条,1004-第七弹簧,1005-棘齿轮,1006-第二传动组件。
具体实施方式
29.下面结合附图和实施例对本发明作进一步的说明。
30.实施例1一种硅片的高效裂片装置,如图1-4所示,包括有底板1、电机2、丝杆3、裂片块4、置料机构5和上料机构6,底板1顶部右侧安装有电机2,电机2用于提供驱动力,电机2的输出轴上连接有丝杆3,丝杆3上通过螺纹连接有裂片块4,裂片块4用于对硅片进行裂片,底板1上与裂片块4之间设有置料机构5,置料机构5用于放置硅片,底板1上设有上料机构6,上料机构6用于添加硅片。
31.首先使用者可以将硅片堆叠放置在上料机构6内,放置完毕后,操作上料机构6将其内部的硅片移动至置料机构5内,通过置料机构5卡住,随后使用者可以启动电机2带动丝杆3向下移动,丝杆3向下移动带动裂片块4向下移动,当裂片块4向下移动至与硅片接触后,裂片块4继续向下移动即可对硅片进行裂片,裂片块4在向下移动时还带动置料机构5运作,当裂片块4对硅片进行裂片后,置料机构5也不再将硅片挡住,这时碎裂后的硅片落下,裂片完毕后,启动电机2反向转动带动丝杆3反向转动,丝杆3反向转动带动裂片块4向上移动复
位,裂片块4复位时还能够带动置料机构5复位,随后再操作上料机构6添加新的硅片,即可再次进行裂片,如此反复,就能够对硅片进行裂片处理,当硅片全部裂片完毕后,关闭电机2即可。
32.置料机构5包括有第一支撑架50、第一活动板51、第一弹簧52、导向杆53、第一活动杆54、第二活动板55、保护框56和推块57,底板1顶部中间连接有第一支撑架50,裂片块4与第一支撑架50滑动配合,裂片块4上滑动式连接有第一活动板51,第一支撑架50顶部左侧连接有导向杆53,导向杆53起导向作用,第一活动板51与导向杆53滑动配合,导向杆53上套有第一弹簧52,第一弹簧52两端分别连接在第一活动板51与第一支撑架50上,第一支撑架50顶部左侧连接有保护框56,保护框56内前后两侧均连接有卡块,保护框56用于放置硅片,保护框56位于导向杆53左侧,第一支撑架50上部左侧滑动式连接有两块第二活动板55,第二活动板55能够将保护框56底部挡住,第二活动板55顶部铰接连接有第一活动杆54,两根第一活动杆54均与第一支撑架50底部铰接连接,裂片块4左侧中部连接有推块57,推块57能够推动第一活动板51向下移动。
33.在操作时,使用者可以启动上料机构6将硅片移动至保护框56内,通过保护框56内前后两侧的卡块将硅片卡住,裂片块4在向下移动时带动推块57向下移动,当推块57向下移动至与第一活动板51接触后,推块57继续向下移动推动第一活动板51向下移动,第一弹簧52被压缩,第一活动板51向下移动挤压第一活动杆54摆动,第一活动杆54在摆动时能够推动两侧第二活动板55相互远离,两侧第二活动板55相互远离后不再将保护框56底部挡住,当裂片块4将硅片裂片完毕后,两侧第二活动板55刚好移动至不再将保护框56底部挡住,这时在碎裂后的硅片落下,如此,就能够放置硅片,裂片块4在向上移动时带动推块57向上移动,推块57向上移动后不再对第一活动板51进行挤压,这时在第一弹簧52的作用下第一活动板51向上移动,第一活动板51在向上移动时拉动第一活动杆54反向摆动,第一活动杆54在反向摆动的过程中带动两块第二活动板55复位,两块第二活动板55复位后能够再次将保护框56底部挡住。
34.上料机构6包括有第二支撑架60、第一装料框61、第三活动板62、橡胶块63、固定架64、粘料杆65、扭力弹簧66和转动轴58,底板1顶部左侧连接有四个第二支撑架60,四个第二支撑架60为前后对称设置,四个第二支撑架60上部之间连接有第一装料框61,第一装料框61用于放置硅片,第一装料框61内滑动式连接有第三活动板62,第三活动板62前后两侧均连接有两块橡胶块63,两侧橡胶块63为对称设置,橡胶块63与第一装料框61接触,橡胶块63能够增大摩擦力,底板1顶部左侧连接有两个固定架64,两个固定架64为对称设置,固定架64位于第一装料框61右侧,两侧固定架64上部之间转动式连接有转动轴58,转动轴58中部连接有粘料杆65,粘料杆65用于带动硅片移动,粘料杆65与保护框56滑动配合,转动轴58前后两侧均套有扭力弹簧66,两个扭力弹簧66两端分别连接在两侧固定架64上与粘料杆65两侧。
