1.晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置,包括金刚石线切割台(1),所述金刚石线切割台(1)包括安装架(11),所述安装架(11)上安装有主动转轮(12)和从动转轮(13),围绕所述主动转轮(12)和所述从动转轮(13)的外周设有金刚石线(14),所述安装架(11)上设有用于驱动所述主动转轮(12)转动的驱动装置(15),其特征在于,
2.根据权利要求1所述的晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置,其特征在于,所述主动转轮(12)还包括第二紧固头(124),所述第二紧固头(124)可拆卸连接在所述第二转动轮(123)上,所述第二紧固头(124)与所述第一紧固头(122)位于第二转动轮(123)的异侧。
3.根据权利要求1所述的晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置,其特征在于,所述第一转动轮(121)、所述第二转动轮(123)是横向设置的圆柱状结构,所述第一转动轮(121)的朝向第一紧固头(122)的端部具有凸出部(1211),所述第一紧固头(122)的朝向所述第一转动轮(121)的一面设有凹陷部(1221),所述凹陷部(1221)与所述凸出部(1211)可拆卸连接;
4.根据权利要求3所述的晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置,其特征在于,所述凸出部(1211)、所述凹陷部(1221)、所述凸起部、所述内凹部均是圆台形,所述第一转动轮(121)、所述第一紧固头(122)、所述第二转动轮(123)连接后,所述主动转轮(12)的外观是一个圆柱状。
5.根据权利要求3所述的晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置,其特征在于,所述凸出部(1211)的外表面设有第一外螺纹,所述凹陷部(1221)设有第一内螺纹,所述凹陷部(1221)与所述凸出部(1211)匹配螺接;
6.根据权利要求3所述的晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置,其特征在于,所述凸出部(1211)的外表面、所述凹陷部(1221)的内表面、所述凸起部外表面、所述内凹部内表面均为光滑的表面,所述第一紧固头(122)与所述第一连接轴(125)滑动连接。
7.根据权利要求6所述的晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置,其特征在于,所述第一紧固头(122)、第二转动轮(123)是一个重复单元,所述第一转动轮(121)与所述第二紧固头(124)之间设置多个所述重复单元。
8.根据权利要求1所述的晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置,其特征在于,所述主动转轮(12)还包括第一调节头(126),所述第一调节头(126)设置于所述第一紧固头(122)与所述第二转动轮(123)之间,所述第一调节头(126)转动连接在所述第一连接轴(125)上。
9.根据权利要求8所述的晶圆用高纯碳化硅陶瓷晶舟的制作装置,其特征在于,所述第二转动轮(123)包括第一固定部(1231)、第二固定部(1232)和第一活动部(1233),所述第一活动部(1233)滑动设置在所述第一固定部(1231)与第二固定部(1232)之间,所述第一固定部(1231)、所述第二固定部(1232)和所述第一活动部(1233)的外壁能够拼接成圆柱形状;
10.一种制作高纯碳化硅陶瓷晶舟的方法,其特征在于,包括: