一种晶圆切割机喷水管纠偏装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体封装领域，特别是涉及一种晶圆切割机喷水管纠偏装置。


背景技术：

2.在半导体封装过程中，需要先通过切割机的切割刀片对晶圆进行切割，使得晶圆分割成多个小的晶片，然后切割好的晶片通过粘结的方式放置在对应的基板上。
3.在现有技术中，切割机在对晶圆切割时需配备喷水管进行使用，以防止晶圆切割位置因温度过高而发生损坏。然而在对切割机的切割刀片进行更换时，工作人员易与喷水管相触碰，进而导致喷水管出现倾斜，使得晶圆在被切割时会与喷水管外壁相接触，导致晶圆表面出现划痕，致使晶圆出现报废等情况。
4.因此，需要一种晶圆切割机喷水管纠偏装置，以解决上述问题。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于，提供一种晶圆切割机喷水管纠偏装置，以使切割刀片更换完成后，可快速将喷水管纠偏至原位置，以避免因喷水管外壁与晶圆触碰而导致晶圆报废的情况发生。
6.为解决上述技术问题，本实用新型提供一种晶圆切割机喷水管纠偏装置，包括机台板、切割刀片、喷水管以及纠偏组件；所述切割刀片以及所述喷水管均设置在所述机台板上；所述喷水管位于所述切割刀片的下方；所述纠偏组件滑动安装在所述机台板上；所述纠偏组件包括固定环、多个按压块以及驱动件；所述固定环滑动安装在所述机台板上方，且所述固定环与所述喷水管相套接；多个所述按压块呈环状等距滑动安装在所述固定环内；所述驱动件设置在所述固定环的外部，用于牵引多个所述按压块沿相互靠拢的一侧滑动，使所述喷水管底壁与所述机台板上表面相平行。
7.进一步的，所述驱动件包括转动环；所述转动环转动安装在所述固定环的一侧；所述按压块的外壁转动安装有转动柱；所述固定环外壁开设有与所述转动柱相匹配的滑轨；所述转动柱的一端延伸至所述转动环的内部；所述转动环上开设有与所述转动柱相匹配的弧形通孔；当所述转动环转动时，使所述转动柱沿所述弧形通孔内壁滑动，牵引所述按压块滑动。
8.进一步的，所述驱动件还包括螺纹环；所述螺纹环固定安装在所述固定环的一侧；所述转动环螺纹安装在所述螺纹环内部。
9.进一步的，所述纠偏组件还包括滑动柱；所述滑动柱的一端与所述固定环的底部固定连接，另一端延伸至所述机台板内部并与所述机台板滑动连接。
10.进一步的，所述滑动柱的外壁螺纹连接有螺栓；所述螺栓位于所述机台板的上方；当所述螺栓旋转至与所述机台板上表面贴合时，所述滑动柱锁紧在所述机台板上。
11.进一步的，所述机台板内部设置有防止所述滑动柱自转的限位槽。
12.相比于现有技术，本实用新型至少具有以下有益效果：
13.通过设置有固定环、按压块以及驱动件，将因更换切割刀片后的倾斜喷水管插入至固定环所形成的纠偏孔内，启动驱动件，使得多个按压块沿相互靠拢的一侧滑动，从而完成对喷水管的挤压，使得喷水管倾斜外壁复位至原位置，使得喷水管底壁始终与机台板上表面保持平行，以防止喷水管会因倾斜而与晶圆触碰，导致晶圆报废的情况发生。
附图说明
14.图1为本实用新型晶圆切割机喷水管纠偏装置的整体结构剖视图；
15.图2为本实用新型图1中a处放大图；
16.图3为本实用新型晶圆切割机喷水管纠偏装置中纠偏组件处的局部结构侧视图；
17.图4为本实用新型晶圆切割机喷水管纠偏装置中纠偏组件的局部结构爆炸图。
具体实施方式
18.下面将结合示意图对本实用新型的晶圆切割机喷水管纠偏装置进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型，而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。
19.在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
20.如图1所示，本实用新型实施例提出了一种晶圆切割机喷水管纠偏装置，包括机台板1、切割刀片2、喷水管3以及纠偏组件4。
21.所述切割刀片2以及所述喷水管3均设置在所述机台板1上且所述喷水管3位于所述切割刀片2的下方。
