技术特征：
1.一种多线切割机砂浆喷嘴流量控制装置，其特征在于，包括砂浆喷嘴组件，所述砂浆喷嘴组件包括喷嘴和连接管，所述喷嘴均布在连接管上，且与连接管连通；流量调节阀，所述流量调节阀一端与连接管相连，另一端与喷嘴相连；无线测温装置，所述无线测温装置安装在喷嘴外壁上，用于测量单晶硅棒的温度；控制器，所述控制器与流量调节阀和无线测温装置相连，所述控制器安装在连接管或喷嘴上。2.根据权利要求1所述的一种多线切割机砂浆喷嘴流量控制装置，其特征在于，所述控制器外部安装有保护罩。3.根据权利要求1所述的一种多线切割机砂浆喷嘴流量控制装置，其特征在于，所述无线测温装置为红外线温度传感器。4.根据权利要求1或2所述的一种多线切割机砂浆喷嘴流量控制装置，其特征在于，所述控制器采用stm32系列单片机。5.一种多线切割机，其特征在于，包括两个导轮、工作台以及如权利要求1-3中任一项所述的砂浆喷嘴流量控制装置，所述工作台位于两个所述导轮中间的上方位置，两个所述导轮外侧环绕有金刚线，所述金刚线两端分别缠绕在第一收线轮和第二收线轮上，所述砂浆喷嘴流量控制装置安装在工作台与导轮之间，且位于工作台两侧。6.根据根据权利要求5所述的一种多线切割机，其特征在于，所述金刚线两端分别通过滑轮组件缠绕在第一收线轮和第二收线轮上。
技术总结
本实用新型公开一种多线切割机砂浆喷嘴流量控制装置及多线切割机，包括砂浆喷嘴组件、流量调节阀、无线测温装置和控制器，所述砂浆喷嘴组件包括喷嘴和连接管，所述喷嘴均布在连接管上，且与连接管连通；所述流量调节阀一端与连接管相连，另一端与喷嘴相连；所述无线测温装置安装在喷嘴外壁上，用于测量单晶硅棒的温度；所述控制器与流量调节阀和无线测温装置相连，所述控制器安装在连接管或喷嘴上。本实用新型能够在切割硅片的过程中，根据局部硅棒切割时的局部温度控制局部砂浆流量，从而避免单晶硅棒在多线切割过程中，因单晶硅棒局部温度波动导致切割硅片局部位置出现翘曲异常的问题。的问题。的问题。
技术研发人员：魏聪 田野
受保护的技术使用者：徐州鑫晶半导体科技有限公司
技术研发日：2022.03.18
技术公布日：2022/9/5