一种推车柜的制作方法

1.本实用新型涉及设备维护保养技术领域，特别涉及一种推车柜。


背景技术：

2.在半导体制造过程中，对工厂(fabrication，fab)环境的tvoc(total volatile organic compounds，总挥发性有机物)的含量要求很高，工厂内通常会安装多个监测点用于监测tvoc的含量，防止tvoc的含量高于限定值。
3.光刻机和使用丙酮、异丙醇或酒精等tvoc的设备，在对这些设备进行pm(prevention maintenance&productive maintenance，预防维护和生产维护)时，需要将设备中剩余的tvoc装入密封垃圾桶中。目前，主要是在车间中固定的位置设置一个设备维护房间(pm room，设备维护房间)，在光刻机等设备需要维护保养时，将这些设备中剩余的tvoc搬运至设备维护房间，再将tvoc装入密封垃圾桶中。
4.然而，由于设备维护房间的位置是固定不变的，当需要维护保养的设备距离设备维护房间较远时，不方便对设备进行维护保养，并且部分tvoc会挥发到车间环境中，影响生产。


技术实现要素：

5.本实用新型提供了一种推车柜，以解决设备维护房间的位置固定不变的技术问题。
6.为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种推车柜，包括柜体和多个滚轮，多个所述滚轮安装在所述柜体的底部，所述柜体通过所述滚轮滚动，所述滚轮具有自锁结构；所述柜体具有一内部空间，所述柜体包括门，所述门具有打开和关闭两种状态；所述柜体设置有抽气孔；所述抽气孔的一端与所述柜体的内部空间连通，另一端用于连接排气管。
7.可选的，还包括可移动围栏和可伸缩盖帘；所述可移动围栏的底部设置有用于滚动的滚轮，所述可移动围栏沿垂直于所述柜体的门方向可往复移动，所述可移动围栏用于围住所述柜体的门，所述可移动围栏开设有用于通行的门；所述柜体包括顶盖；所述可伸缩盖帘的一端与所述顶盖靠近所述柜体的门的一边连接，另一端与所述可移动围栏朝向所述柜体的门的一边连接。
8.可选的，所述柜体的横截面的形状为矩形，所述可移动围栏包括依次垂直连接的第一侧面、第二侧面和第三侧面；所述第二侧面上开设有用于通行的门；所述第一侧面和所述第三侧面均与所述柜体的门垂直，所述柜体的门位于所述第一侧面和所述第三侧面之间。
9.可选的，所述可移动围栏的上表面和所述顶盖的上表面平行。
10.可选的，所述柜体的门沿平行于所述第二侧面的方向可移动。
11.可选的，所述柜体的门上设置有窗口。
12.可选的，所述第二侧面上用于通行的门沿平行于所述第二侧面的方向可移动。
13.可选的，所述第二侧面上用于通行的门设置有窗口。
14.可选的，所述柜体包括相互平行的第四侧面和第五侧面，所述第四侧面与所述第一侧面平行，所述第四侧面靠近所述柜体的门的一侧设置有用于对所述第一侧面进行限位的第一限位块，所述第五侧面靠近所述柜体的门的一侧设置有用于对所述第三侧面进行限位的第二限位块。
15.可选的，所述抽气孔设置在所述顶盖上。
16.本实用新型提供的一种推车柜，可以自由移动位置，方便对光刻机等设备进行维护保养，并且可以降低维护保养过程中tvoc挥发到车间环境中的含量。
附图说明
17.图1是本实用新型一实施例提供的一种推车柜的结构示意图。
18.图2是图1的主视图。
19.图3是图1的俯视图。
20.图4是图1中的柜体的机构示示意图。
21.图5是图1中的可移动围栏的机构示意图。
22.图6是图1中的可伸缩盖帘的机构示意图。
23.[附图标记说明如下]：
[0024]
柜体-1、滚轮-2、可移动围栏-3、可伸缩盖帘-4；
[0025]
门-11、抽气孔-12、顶盖-13、第四侧面-14；窗口-111；
[0026]
第一侧面-31、第二侧面-32、第三侧面-33。
具体实施方式
[0027]
为使本实用新型的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图对本实用新型提出的一种推车柜作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
[0028]
在本实用新型的描述中，术语“第一”、“第二”等限定词是为了方便描述和引用而增加的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等限定词的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。
[0029]
如图1-图6所示，本实施例提供了一种推车柜，包括柜体1和多个滚轮2，多个所述滚轮2安装在所述柜体1的底部，所述柜体1通过所述滚轮2滚动，所述滚轮2具有自锁结构；所述柜体1具有一内部空间，所述柜体1包括门11，所述门11具有打开和关闭两种状态；所述柜体1设置有抽气孔12；所述抽气孔12的一端与所述柜体1的内部空间连通，另一端用于连接排气管。
