一种单晶硅片切割装置的制作方法

1.本实用新型涉及切割装置技术领域，具体为一种单晶硅片切割装置。


背景技术：

2.随着现在社会的发展，单晶硅得到了广泛领域的应用，在很多高科技产品都需要使用单晶硅制作的半导体，这是由单晶硅的性质决定的，因其在不同方向具有不同的性质，是一种良好的半导体材料，在单晶硅生产过程中，切割是将要成型使用的重要流程。
3.一般切割机是通过切割盘旋转进行切割，然而切割盘较厚，在切割单晶硅棒时会产生较多的损耗，导致单晶硅棒的利用率不理想。


技术实现要素：

4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种单晶硅片切割装置，具备通过往复移动的切割丝机构切割降低损耗等优点，解决了单晶硅棒的利用率不理想的问题。
6.(二)技术方案
7.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种单晶硅片切割装置，包括底座，所述底座的顶部安装有l型板，所述l型板的外部设置切割装置，所述切割装置包括切割丝机构和往复机构，所述往复机构连接在切割丝机构上；
8.所述切割丝机构包括u型板、一号固定板、电机、转轴、主动齿轮、从动齿轮、一号转杆、驱动轮、二号固定板、二号转杆、导向轮、切割钢丝，所述一号固定板安装在u型板上，所述电机安装在一号固定板上，所述电机的输出端通过联轴器与转轴固定连接，所述转轴贯穿主动齿轮与主动齿轮固定连接，所述一号转杆与从动齿轮固定连接，所述主动齿轮与从动齿轮啮合连接，所述一号转杆贯穿一号固定板与驱动轮固定连接，所述一号转杆通过一号轴承与一号固定板活动连接，所述二号固定板安装在u型板上，所述二号转杆与导向轮固定连接，所述二号转杆通过二号轴承与二号固定板活动连接，所述切割钢丝套设在驱动轮和导向轮上。
9.优选的，所述往复机构包括偏心圆轮、支撑板、限位杆、限位板、弹簧，所述转轴与偏心圆轮固定连接，所述支撑板安装在l型板上，所述偏心圆轮与支撑板接触，所述限位杆安装在u型板上，所述限位杆贯穿l型板与限位板固定连接，所述限位杆与l型板活动连接，所述弹簧环形设置在限位杆上，所述弹簧的两端分别与l型板和限位板固定连接。
10.优选的，所述底座上设置有压紧装置，所述压紧装置包括固定台、一号滑轨、滑动板、滑动放置槽、挡板、抓柄、顶板、旋钮、螺杆、压板、橡胶垫、二号滑轨、固定放置槽，所述固定台安装在底座上，所述一号滑轨安装在固定台上，所述滑动板在一号滑轨上滑动连接，所述滑动放置槽安装在滑动板上，所述滑动放置槽与固定台接触，所述挡板安装在滑动放置槽上，所述抓柄安装在挡板上，所述顶板安装在滑动板行，所述旋钮安装在螺杆上，所述螺杆贯穿顶板与压板固定连接，所述螺杆与顶板螺纹连接，所述橡胶垫安装在压板上，所述二
号滑轨安装在滑动板上，所述压板在二号滑轨上滑动连接，所述固定放置槽安装在固定台上。
11.优选的，所述驱动轮和导向轮上均开设有绕丝槽。
12.优选的，所述滑动放置槽和固定放置槽的大小形状完全一致，所述滑动放置槽和固定放置槽上分别间隔均匀设置有弧形凹陷部。
13.优选的，所述底座上开设有收集槽，所述收集槽内安装有滤网。
14.优选的，所述底座的下方设置有废屑收集盒。
15.与现有技术相比，本实用新型提供了一种单晶硅片切割装置，具备以下有益效果：
16.1、该单晶硅片切割装置，通过启动电机使转轴带动主动齿轮转动，通过主动齿轮与从动齿轮啮合连接，从而带动从动齿轮、一号转杆和驱动轮转动，配合导向轮使切割钢丝运动，同时转轴带动偏心圆轮转动，利用弹簧的弹力作用，配合偏心圆轮的自重，使转动的偏心圆轮始终紧贴支撑板，从而使偏心圆轮带动切割丝机构上下往复移动，切割钢丝对多根单晶硅棒的头部同时进行切片，实现了通过往复移动的切割丝机构切割降低损耗，有效提高单晶硅棒的利用率。
17.2、该单晶硅片切割装置，提高将多根单晶硅棒的尾部和头部分别放在滑动放置槽和固定放置槽的弧形凹陷处，使单晶硅棒的尾部抵住挡板，通过旋动旋钮使螺杆转动，带动压板上下移动，使压板向下移动，橡胶垫将单晶硅棒的尾部压紧，防止单晶硅棒晃动，再抓住抓柄推动滑动放置槽，使滑动板在一号滑轨上滑动，将单晶硅棒的头部从固定放置槽中推出，实现了对多根单晶硅棒同时进行切片，防止由于单晶硅棒晃动导致影响切片精度的效果。
附图说明
18.图1为本实用新型整体正面的结构示意图；
19.图2为本实用新型整体背面的结构示意图；
20.图3为本实用新型切割装置整体正面的结构示意图；
21.图4为本实用新型割装置正面剖视的结构示意图；
22.图5为本实用新型压紧装置整体正面的结构示意图；
23.图6为本实用新型压紧装置正面剖视的结构示意图。
24.其中：1、底座；2、切割装置；201、u型板；202、一号固定板；203、电机；204、转轴；205、主动齿轮；206、从动齿轮；207、一号转杆；208、驱动轮；209、二号固定板；210、二号转杆；211、导向轮；212、切割钢丝；213、偏心圆轮；214、支撑板；215、限位杆；216、限位板；217、弹簧；3、压紧装置；301、固定台；302、一号滑轨；303、滑动板；304、滑动放置槽；305、挡板；306、抓柄；307、顶板；308、旋钮；309、螺杆；310、压板；311、橡胶垫；312、二号滑轨；313、固定放置槽；4、收集槽；5、滤网；6、废屑收集盒；7、l型板。
具体实施方式
