工业用机器人的制作方法

本发明涉及具备关节部的工业用机器人。

背景技术：

目前，已知有设置于洁净室内的水平多关节机器人(例如，参照专利文献1)。专利文献1所记载的机器人具备手、前端侧可转动地连接手的臂、可转动地连接臂的基端侧的基体。在手和臂的连接部即关节部，设有用于抑制气体从臂的内部向洁净室流出的迷宫式密封。

在专利文献1所记载的机器人中，迷宫式密封形成于设置在手侧的第一密封部件和设置在臂侧的第二密封部件之间。具体而言，在第一密封部件上形成有以同心状配置的圆环状的多个上方突出圆环部，在第二密封部件上形成有在径向上配置于多个上方突出圆环部之间的圆环状的多个下方突出圆环部。另外，在上方突出圆环部和下方突出圆环部之间形成的间隙是迷宫式密封。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015－123551号公报

技术实现要素：

发明所要解决的技术问题

在专利文献1所记载的机器人中，因为在关节部设有迷宫式密封，所以能够抑制在机器人的内部产生的尘埃从关节部流出到洁净室中。但是，在专利文献1所记载的机器人的情况下，由以同心状配置的圆环状的多个上方突出圆环部和以同心状配置的圆环状的多个下方突出圆环部形成迷宫式密封，因此设于关节部的密封部的结构变得复杂。

因此，本发明的技术问题在于提供一种工业用机器人，其能够简化设于关节部的密封部的结构，并且抑制在内部产生的尘埃从关节部流出。

解决问题所采用的技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供一种工业用机器人，其具备关节部，所述关节部是第一部件和相对于第一部件可转动的第二部件的连接部，所述工业用机器人的特征在于，在关节部形成用于抑制气体从工业用机器人的内部向工业用机器人的外部流出的密封部，第一部件具备用于形成密封部的第一密封部件，第二部件具备用于形成密封部的第二密封部件，当将与第二部件相对于第一部件转动的轴向正交的方向设定为径向时，密封部由第一间隙和在轴向上与第一间隙的一端相连的第二间隙构成，所述第一间隙是第一密封部件和第二密封部件的径向的间隙，所述第二间隙是第一密封部件和第二密封部件的轴向的间隙，第一密封部件和第二密封部件由相同的材料形成。

在本发明的工业用机器人中，形成于关节部的密封部由第一密封部件和第二密封部件的径向的间隙即第一间隙及第一密封部件和第二密封部件的轴向的间隙即第二间隙构成，且第二间隙在轴向上与第一间隙的一端相连。因此，在本发明中，能够简化设于关节部的密封部的结构。

另一方面，本发明的密封部是由第一密封部件和第二密封部件的径向的间隙即第一间隙及第一密封部件和第二密封部件的轴向的间隙即第二间隙构成的简单的构造，因此，当工业用机器人的环境温度变动、第一间隙变宽或第二间隙变宽时，密封部的密封作用降低，有可能不能抑制气体从工业用机器人的内部向工业用机器人的外部流出。另外，在本发明的密封部的情况下，当工业用机器人的环境温度变动、第一间隙缩小或第二间隙缩小时，第一密封部件和第二密封部件接触，有可能对关节部的动作造成障碍，因此，在设计上不可能缩小第一间隙及第二间隙，有可能不能确保密封部的密封作用。

但是，在本发明中，第一密封部件和第二密封部件由相同的材料形成，因此，即使工业用机器人的环境温度变动，另外，即使在设计上缩小第一间隙及第二间隙，也能够保持第一间隙及第二间隙恒定，以使第一密封部件和第二密封部件不会接触。因此，在本发明中，能够简化设于关节部的密封部的结构，并且能够通过密封部抑制气体从工业用机器人的内部向工业用机器人的外部流出。其结果是，在本发明中，能够简化设于关节部的密封部的结构，并且能够抑制在工业用机器人的内部产生的尘埃从关节部流出。