22.所述纠偏组件4滑动安装在所述机台板1上，当喷水管3因工作人员在更换切割刀片2时误触而发生倾斜时，可通过纠偏组件4对喷水管3的位置进行纠偏，将喷水管3摆放至原位置，从而有效避免因喷水管3倾斜而与晶圆触碰所引发晶圆报废的问题发生。
23.请参阅图2，具体的，所述纠偏组件4包括固定环41、多个按压块42以及驱动件43。
24.所述固定环41滑动安装在所述机台板1上方，且所述固定环41与所述喷水管3相套接(即喷水管3发生倾斜时，仍可位于固定环41中部所形成的纠偏腔室内)。
25.多个所述按压块42呈环状等距滑动安装在所述固定环41内。
26.所述驱动件43设置在所述固定环41的外部，用于牵引多个所述按压块42沿相互靠拢的一侧滑动，使所述喷水管3底壁与所述机台板1上表面相平行。
27.本实施例通过驱动件43控制多个按压块42沿相互靠拢的一侧滑动(即沿靠近固定环41圆心点处滑动)，由于倾斜后的喷水管3位于固定环41内部，故此时按压块42会对倾斜后的喷水管3内壁形成挤压，使得喷水管3被按压块42所挤压的外壁复位，且由于固定环41是滑动安装在机台板1上的，故固定环41沿水平方向滑动时，会对喷水管3外壁逐步挤压，使得喷水管3外壁处于同一水平线上(即使得喷水管3底壁与机台板1上表面保持平行)，从而达到对倾斜喷水管3纠偏的目的。
28.在进一步的实施例中，增设一滑动柱44以及螺栓5，以便于工作人员控制固定环41
滑动以及解决固定环41滑动至任意位置后如何锁紧的问题。
29.所述纠偏组件4还包括滑动柱44，所述滑动柱44的一端与所述固定环41的底部固定连接，另一端延伸至所述机台板1内部并与所述机台板1滑动连接，通过驱动滑动柱44滑动替代推动固定环41滑动，可有效降低工作人员的操作难度。
30.所述滑动柱44的外壁螺纹连接有螺栓5，所述螺栓5位于所述机台板1的上方，当所述螺栓5旋转至与所述机台板1上表面贴合时，所述滑动柱44锁紧在所述机台板1上。
31.在本实施例中，利用螺栓5与机台板1之间所形成的静摩擦力，实现滑动柱44的锁紧(即实现纠偏组件4的固定)，防止纠偏组件4因滑动而对晶圆的切割造成干涉。
32.其中，所述机台板1内部设置有防止所述滑动柱44自转的限位槽，以避免滑动柱44滑动时发生自转，进而对固定环41内部的正在纠偏的喷水管3造成干涉。
33.请参阅图3至图4，在其他的实施例中，提供一驱动件43，以便于同步驱动多个按压块42沿相互靠拢的一侧滑动。具体的，所述驱动件43包括转动环431，所述转动环431转动安装在所述固定环41的一侧。
34.所述按压块42的外壁转动安装有转动柱421，所述固定环41外壁开设有与所述转动柱421相匹配的滑轨，所述转动柱421的一端延伸至所述转动环431的内部。
35.所述转动环431上开设有与所述转动柱421相匹配的弧形通孔6。
36.当所述转动环431转动时，使所述转动柱421沿所述弧形通孔6内壁滑动，牵引所述按压块42滑动。
37.在本实施例中，工作人员可通过驱动转动环431转动，使得弧形通孔6对转动柱421内壁形成挤压，故转动柱421在挤压力的作用下会带动按压块42沿滑轨滑动，使得按压块42沿固定环41圆心处滑动，即通过设置有与按压块42数量相匹配的转动柱421以及弧形通孔6，就可达到同步控制多个按压块42沿相互靠拢的一侧滑动的目的。
38.进一步的，为了方便对转动环431进行固定，以避免工作人员在推动固定环41或推动滑动柱44运动时，转动环431发生转动，进而导致按压块42无法持续对喷水管3进行挤压(即无法完成对喷水管3的纠偏)。所述驱动件43还包括螺纹环432；所述螺纹环432固定安装在所述固定环41的一侧，所述转动环431螺纹安装在所述螺纹环432内部，通过设置与转动环431螺纹连接的螺纹环432，来对转动环431提供转动的支撑点，且使得转动环431在对按压块42调节完成后不会沿任意方向发生转动，进而保证工作人员推动固定环41运动时，转动环431不会发生自转，以确保本装置运行的稳定性。
39.显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。