25.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下
所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
26.请参阅图1-4，底座1的顶部安装有l型板7，l型板7的外部设置切割装置2，切割装置2包括切割丝机构和往复机构，往复机构连接在切割丝机构上，通过往复移动的切割丝机构切割降低损耗，有效提高单晶硅棒的利用率；
27.切割丝机构包括u型板201、一号固定板202、电机203、转轴204、主动齿轮205、从动齿轮206、一号转杆207、驱动轮208、二号固定板209、二号转杆210、导向轮211、切割钢丝212，一号固定板202安装在u型板201上，电机203安装在一号固定板202上，电机203的输出端通过联轴器与转轴204固定连接，转轴204贯穿主动齿轮205与主动齿轮205固定连接，一号转杆207与从动齿轮206固定连接，主动齿轮205与从动齿轮206啮合连接，一号转杆207贯穿一号固定板202与驱动轮208固定连接，一号转杆207通过一号轴承与一号固定板202活动连接，二号固定板209安装在u型板201上，二号转杆210与导向轮211固定连接，二号转杆210通过二号轴承与二号固定板209活动连接，切割钢丝212套设在驱动轮208和导向轮211上，通过主动齿轮205带动从动齿轮206、一号转杆207和驱动轮208转动，使切割钢丝212在驱动轮208和导向轮211上运动，方便对单晶硅棒切片。
28.请参阅图1-4，往复机构包括偏心圆轮213、支撑板214、限位杆215、限位板216、弹簧217，转轴204与偏心圆轮213固定连接，支撑板214安装在l型板7上，偏心圆轮213与支撑板214接触，便于顶起和放下切割丝机构，限位杆215安装在u型板201上，限位杆215贯穿l型板7与限位板216固定连接，限位杆215与l型板7活动连接，便于保证切割丝机构稳定的上下移动，弹簧217环形设置在限位杆215上，弹簧217的两端分别与l型板7和限位板216固定连接，利用弹簧217的弹力使偏心圆轮213贴紧支撑板214，通过利用转轴204带动偏心圆轮213旋转，将切割丝机构不断顶起和放下进行往复移动切割。
29.请参阅图5-6，底座1上设置有压紧装置3，压紧装置3包括固定台301、一号滑轨302、滑动板303、滑动放置槽304、挡板305、抓柄306、顶板307、旋钮308、螺杆309、压板310、橡胶垫311、二号滑轨312、固定放置槽313，固定台301安装在底座1上，一号滑轨302安装在固定台301上，滑动板303在一号滑轨302上滑动连接，滑动放置槽304安装在滑动板303上，滑动放置槽304与固定台301接触，便于使滑动放置槽304在固定台301上滑动，挡板305安装在滑动放置槽304上，抓柄306安装在挡板305上，顶板307安装在滑动板303行，旋钮308安装在螺杆309上，螺杆309贯穿顶板307与压板310固定连接，螺杆309与顶板307螺纹连接，橡胶垫311安装在压板310上，便于防止单晶硅棒晃动，二号滑轨312安装在滑动板303上，压板310在二号滑轨312上滑动连接，固定放置槽313安装在固定台301上，对多根单晶硅棒同时进行切片，防止由于单晶硅棒晃动导致影响切片精度的效果。
30.请参阅图3-4，驱动轮208和导向轮211上均开设有绕丝槽，便于防止切割钢丝212脱离驱动轮208和导向轮211。
31.请参阅图5-6，滑动放置槽304和固定放置槽313的大小形状完全一致，滑动放置槽304和固定放置槽313上分别间隔均匀设置有弧形凹陷部，便于水平放入多根单晶硅棒。
32.请参阅图1-2，底座1上开设有收集槽4，收集槽4内安装有滤网5，便于收集单晶硅片，使废屑从滤网5掉落。
33.请参阅图1-2，底座1的下方设置有废屑收集盒6，便于收集掉落的废屑，方便集中处理。
34.在使用时，先将多根单晶硅棒的尾部和头部分别放在滑动放置槽304和固定放置槽313的弧形凹陷处，使单晶硅棒的尾部抵住挡板305，通过旋动旋钮308使螺杆309转动，带动压板310上下移动，通过二号滑轨312防止压板310旋转，使压板310向下移动，橡胶垫311将单晶硅棒的尾部压紧，防止单晶硅棒晃动，再抓住抓柄306推动滑动放置槽304，使滑动板303在一号滑轨302上滑动，将单晶硅棒的头部从固定放置槽313中推出，从而对多根单晶硅棒同时进行切片时，防止由于单晶硅棒晃动导致影响切片精度。
35.通过启动电机203使转轴204带动主动齿轮205转动，通过主动齿轮205与从动齿轮206啮合连接，从而带动从动齿轮206、一号转杆207和驱动轮208转动，配合导向轮211转动连接在二号固定板209上，使切割钢丝212绕着驱动轮208和导向轮211运动，同时转轴204带动偏心圆轮213转动，由于弹簧217一直处于拉伸状态，利用弹簧217的弹力作用，使限位杆215受到向下的推力，推力通过u型板201传递给偏心圆轮213，配合偏心圆轮213的自重，使转动的偏心圆轮213始终紧贴支撑板214，从而使偏心圆轮213带动切割丝机构上下往复移动，切割钢丝212对多根单晶硅棒的头部同时进行切片。
36.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。