在本发明中，例如，在第一密封部件上形成有内周面和第一平面，所述内周面的从轴向观察时的形状为圆形，所述第一平面与轴向上的内周面的一端相连，并且呈与轴向正交的环状且平面状，在第二密封部件上形成有外周面和第二平面，所述外周面的从轴向观察时的形状为圆形，并且在径向上隔着恒定的第一间隙与内周面对置，所述第二平面与轴向上的外周面的一端相连，形成与轴向正交的环状且平面状，并且，在轴向上隔着恒定的第二间隙与第一平面对置。

在本发明中，例如，第一间隙比第二间隙窄，轴向上的第一间隙的长度比径向上的第二间隙的长度长。在这种情况下，以第一间隙为主，发挥抑制气体从工业用机器人的内部向工业用机器人的外部流出的作用。

在本发明中，理想的是，第一密封部件及第二密封部件由铝合金形成。当这样构成时，第一部件及第二部件的加工变得容易，并且可以将第一部件及第二部件轻量化。

在本发明中，例如，工业用机器人具备装载搬运对象的作为第二部件的手和在前端侧可转动地连接手的臂，臂具备前端侧可转动地连接手的作为第一部件的前端侧臂部和可转动地连接前端侧臂部的基端侧的第一臂部。

另外，在本发明中，例如，工业用机器人具备装载搬运对象的手和在前端侧可转动地连接手的臂，臂具备前端侧可转动地连接手的作为第二部件的前端侧臂部和可转动地连接前端侧臂部的基端侧的作为第一部件的第一臂部。

另外，在本发明中，例如，工业用机器人具备装载搬运对象的手、前端侧可转动地连接手的臂、以及可转动地连接臂的基端侧的作为第二部件的本体部，臂具备基端侧可转动地与本体部连接的作为第一部件的第一臂部和可转动地与第一臂部的前端侧连接的前端侧臂部。

(发明效果)

如上所述，在本发明的工业用机器人中，能够简化设于关节部的密封部的结构，并且抑制在工业用机器人的内部产生的尘埃从关节部流出。

附图说明

图1是本发明实施方式的工业用机器人的立体图。

图2是图1所示的手的一部分及臂的局部剖视图。

图3(a)是图2的e部的放大图，图3(b)是图3(a)的h部的放大图。

图4(a)是图2的f部的放大图，图4(b)是图4(a)的j部的放大图。

图5(a)是图2的g部的放大图，图5(b)是图5(a)的k部的放大图。

附图标记说明

1机器人(工业用机器人)

3手(第二部件)

4臂

5本体部(第二部件)

7第一臂部(第一部件)

8第二臂部(前端侧臂部、第一部件、第二部件)

10～12关节部

17固定部件(第二密封部件)

17a、32a、39a外周面

18带轮(第二密封部件)

18a、29a下表面(第二平面)

21臂部本体(第一密封部件)

21a、26a、34a内周面

21c、26c、34c上表面(第一平面)

26轴承按压部件(第一密封部件)

29臂部本体(第二密封部件)

32固定部件(第二密封部件)

34密封部件(第一密封部件)

39带轮(第二密封部件)

39b台阶面(第二平面)

43、46、49密封部

s1、s3、s5间隙(第一间隙)

s2、s4、s6间隙(第二间隙)

具体实施方式

以下，参照附图，说明本发明的实施方式。

(工业用机器人的概略结构)

图1是本发明实施方式的工业用机器人1的立体图。图2是图1所示的手3的一部分及臂4的局部剖视图。

本实施方式的工业用机器人1(以下，称为“机器人1”)是用于搬运玻璃基板或半导体晶圆等搬运对象的水平多关节型机器人。该机器人1设置于洁净室中。机器人1具备装载搬运对象的手3、前端侧可转动地连接手3的臂4、可转动地连接臂4的基端侧的本体部5。本实施方式的机器人1具备两个手3及两个臂4，在两个臂4各自上可转动地连接有一个手3。在本体部5可转动地连接有两个臂4的基端侧。此外，在图1中省略手3的图示。