35.在放置硅片时,可以将硅片堆叠放置在第一装料框61内的第三活动板62上,粘料杆65能够沾上最上方的硅片,随后使用者可以扭动转动轴58带动粘料杆65转动,扭力弹簧66被压缩,粘料杆65在转动时能够带动最上方的硅片一起移动,当粘料杆65转动一百八十度后,最上方的硅片刚好卡在保护框56内的卡块内,随后即可对硅片进行裂片,裂片完毕后,松开粘料杆65,在扭力弹簧66的作用下粘料杆65反向转动复位,粘料杆65在反向转动复
位后,可以拉动第三活动板62带动硅片向上移动一块硅片厚度的距离,使得最上方的硅片再次被粘料杆65粘住,粘住后,可以松开第三活动板62,由于橡胶块63与第一装料框61之间具有较大的摩擦力,第三活动板62不会滑下,随后再次扭动转动轴58带动粘料杆65转动即可添加硅片,如此反复,就能够进行硅片的添加。
36.实施例2在实施例1的基础之上,如图1、图5和图6所示,还包括有触发机构7和装料机构8,裂片块4与第一支撑架50之间设有触发机构7,底板1上设有装料机构8,触发机构7用于驱动装料机构8运作,装料机构8用于盛装裂片后的硅片。
37.触发机构7包括有第二活动杆70、第三弹簧71、第三活动杆72、滑杆73、l形杆74和推板75,裂片块4上部滑动式连接有第二活动杆70,第二活动杆70与裂片块4之间连接有第三弹簧71,第一支撑架50右侧连接有两根第三活动杆72,两根第三活动杆72为对称设置,第三活动杆72右侧滑动式连接有滑杆73,第二活动杆70用于挤压滑杆73向下移动,第三活动杆72下部铰接连接有l形杆74,l形杆74上部与滑杆73底部铰接连接,第一支撑架50前后两侧均滑动式连接有推板75,推板75与l形杆74下部铰接连接,推板75用于驱动装料机构8运作。
38.碎裂的硅片在落下时能够落在装料机构8中,裂片块4在向下移动时带动其上全部部件一起向下移动,第二活动杆70在向下移动时会与滑杆73接触,当第二活动杆70向下移动至与滑杆73接触后,第二活动杆70继续向下移动推动滑杆73向下移动,滑杆73向下移动推动l形杆74摆动,l形杆74在摆动时挤压推板75向左移动,推板75向左移动能够推动装料机构8中的部件运作,装料机构8中的部件在运作时能够将其内部的硅片收集在一起,从而对碎裂后的硅片进行收集,如此,就能够碎裂后的硅片进行收集,当l形杆74摆动至极限后,裂片块4继续向下移动使得第三弹簧71被压缩,这时第三弹簧71起缓冲作用,裂片块4在复位后不再对滑杆73进行挤压,在装料机构8的作用下推板75向右移动复位,推板75向右移动复位带动l形杆74反向摆动复位,l形杆74反向摆动复位带动滑杆73向上移动复位。
39.装料机构8包括有第二装料框80、活动仓81、第五活动板82和第四弹簧83,底板1顶部中间连接有第二装料框80,第二装料框80内下部滑动式连接有活动仓81,活动仓81用于存放碎裂后的硅片,活动仓81为可拆卸设置,第二装料框80上部滑动式连接有第五活动板82,第五活动板82与第二装料框80之间连接有两根第四弹簧83,推板75能够推动第五活动板82移动。
40.碎裂的硅片在落下时会落在第二装料框80内,有部分硅片会落入活动仓81内,而大部分硅片还会残留在第二装料框80内上部,推板75在向左移动时能够推动第五活动板82向左移动,第四弹簧83被压缩,第五活动板82向左移动时能够将第二装料框80内上部的硅片推入活动仓81内,从而对碎裂的硅片进行收集,当活动仓81内的硅片过多时,可以将活动仓81取出,再将活动仓81内的硅片卸下即可,当裂片块4在复位后,在第四弹簧83的作用下第五活动板82复位,第五活动板82复位推动推板75复位。
41.实施例3在实施例2的基础之上,如图1、图7、图8、图9和图10所示,还包括有上升机构9,上升机构9用于拉动第三活动板62向上移动,上升机构9包括有第一传动组件90、单齿棘轮91、单向离合器92、第一限位杆93、第一棘齿条94、第五弹簧95和转轴96,两侧固定架64上部均
