技术特征：
技术总结
本发明公开了一种机器人用吸盘装置，包括盘体，所述盘体的上端中央设置有中央吸盘，中央吸盘的中央开设有中央气孔；所述中央吸盘的外侧从内往外依次设置有第一层吸盘、第二层吸盘和第三层吸盘，第一层吸盘、第二层吸盘和第三层吸盘的内侧中央均开设有通孔；所述盘体的下端设置有气腔，气腔均与中央气孔、通孔连通。本机器人用吸盘装置在工作时，盘体设置有多层吸盘，能将较小的晶圆或玻璃基板吸起，各个晶圆或玻璃基板与各个吸盘各自形成合适的真空度，避免了因局部漏气导致整体真空度不足，而吸附不住，在搬运过程中摔碎，吸附物体更平稳；整体较好吸附裂纹较多、凹凸不平较为严重的基板，有效的对吸附过程进行监控，减少待吸附件的损坏。
技术研发人员：袁荣;王涛
受保护的技术使用者：芜湖易泽中小企业公共服务股份有限公司
技术研发日：2018.06.14
技术公布日：2018.11.02