臂4由相互可相对转动地连接的第一臂部7和第二臂部8这两个臂部构成。第一臂部7及第二臂部8形成为中空状。第一臂部7的基端侧与本体部5可转动地连接。在第一臂部7的前端侧可转动地连接有第二臂部8的基端侧。在第二臂部8的前端侧可转动地连接有手3。第一臂部7配置成比本体部5靠上侧，第二臂部8配置成比第一臂部7靠上侧。手3配置成比第二臂部8靠上侧。本实施方式的第二臂部8是前端侧臂部。

第一臂部7和本体部5的连接部成为关节部10，关节部10连接第一臂部7和相对于第一臂部7可转动的本体部5。第一臂部7和第二臂部8的连接部成为关节部11，关节部11连接第一臂部7和相对于第一臂部7可转动的第二臂部8。第二臂部8和手3的连接部成为关节部12，关节部12连接第二臂部8和相对于第二臂部8可转动的手3。

第一臂部7相对于本体部5以上下方向为转动的轴向进行转动。即，上下方向为第一臂部7相对于本体部5转动的轴向。同样，第二臂部8相对于第一臂部7以上下方向为转动的轴向进行转动，手3相对于第二臂部8以上下方向为转动的轴向进行转动。即，上下方向是第二臂部8相对于第一臂部7转动的轴向，并且是手3相对于第二臂部8转动的轴向。

(本体部、臂及手的结构)

图3(a)是图2的e部的放大图，图3(b)是图3(a)的h部的放大图。图4(a)是图2的f部的放大图，图4(b)是图4(a)的j部的放大图。图5(a)是图2的g部的放大图，图5(b)是图5(a)的k部的放大图。

本体部5具备形成为中空状的壳体14。在壳体14的内部配置有相对于壳体14可转动的中空状的转动轴15。另外，本体部5具备固定于壳体14的上端部的筒状的固定部件17和固定于固定部件17上的带轮18。

转动轴15形成为以上下方向为轴向的细长的圆筒状。第一臂部7的基端侧被固定在转动轴15的上端。转动轴15的上端部比壳体14的上端面更向上侧突出，转动轴15的除上端部以外的部分被收容于壳体14的内部。在壳体14的内部配置有用于使转动轴15相对于壳体14转动的电动机(图示省略)。在该电动机上，例如经由带轮、带及减速器连接有转动轴15的下端侧。

第一臂部7具备形成为细长的中空箱状的臂部本体21和平板状的两个盖部件22、23。臂部本体21的上表面除了臂部本体21的前端部之外开口。臂部本体21的下表面除了臂部本体21的基端部之外开口。盖部件22固定于臂部本体21的上表面侧，以将形成于臂部本体21的上表面的开口封闭。盖部件23固定于臂部本体21的下表面侧，以将形成于臂部本体21的下表面的开口封闭。

如图3(a)和图3(b)所示，在臂部本体21的基端侧的下表面，形成有沿上下方向贯通的贯通孔。如图4(a)和图4(b)所示，在臂部本体21的前端侧的上表面形成有沿上下方向贯通的贯通孔。另外，第一臂部7具备：固定于臂部本体21的基端部的固定部件24、固定于臂部本体21的前端部的中空状的固定轴25及轴承按压部件26、以及固定于固定轴25上的带轮27。

第二臂部8具备形成为细长的中空箱状的臂部本体29和平板状的两个盖部件30、31。臂部本体29的上表面除了臂部本体29的前端部之外开口。臂部本体29的下表面除了臂部本体29的基端部之外开口。盖部件30固定于臂部本体29的上表面侧，以将形成于臂部本体29的上表面的开口封闭。盖部件31固定于臂部本体29的下表面侧，以将形成于臂部本体29的下表面的开口封闭。

如图4(a)和图4(b)所示，在臂部本体29的基端侧的下表面，形成有沿上下方向贯通的贯通孔。如图5所示，在臂部本体29的前端侧的上表面，形成有沿上下方向贯通的贯通孔。另外，第二臂部8具备固定于臂部本体29的基端部的筒状的固定部件32、固定于固定部件32上的带轮33以及固定于臂部本体29的前端部的密封部件34。

手3具备构成手3的基端部的手基部37、固定于手基部37的固定部件38、固定于固定部件38上的带轮39。手基部37形成为中空状。在手基部37固定有搬运对象的装载部(图示省略)。例如，该装载部形成为y型的平板状。