转动式连接有转轴96,转轴96上连接有单向离合器92,单向离合器92上连接有单齿棘轮91,固定架64左侧滑动式连接有第一限位杆93,第一限位杆93顶部与第三活动板62底部接触,第一限位杆93用于带动第三活动板62向上移动,第一限位杆93右侧滑动式连接有第一棘齿条94,单齿棘轮91能够戳动第一棘齿条94向上移动,第一棘齿条94与第一限位杆93之间连接有两根第五弹簧95,转动轴58前后两侧与两侧转轴96之间均设有第一传动组件90,第一传动组件90为两个设置,第一传动组件90由两个皮带轮和一个平皮带组成,两个皮带轮分别连接在转轴96和转动轴58上,平皮带绕在两个皮带轮之间。
42.转动轴58在转动时通过第一传动组件90带动转轴96转动,转轴96转动带动通过单向离合器92带动单齿棘轮91转动,单齿棘轮91转动时戳动第一棘齿条94向上移动,第一棘齿条94向上移动带动第一限位杆93向上移动,第一限位杆93向上移动能够推动第三活动板62向上移动,当单齿棘轮91转动至与第一棘齿条94脱离时,第三活动板62刚好向上移动一块硅片的厚度的距离,如此,就不需要人工来拉动第三活动板62向上移动,有效的节省了人力,当需要操作第三活动板62复位时,拉动第三活动板62向下移动即可,转动轴58在反向转动时通过第一传动组件90带动转轴96反向转动,这时在单向离合器92的作用下单齿棘轮91不会转动。
43.还包括有复位机构10,复位机构10用于驱动转动轴58转动,复位机构10包括有第二限位杆1000、第六弹簧1001、第二活动块1002、第二棘齿条1003、第七弹簧1004、棘齿轮1005和第二传动组件1006,第二装料框80前后两侧下部均连接有第二限位杆1000,第二限位杆1000上滑动式连接有第二活动块1002,第五活动板82能够推动第二活动块1002移动,第二限位杆1000上套有第六弹簧1001,第六弹簧1001两端分别连接在第二活动块1002和第二限位杆1000上,第二活动块1002顶部滑动式连接有第二棘齿条1003,第二棘齿条1003底部与第二活动块1002顶部之间连接有两根第七弹簧1004,前后两侧固定架64中部均转动式连接有棘齿轮1005,两侧棘齿轮1005为对称设置,第二棘齿条1003能够戳动棘齿轮1005转动,前后两个棘齿轮1005的传动轴与转动轴58的前后两侧之间均连接有第二传动组件1006,第二传动组件1006用于带动转动轴58转动,第二传动组件1006为两个设置,第二传动组件1006由两个传动轮和一个传动带组成,两个传动轮分别连接在棘齿轮1005的传动轴和转动轴58上,传动带绕在两个传动轮之间。
44.第五活动板82在向左移动时会与第二活动块1002接触,当第五活动板82向左移动至与第二活动块1002接触后,第五活动板82继续向左移动推动第二活动块1002向左移动,第六弹簧1001被压缩,第二活动块1002向左移动带动其上全部部件一起向左移动,当第二棘齿条1003向左移动至与棘齿轮1005啮合后,第二棘齿条1003继续向左移动戳动棘齿轮1005转动,棘齿轮1005转动通过第二传动组件1006带动转动轴58转动,当第二棘齿条1003向左移动至极限时,转动轴58刚好转动一百八十度,第五活动板82在复位时,不再推动第二活动块1002,这时在第六弹簧1001的作用下第二活动块1002复位,第二活动块1002复位时带动其上全部部件一起移动,第二棘齿条1003在复位时会受棘齿轮1005挤压向下移动,第七弹簧1004被压缩,当棘齿轮1005完全复位后,在第七弹簧1004的作用下第二棘齿条1003复位,如此,就不需要人工来旋转转动轴58,使得人工操作时更加方便。
45.以上所述实施例仅表达了本发明的优选实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员
来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干变形、改进及替代,这些都属于本发明的保护范围。因此,本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
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