一种用于玻璃晶圆的精雕装置的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆技术领域，特别涉及一种用于玻璃晶圆的精雕装置。


背景技术：

2.晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之ic产品，晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅，二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅。
3.在加工晶圆时需要使用到精雕机，精雕机它是数控机床的一种，金属精雕机可对金属或非金属板材，管材进行非接触切割打孔，特别适合晶圆、不锈钢板、铁板、硅片、陶瓷片、钛合金、环氧、a3钢、金刚石等材料的激光切割加工，综上所述，现有的在加工晶圆时需要对晶圆进行打孔，在打孔时，由于晶圆的大小规格不同，使得晶圆在打孔时产生偏差，从而影响到对晶圆的加工，同时晶圆在打孔时会产生一些碎屑，使用者在清理碎屑时需要将碎屑进行清扫和清理，需要将清扫后的碎屑放入到储存盒中，从而增加了使用者在清扫时的时间，影响了使用者的加工效率，给使用者的使用带来不便。


技术实现要素：

4.本实用新型提供一种用于玻璃晶圆的精雕装置，旨在解决现有的在加工晶圆时需要对晶圆进行打孔，在打孔时，由于晶圆的大小规格不同，使得晶圆在打孔时产生偏差，从而影响到对晶圆的加工，同时晶圆在打孔时会产生一些碎屑，使用者在清理碎屑时需要将碎屑进行清扫和清理，需要将清扫后的碎屑放入到储存盒中，从而增加了使用者在清扫时的时间，影响了使用者的加工效率，给使用者的使用带来不便的问题。
5.本实用新型是这样实现的，一种用于玻璃晶圆的精雕装置，包括精雕机本体，所述精雕机本体的前侧活动连接有防护门，所述精雕机本体的顶部方便固定连接有第一盒体和第二盒体，所述第一盒体和第二盒体的数量分别为两个，两个第一盒体相对的一侧设置有推板，所述第一盒体的内壁固定连接有传动机构；
6.所述传动机构包括齿板、齿轮、传动杆电机和安装板，所述安装板的底部与第一盒体内壁的底部固定连接，所述安装板的顶部与电机的底部固定连接，所述传动杆靠近电机输出轴的一侧与电机输出轴固定连接，所述传动杆依次贯穿第一盒体和第二盒体，所述传动杆靠近齿轮的一侧与齿轮固定连接，所述齿板的表面与第二盒体的内壁活动连接，所述齿轮的表面与齿板的表面啮合连接，所述齿板靠近第二盒体的一侧贯穿至第二盒体的外侧，所述齿板靠近推板的一侧与推板固定连接。
7.为了达到方便使用者储存碎屑的效果，作为本实用新型的一种用于玻璃晶圆的精雕装置优选的，所述精雕机本体的内壁活动连接有储存箱，所述储存箱的前侧固定连接有把手，所述储存箱的两侧均固定连接有滑块。
8.为了达到限位储存箱的效果，作为本实用新型的一种用于玻璃晶圆的精雕装置优
选的，所述精雕机本体的内壁固定连接有卡块，所述卡块的内壁开设有滑槽，所述滑槽的内腔与卡块的表面接触。
9.为了达到固定晶圆的效果，作为本实用新型的一种用于玻璃晶圆的精雕装置优选的，两个推板相对的一侧均固定连接有防护板，所述防护板的材质为橡胶。
10.为了达到增加齿板在移动时稳定性的效果，作为本实用新型的一种用于玻璃晶圆的精雕装置优选的，所述齿板的前侧和后侧均固定连接有导向板，所述导向板的表面与第二盒体的内壁接触。
11.为了达到辅助收集碎屑的效果，作为本实用新型的一种用于玻璃晶圆的精雕装置优选的，所述精雕机本体的顶部开设有通槽，所述通槽的数量为三个。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
13.该用于玻璃晶圆的精雕装置，通过设置齿板、齿轮、传动杆电机和安装板的配合，能够对晶圆进行固定，避免晶圆在加工时出现移动的情况，从而影响到使用者对晶圆的打孔加工，在对晶圆进固定时，电机的转动下带动传动杆和齿轮进行转动，齿轮的转动带动齿板进行移动，齿板的移动带动推板进行移动，使得推板将晶圆进行固定，从而避免晶圆在打孔时出现移动，影响到使用者对晶圆的打孔加工，打到了方便使用者对晶圆的固定，避免晶圆在打孔时出现移动的目的。
附图说明
14.图1为本实用新型的用于玻璃晶圆的精雕装置的整体结构图；
15.图2为本实用新型中局部结构的连接示意图；
16.图3为本实用新型中局部结构的左视剖视图；
17.图4为本实用新型中局部结构的正视剖视图；
18.图5为本实用新型中精雕机本体的正视剖视图。
19.图中，1、精雕机本体；2、传动机构；201、齿板；202、齿轮；203、传动杆；204、电机；205、安装板；3、防护门；4、推板；5、第一盒体；6、第二盒体；7、防护板；8、导向板；9、滑块；10、把手；11、储存箱；12、滑槽；13、卡块；14、通槽。
