技术特征：
技术总结
本发明提供了一种真空吸附结构及机械手装置，真空吸附结构包括机械手垫板和设置在机械手垫板上用于吸附基板的真空吸嘴，还包括设置在真空吸嘴内并用于为真空吸嘴降温的冷却部件，真空吸嘴内部设有安装冷却部件的容纳槽，冷却部件内部通入冷却介质；冷却部件为冷却管线，冷却介质为冷却气体；冷却管线上设有用于向真空吸嘴的吸附面吹气的冷却气孔，真空吸嘴上设有用于内部气体排出的排气口。机械手装置采用了该真空吸附结构，本发明提供的真空吸附结构及机械手装置，提高了产品的质量。
技术研发人员：简重光
受保护的技术使用者：惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司
技术研发日：2017.06.06
技术公布日：2017.09.22