基板裂断装置的制造方法_2

文档序号:9625445阅读:来源:国知局
0032]引导单元500,是分别设于移送单元400即一对输送带的一端,且对与借由输送带支承的基板10的下面对向的基板10的上面进行引导。即,借由引导单元500限制基板10往上方的移动,借此防止基板10的裂断步骤时,基板10的移动,圆滑地进行裂断步骤。
[0033]又,本实施例的基板裂断装置1,进一步包含:空气刀单元600,于基板10的下面,以与吸气单元100对向的方式设置,且向基板10的下面喷射压缩空气;刀刃驱动单元620,使空气刀单元600向基板10接近或相离的方式移动。
[0034]空气刀单元600,是借由向形成有刻划线11的基板10的面相反侧的基板10的面喷射压缩空气,辅助基板10的裂断。
[0035]刀刃驱动单元620,是调节空气刀单元600向基板10喷射压缩空气的距离。在本实施例,刀刃驱动单元620,是设于与空气刀单元600连接的线性台而能够进行精密控制。
[0036]若对具有如上述构成的基板裂断装置1的作用进行说明,则如同接下来所述。
[0037]首先,由刻划装置完成刻划步骤的基板10是借由移送单元400往基板裂断装置1内送入。移送单元400,是一面支承形成有刻划线11的基板10,一面以定位于形成有刻划线11的部分与吸气单元100对向的位置(固定位置)使基板10移动。
[0038]基板10被置于固定位置后,吸气单元100及排气单元200借由升降单元300以邻接形成有刻划线11的基板10的面的方式接近。与此同时,空气刀单元600,借由刀刃驱动单元620向与基板10的形成有刻划线11的面相反侧的面接近。
[0039]吸气单元100及排气单元200以邻接于基板10的方式被配置时的吸气单元100及排气单元200与基板10之间的间隔,以及空气刀单元600以邻接于基板10的方式被配置时的空气刀单元600与基板10之间的间隔,是分别借由基板10的大小及种类、吸气单元100及排气单元200的输出、空气刀单元600的输出,适当地变更而能够被控制。
[0040]以邻接于基板10的面的方式接近的吸气单元100及排气单元200,分别进行空气的吸入及排出的作动而执行基板10的裂断步骤。S卩,基板10的形成有刻划线11的部分,是承受借由吸气单元100于吸气单元100侧吸入的力,且与形成有刻划线11的部分邻接的两侧部分,是承受借由排气单元200自排气单元200远离的方向的力,刻划线11部分的裂断是于基板10的厚度方向进行而将基板10裂断。
[0041]又,与吸气单元100及排气单元200的动作同时,借由空气刀单元600向基板10的下面喷射压缩空气,协助基板10的裂断。此时,因基板10借由引导单元500及移送单元400规范往上方及下方的移动,基板10的裂断变得更加容易。
[0042]基板10的裂断时所产生的粉尘,是借由吸气单元10吸收且除去。
[0043]若基板10的裂断结束,吸气单元100及排气单元200借由升降单元300回归至原位置,且空气刀单元600也借由刀刃驱动单元620回归至原位置。
[0044]如此,若根据本发明的基板裂断装置,借由以非接触方式进行基板10的裂断步骤,能够防止接触式方式的问题点即误差的产生或接触面的异物产生,且能够使分断时的不良率减少。
[0045]又,刻划线11为中心,于基板10的形成有刻划线11的部分与其两侧面,借由作用互相相反的力的方式,能够使分断力提升。故,对于形成较浅的刻划线11的基板10,也能够圆滑地进行裂断,借此能够使基板10的分断面的质量及刚性提升。
[0046]在前述实施例中,虽为了使基板10的裂断进一步圆滑,于基板10的下面侧配置有空气刀单元600,但空气刀单元600并非必须的构成要素,省略也无仿。
[0047]又,在前述实施例中,升降单元300及刀刃驱动单元620,虽是为了精密控制而由线性台构成,但与此相异,由汽缸或制动器构成也无仿。
[0048]又,在前述实施例中,因应于基板10形成的刻划线11的方向,吸气单元100及排气单元200与空气刀单元600的配置可以变得相反。
[0049]以上所述,仅是本发明的较佳实施例而已,并非对本发明作任何形式上的限制,虽然本发明已以较佳实施例揭露如上,然而并非用以限定本发明,任何熟悉本专业的技术人员,在不脱离本发明技术方案范围内,当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例,但凡是未脱离本发明技术方案内容,依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰,均仍属于本发明技术方案的范围内。
【主权项】
1.一种基板裂断装置,其特征在于,其包含: 吸气单元,以邻接于形成有刻划线的基板的面的方式设置,将形成有前述刻划线的面侧的空气吸入; 排气单元,设于前述吸气单元的两侧且向前述基板的面将空气排出。2.根据权利要求1所述的基板裂断装置,其特征在于,其进一步包含:升降单元,连接于前述吸气单元及前述排气单元的一端,而使前述吸气单元及前述排气单元向前述基板以接近或相离的方式移动。3.根据权利要求2所述的基板裂断装置,其特征在于,其中,前述升降单元,是与前述吸气单元及前述排气单元连接的线性台。4.根据权利要求1所述的基板裂断装置,其特征在于,其进一步包含:移送单元,设于前述吸气单元及前述排气单元的两侧面,且将前述基板一面支承一面移送;引导单元,设于前述移送单元的一端,且对与借由前述移送单元支承的前述基板的面相反侧的面进行引寸ο5.根据权利要求1所述的基板裂断装置,其特征在于,其进一步包含:空气刀单元,于与前述基板的形成有前述刻划线的面相反侧,以与前述吸气单元对向的方式设置,且向前述基板的形成有前述刻划线的面相反侧的面喷射压缩空气。6.根据权利要求5所述的基板裂断装置,其特征在于,其进一步包含:刀刃驱动单元,使前述空气刀单元向前述基板接近或相离的方式移动。7.根据权利要求6所述的基板裂断装置,其特征在于,其中,前述刀刃驱动单元,是与前述空气刀单元连接的线性台。
【专利摘要】本发明是有关于一种基板裂断装置,防止接触式裂断的问题即误差的产生或接触面的异物的产生,且使分断时的不良率减少。该基板裂断装置包含:吸气单元,以邻接于形成有刻划线的基板的面的方式设置,将形成有前述刻划线的面侧的空气吸入;排气单元,设于前述吸气单元的两侧且向前述基板的面将空气排出。
【IPC分类】B28D1/00, B28D5/00
【公开号】CN105382936
【申请号】CN201510428431
【发明人】朱阮镛, 李钟禹
【申请人】三星钻石工业股份有限公司
【公开日】2016年3月9日
【申请日】2015年7月20日
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