具体实施方式
20.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
21.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
22.请参阅图1-5，本实用新型提供技术方案：一种用于玻璃晶圆的精雕装置，包括精雕机本体1，精雕机本体1的前侧活动连接有防护门3，精雕机本体1的顶部方便固定连接有
第一盒体5和第二盒体6，第一盒体5和第二盒体6的数量分别为两个，两个第一盒体5相对的一侧设置有推板4，第一盒体5的内壁固定连接有传动机构2；
23.传动机构2包括齿板201、齿轮202、传动杆203电机204和安装板205，安装板205的底部与第一盒体5内壁的底部固定连接，安装板205的顶部与电机204的底部固定连接，传动杆203靠近电机204输出轴的一侧与电机204输出轴固定连接，传动杆203依次贯穿第一盒体5和第二盒体6，传动杆203靠近齿轮202的一侧与齿轮202固定连接，齿板201的表面与第二盒体6的内壁活动连接，齿轮202的表面与齿板201的表面啮合连接，齿板201靠近第二盒体6的一侧贯穿至第二盒体6的外侧，齿板201靠近推板4的一侧与推板4固定连接。
24.在本实施例中：通过设置齿板201、齿轮202、传动杆203电机204和安装板205的配合，能够对晶圆进行固定，避免晶圆在加工时出现移动的情况，从而影响到使用者对晶圆的打孔加工，在对晶圆进固定时，电机204的转动下带动传动杆203和齿轮202进行转动，齿轮202的转动带动齿板201进行移动，齿板201的移动带动推板4进行移动，使得推板4将晶圆进行固定，从而避免晶圆在打孔时出现移动，影响到使用者对晶圆的打孔加工，打到了方便使用者对晶圆的固定，避免晶圆在打孔时出现移动的目的。
25.作为本实用新型的技术优化方案，精雕机本体1的内壁活动连接有储存箱11，储存箱11的前侧固定连接有把手10，储存箱11的两侧均固定连接有滑块9。
26.在本实施例中：通过设置储存箱11、把手10和滑块9的配合使用，能够方便使用者对晶圆在打孔时产生的碎屑进行收集，在清理储存箱11中的碎屑时，拉动把手10带动储存箱11和滑块9进行移动，将储存箱11取出对碎屑进行清理，达到了方便使用者储存碎屑的目的。
27.作为本实用新型的技术优化方案，精雕机本体1的内壁固定连接有卡块13，卡块13的内壁开设有滑槽12，滑槽12的内腔与卡块13的表面接触。
28.在本实施例中：通过设置卡块13和卡槽的配合使用，能够对储存箱11进行限位，避免储存箱11在外力的影响下发生移动，从而影响到对碎屑的收集，达到了限位储存箱11的目的。
29.作为本实用新型的技术优化方案，两个推板4相对的一侧均固定连接有防护板7，防护板7的材质为橡胶。
30.在本实施例中：通过设置推板4和防护板7的配合使用，能够对晶圆进行固定，避免晶圆在打开加工时出现移动，从而影响到对晶圆在加工时的精准度，达到了固定晶圆的目的。
31.作为本实用新型的技术优化方案，齿板201的前侧和后侧均固定连接有导向板8，导向板8的表面与第二盒体6的内壁接触。
32.在本实施例中：通过设置导向板8，能够增加齿板201在移动时的稳定性，避免齿板201在移动时发生偏移，从而影响到齿板201对推板4的传动，达到了增加齿板201在移动时稳定性的目的。
33.作为本实用新型的技术优化方案，精雕机本体1的顶部开设有通槽14，通槽14的数量为三个。
34.在本实施例中：通过设置通槽14，能够在通槽14的作用下，将晶圆在加工时产生的碎屑扫入到通槽14中，使得碎屑能够落入到储存箱11中，从而对碎屑进行收集，达到了辅助
收集碎屑的目的。
35.工作原理：在使用，首先，将晶圆放入到精雕机本体1本体中，启动电动带动传动杆203和齿轮202进行转动，转动的齿轮202带动齿板201和导向板8在第二盒体6中移动，移动的齿板201带动推板4和防护板7向晶圆靠近，对晶圆进行固定，避免晶圆在加工过程中出现移动，将晶圆进行加工，晶圆在加工时产生碎屑，将碎屑清扫进入到通槽14中，进入到通槽14中的晶圆落入到储存箱11中，对碎屑进行收集，当储存箱11中的碎屑达到一定的量时，需要对储存箱11中的碎屑进行清理，在清理储存箱11中的碎屑时，打开防护门3拉的把手10，使得储存箱11和滑块9进行移动，滑块9在滑槽12中移动，当滑块9完全脱离滑槽12后，将储存箱11取出对碎屑进行清理即可。
36.以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。