(关节部的结构)

在关节部10中，在固定于壳体14的上端部的固定部件17的内周侧配置有转动轴15。转动轴15经由轴承42可转动地支承于固定部件17。带轮18固定于固定部件17的上端部。转动轴15的上端部及固定部件17的上端部插入到形成于臂部本体21的基端侧的下表面的贯通孔，配置于臂部本体21的基端侧的内部。带轮18及轴承42也配置于臂部本体21的基端侧的内部。

固定部件24在臂部本体21的基端侧的内部固定于臂部本体21的基端部。另外，固定部件24固定于转动轴15的上端，经由轴承42可转动地支承于固定部件17。因此，臂部本体21相对于固定部件17能够转动。即，第一臂部7相对于固定部件17及壳体14能够转动。

形成于臂部本体21的基端侧的下表面的贯通孔的内周面21a(参照图3(b))的从上下方向观察时的形状为圆形。另外，固定部件17的上端部的比带轮18靠下侧的外周面17a(参照图3(b))的、从上下方向观察时的形状为圆形。形成于臂部本体21的基端侧的下表面的贯通孔和固定部件17的上端部同轴配置，外周面17a和内周面21a在与上下方向正交的径向上隔着恒定的间隙s1对置。间隙s1例如为0.1(mm)。

在臂部本体21的基端部形成有构成内周面21a的上端部的圆环状的凸部21b(参照图3(b))。凸部21b朝向上侧(即朝向臂部本体21的内部)突出。凸部21b的上表面21c成为与上下方向正交的圆环状的平面。带轮18的径向的外侧端配置成比固定部件17的外周面17a靠径向的外侧。带轮18的下表面18a(参照图3(b))成为与上下方向正交的圆环状的平面。上表面21c和下表面18a在上下方向上隔着恒定的间隙s2对置。

上表面21c与内周面21a的上端相连。另外，下表面18a与外周面17a的上端相连。因此，间隙s2与间隙s1的上端相连。间隙s2比间隙s1宽。即，间隙s1比间隙s2窄。另外，径向上的间隙s2的长度比上下方向上的间隙s1的长度短。即，间隙s1的上下方向的长度比间隙s2的径向的长度长。

在本实施方式中，由间隙s1和与间隙s1的上端相连的间隙s2形成用于抑制气体从机器人1的内部向机器人1的外部流出的密封部43，其中，间隙s1是臂部本体21和固定部件17的径向的间隙(具体而言，是臂部本体21的贯通孔和固定部件17的上端部的径向的间隙)，间隙s2是臂部本体21和带轮18的上下方向的间隙(具体而言，是凸部21b和带轮18的上下方向的间隙)。即，在关节部10形成有纵剖面形状为l形状的密封部43。在关节部10，间隙s2和间隙s1从机器人1的内部朝向机器人1的外部依次配置。密封部43发挥抑制气体从本体部5的内部及第一臂部7的内部流出的作用。

在关节部10中，臂部本体21是用于形成密封部43的第一密封部件，固定部件17及带轮18是用于形成密封部43的第二密封部件。在本实施方式中，固定部件17、带轮18及臂部本体21由铝合金形成。即，作为第一密封部件的臂部本体21和作为第二密封部件的固定部件17及带轮18由相同的材料形成。另外，在关节部10中，间隙s1是第一间隙，间隙s2是第二间隙，凸部21b的上表面21c是第一平面，带轮18的下表面18a是第二平面。另外，在关节部10中，第一臂部7是第一部件，本体部5是第二部件。

在关节部11中，固定轴25配置于臂部本体21的前端侧的内部。固定轴25形成为以上下方向为轴向的细长的圆筒状。带轮27固定于固定轴25的上端。带轮27配置于臂部本体29的基端侧的内部。轴承按压部件26形成为圆环状。轴承按压部件26通过多个不锈钢制的螺丝40固定于臂部本体21的前端部的上表面侧。轴承按压部件26的一部分配置在形成于臂部本体21的前端部的上表面的贯通孔中。轴承按压部件26发挥从上侧按压后述的轴承45的作用。