[0030]
在光刻机和使用丙酮、异丙醇或酒精等tvoc的设备需要pm时，可以将所述推车柜移动至需要pm的设备的附件，并将所述滚轮2锁住，防止所述滚轮2滚动。所述滚轮2可以是防震静音滚轮2，以降低所述柜体1滚动时的噪音。然后将车间的排气系统的排气管与所述抽气孔12连接，设备维护保养人员可以将含有tvoc的部件搬运至所述柜体1的内部空间，再将剩余的tvoc装入密封垃圾桶中。
[0031]
本实施例提供的一种推车柜，可以自由移动位置，方便对光刻机等设备进行维护保养，并且可以降低维护保养过程中tvoc挥发到车间环境中的含量。
[0032]
可选的，如图1-图6所示，所述推车柜还包括可移动围栏3和可伸缩盖帘4；所述可移动围栏3的底部设置有用于滚动的滚轮，所述可移动围栏3沿垂直于所述柜体1的门11方向可往复移动，所述可移动围栏3用于围住所述柜体1的门11，所述可移动围栏3开设有用于通行的门；所述柜体1包括顶盖13；所述可伸缩盖帘4的一端与所述顶盖13靠近所述柜体1的门11的一边连接，另一端与所述可移动围栏3朝向所述柜体1的门11的一边连接。
[0033]
本实施例提供的一种推车柜，设置所述可移动围栏3，可以使所述推车柜的空间可调节。在pm时，可以将所述可移动围栏3沿垂直与所述柜体1的门11的方向拉出一段距离，这样可以增加所述推车柜内部的使用空间，设备维护保养人员可以在所述推车柜的使用空间中对tvoc进行处理。当pm结束后，可以将所述可移动围栏3推向所述柜体1，以减小所述推车柜占用的空间。设置所述可伸缩盖帘4可以提高所述推车柜的密封性，降低tvoc挥发到车间环境中的含量。所述可伸缩盖帘4可以是塑料材质。
[0034]
可选的，如图4-图5所示，所述柜体1的横截面的形状为矩形，所述可移动围栏3包括依次垂直连接的第一侧面31、第二侧面32和第三侧面33；所述第二侧面32上开设有用于通行的门；所述第一侧面31和所述第三侧面33均与所述柜体1的门11垂直，所述柜体1的门11位于所述第一侧面31和所述第三侧面33之间。这样方便制造所述柜体1和所述可移动围栏3。在其它实施例中，所述柜体1和所述可移动围栏3的形状也可以是其它形状。
[0035]
可选的，如图1、图4和图5所示，所述可移动围栏3的上表面和所述顶盖13的上表面平行。这样方便固定所述可伸缩盖帘4。在其它实施例中，所述可移动围栏3的上表面和所述顶盖13的上表面可以有较小的高度差。
[0036]
可选的，如图1、图4和图5所示，所述柜体1的门11沿平行于所述第二侧面32的方向可移动。这样方便打开或关闭所述柜体1的门11。在其它实施例中，所述柜体1的门11也可以是向外或向内推拉的门。
[0037]
可选的，如图4所示，所述柜体1的门11上设置有窗口111。所述窗口111上可以安装透明玻璃或塑料板，这样方便人员观察所述柜体1内外的情况。
[0038]
可选的，参考图5所示，所述第二侧面32上用于通行的门沿平行于所述第二侧面32的方向可移动。这样方便打开或关闭所述可移动围栏3的门。在其它实施例中，所述可移动围栏3的门也可以是向外或向内推拉的门。
[0039]
可选的，参考图5所示，所述第二侧面32上用于通行的门设置有窗口。所述窗口上可以安装透明玻璃或塑料板，这样方便人员观察所述可移动围栏3内外的情况。所述第二侧面32上的门和窗口可以参考所述柜体1的门11和窗口111设置。
[0040]
可选的，如图1、图4和图5所示，所述柜体1包括相互平行的第四侧面14和第五侧面，所述第四侧面14与所述第一侧面31平行，所述第四侧面14靠近所述柜体1的门11的一侧设置有用于对所述第一侧面31进行限位的第一限位块，所述第五侧面靠近所述柜体1的门11的一侧设置有用于对所述第三侧面33进行限位的第二限位块。所述第一限位块和所述第二限位块可以防止所述可移动围栏3向外拉出的距离太大，防止所述可移动围栏3脱离所述柜体1。
[0041]
可选的，如图4所示，所述抽气孔12设置在所述顶盖13上。这样方便连接所述排气
系统的排气管。
[0042]
使用现有技术的设备维护房间和使用图1所示的推车柜进行pm时，车间内两处tvoc检测点的测量值如下：
[0043][0044]
其中，litho表示光刻，cu表示铜，pvd表示物理气相沉积(physical vapor deposition)。从上表可知，使用推车柜进行pm时，在pm过程中(pm中)和pm之后(pm后)，两处检测点的测量值明显下降，表示使用推车柜进行pm可以明显降低车间内tvoc的含量。
[0045]
综上所述，本实用新型提供的一种推车柜，可以自由移动位置，方便对光刻机等设备进行维护保养，并且可以降低维护保养过程中tvoc挥发到车间环境中的含量。
[0046]
上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于本实用新型的保护范围。