晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置及方法与流程

文档序号:35139313发布日期:2023-08-17 01:57阅读:来源:国知局

技术特征:

1.晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置,包括金刚石线切割台(1),所述金刚石线切割台(1)包括安装架(11),所述安装架(11)上安装有主动转轮(12)和从动转轮(13),围绕所述主动转轮(12)和所述从动转轮(13)的外周设有金刚石线(14),所述安装架(11)上设有用于驱动所述主动转轮(12)转动的驱动装置(15),其特征在于,

2.根据权利要求1所述的晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置,其特征在于,所述主动转轮(12)还包括第二紧固头(124),所述第二紧固头(124)可拆卸连接在所述第二转动轮(123)上,所述第二紧固头(124)与所述第一紧固头(122)位于第二转动轮(123)的异侧。

3.根据权利要求1所述的晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置,其特征在于,所述第一转动轮(121)、所述第二转动轮(123)是横向设置的圆柱状结构,所述第一转动轮(121)的朝向第一紧固头(122)的端部具有凸出部(1211),所述第一紧固头(122)的朝向所述第一转动轮(121)的一面设有凹陷部(1221),所述凹陷部(1221)与所述凸出部(1211)可拆卸连接;

4.根据权利要求3所述的晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置,其特征在于,所述凸出部(1211)、所述凹陷部(1221)、所述凸起部、所述内凹部均是圆台形,所述第一转动轮(121)、所述第一紧固头(122)、所述第二转动轮(123)连接后,所述主动转轮(12)的外观是一个圆柱状。

5.根据权利要求3所述的晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置,其特征在于,所述凸出部(1211)的外表面设有第一外螺纹,所述凹陷部(1221)设有第一内螺纹,所述凹陷部(1221)与所述凸出部(1211)匹配螺接;

6.根据权利要求3所述的晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置,其特征在于,所述凸出部(1211)的外表面、所述凹陷部(1221)的内表面、所述凸起部外表面、所述内凹部内表面均为光滑的表面,所述第一紧固头(122)与所述第一连接轴(125)滑动连接。

7.根据权利要求6所述的晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置,其特征在于,所述第一紧固头(122)、第二转动轮(123)是一个重复单元,所述第一转动轮(121)与所述第二紧固头(124)之间设置多个所述重复单元。

8.根据权利要求1所述的晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置,其特征在于,所述主动转轮(12)还包括第一调节头(126),所述第一调节头(126)设置于所述第一紧固头(122)与所述第二转动轮(123)之间,所述第一调节头(126)转动连接在所述第一连接轴(125)上。

9.根据权利要求8所述的晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置,其特征在于,所述第二转动轮(123)包括第一固定部(1231)、第二固定部(1232)和第一活动部(1233),所述第一活动部(1233)滑动设置在所述第一固定部(1231)与第二固定部(1232)之间,所述第一固定部(1231)、所述第二固定部(1232)和所述第一活动部(1233)的外壁能够拼接成圆柱形状;

10.一种制作高纯碳化硅陶瓷晶舟的方法,其特征在于,包括:


技术总结
本发明属于晶舟制作设备技术领域,具体涉及一种晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置及方法。所述装置包括金刚石线切割台,所述金刚石线切割台包括安装架,所述安装架上安装有主动转轮和从动转轮,围绕所述主动转轮和从动转轮的外周设有金刚石线,安装架上设有用于驱动所述主动转轮转动的驱动装置,所述主动转轮包括第一连接轴,所述第一连接轴转动连接在所述安装架上,所述第一连接轴上依次贯穿连接有第一转动轮、第一紧固头、第二转动轮;所述从动转轮的结构与所述主动转轮的结构相同。本发明能够调节金刚石线的数量,进而调节对碳化硅晶舟的开齿的数量。

技术研发人员:王建忠
受保护的技术使用者:西安中威新材料有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/14
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