固定部件32固定于臂部本体29的基端侧的下表面。固定部件32的上端部的外周面与形成于臂部本体29的基端部的下表面的贯通孔的内周面接触。带轮33固定于固定部件32的下端。固定部件32插入到轴承按压部件26的内周侧，固定部件32的下端部及带轮33配置于臂部本体21的前端侧的内部。在带轮33和带轮18上挂设有省略图示的带。

固定轴25配置于固定部件32及带轮33的内周侧。固定部件32及带轮33经由轴承44可转动地支承于固定轴25上。另外，固定部件32及带轮33经由轴承45可转动地支承于臂部本体21的前端部。因此，固定部件32相对于臂部本体21及固定轴25能够转动。即，第二臂部8相对于第一臂部7能够转动。

从上下方向观察时的轴承按压部件26的内周面26a(参照图4(b))的形状为圆形。另外，固定部件32的与内周面26a对置的部分的外周面32a(参照图4(b))的从上下方向观察的形状为圆形。轴承按压部件26和固定部件32同轴配置，内周面26a和外周面32a在与上下方向正交的径向上隔着恒定的间隙s3对置。间隙s3例如为0.1(mm)。

在轴承按压部件26上形成有构成内周面26a的上端部的圆环状的凸部26b。凸部26b朝向上侧(即朝向第二臂部8)突出。凸部26b的上表面26c成为与上下方向正交的圆环状的平面。臂部本体29的基端部的下表面的配置于比固定部件32靠径向的外侧的部分(以下，称为“下表面29a”)成为与上下方向正交的环状的平面。上表面26c和下表面29a在上下方向上隔着恒定的间隙s4对置。上表面26c与内周面26a的上端相连。另外，下表面29a与外周面32a的上端相连。因此，间隙s4与间隙s3的上端相连。间隙s3比间隙s4窄。另外，间隙s3的上下方向的长度比间隙s4的径向的长度长。

在本实施方式中，由间隙s3和与间隙s3的上端相连的间隙s4形成用于抑制气体从机器人1的内部向机器人1的外部流出的密封部46，其中，间隙s3是轴承按压部件26和固定部件32的径向的间隙，间隙s4是轴承按压部件26和臂部本体29的上下方向的间隙(具体而言，是凸部26b和臂部本体29的上下方向的间隙)。即，在关节部11形成有纵剖面形状为l形的密封部46。在关节部11，间隙s3和间隙s4从机器人1的内部朝向机器人1的外部依次配置。密封部46发挥抑制气体从第一臂部7的内部及第二臂部8的内部流出的作用。

在关节部11中，轴承按压部件26是用于形成密封部46的第一密封部件，臂部本体29及固定部件32是用于形成密封部46的第二密封部件。在本实施方式中，轴承按压部件26、臂部本体29及固定部件32由铝合金形成。即，作为第一密封部件的轴承按压部件26和作为第二密封部件的臂部本体29及固定部件32由相同的材料形成。另外，在关节部11中，间隙s3是第一间隙，间隙s4是第二间隙，凸部26b的上表面26c是第一平面，臂部本体29的下表面29a是第二平面。另外，在关节部11中，第一臂部7是第一部件，第二臂部8是第二部件。

在关节部12中，在臂部本体29的内部形成有从臂部本体29的下端侧向上侧突出的圆筒状的中空轴部29b。密封部件34形成为圆环状。密封部件34通过不锈钢制的螺丝41固定于臂部本体29的前端部的上表面侧。密封部件34配置在形成于臂部本体29的前端部的上表面的贯通孔中。

固定部件38固定于手基部37的下表面。带轮39固定于固定部件38的下端。带轮39的上端部被插入密封部件34的内周侧，带轮39的下端部配置于臂部本体29的前端侧的内部。在带轮39和带轮27上挂设有省略图示的带。中空轴部29b配置于带轮39的内周侧。固定部件38及带轮39经由轴承47可转动地支承于中空轴部29b。因此，固定部件38及带轮39相对于臂部本体29能够转动。即，手3相对于第二臂部8能够转动。

从上下方向观察时的密封部件34的内周面34a(参照图5(b))的形状为圆形。另外，带轮39的与内周面34a对置的部分的外周面39a(参照图5(b))的从上下方向观察的形状为圆形。密封部件34和带轮39同轴配置，内周面34a和外周面39a在与上下方向正交的径向上隔着恒定的间隙s5对置。间隙s5例如为0.1(mm)。

在密封部件34的下端面的内周端形成有朝向上侧凹进的凹部34b。凹部34b的上表面34c形成与上下方向正交的圆环状的平面。在带轮39的外周面39a的下侧形成有圆环状的台阶面39b。台阶面39b形成与上下方向正交的平面。上表面34c和台阶面39b在上下方向上隔着恒定的间隙s6对置。上表面34c与内周面34a的下端相连。另外，台阶面39b与外周面39a的下端相连。因此，间隙s6与间隙s5的下端相连。间隙s5比间隙s6窄。另外，间隙s5的上下方向的长度比间隙s6的径向的长度长。

在本实施方式中，由间隙s5和与间隙s5的下端相连的间隙s6形成用于抑制气体从机器人1的内部向机器人1的外部流出的密封部49，其中，间隙s5是密封部件34和带轮39的径向的间隙，间隙s6是密封部件34和带轮39的上下方向的间隙(具体而言，是凹部34b和台阶面39b的上下方向的间隙)。即，在关节部12形成有纵剖面形状为l形状的密封部49。在关节部12中，间隙s6和间隙s5从机器人1的内部朝向机器人1的外部依次配置。密封部49发挥抑制气体从第二臂部8的内部及手3的内部流出的作用。

在关节部12中，密封部件34是用于形成密封部49的第一密封部件，带轮39是用于形成密封部49的第二密封部件。在本实施方式中，密封部件34及带轮39由铝合金形成。即，作为第一密封部件的密封部件34和作为第二密封部件的带轮39由相同的材料形成。另外，在关节部12中，间隙s5是第一间隙，间隙s6是第二间隙，凹部34b的上表面34c是第一平面，带轮39的台阶面39b是第二平面。另外，在关节部12中，第二臂部8是第一部件，手3是第二部件。

此外，在机器人1中，穿绕规定的配线或配管，使其穿过臂部本体21、29的内部、转动轴15的内周侧、固定轴25的内周侧及中空轴部29b的内周侧。

(本实施方式的主要效果)

如以上所说明，在本实施方式中，形成于关节部10的密封部43由间隙s1和与间隙s1的上端相连的间隙s2构成，其中，间隙s1是臂部本体21和固定部件17的径向的间隙，间隙s2是臂部本体21和带轮18的上下方向的间隙。同样，在本实施方式中，形成于关节部11的密封部46由间隙s3和与间隙s3的上端相连的间隙s4构成，其中，间隙s3是轴承按压部件26和固定部件32的径向的间隙，间隙s4是轴承按压部件26和臂部本体29的上下方向的间隙，形成于关节部12的密封部49由间隙s5和与间隙s5的下端相连的间隙s6构成，其中，间隙s5是密封部件34和带轮39的径向的间隙，间隙s6是密封部件34和带轮39的上下方向的间隙。因此，在本实施方式中，可以简化设于关节部10～12的密封部43、46、49的结构。

另一方面，本实施方式的密封部43是由间隙s1和间隙s2构成的简单的构造，因此，当机器人1的环境温度变动、间隙s1加宽时，密封部43的密封作用降低，有可能无法抑制气体从机器人1的内部向机器人1的外部流出。另外，本实施方式的密封部43是由间隙s1和间隙s2构成的简单的构造，因此，当机器人1的环境温度变动、间隙s1变窄时，臂部本体21和固定部件17接触，有可能对关节部10的动作造成障碍。因此，在设计上不能缩小的间隙s1，有可能无法确保密封部43的密封作用。

但是，在本实施方式中，臂部本体21和固定部件17由相同的材料形成，所以即使机器人1的环境温度变动，另外，即使在设计上缩小间隙s1，也能够保持间隙s1恒定，使得臂部本体21和固定部件17不会接触。

同样，在本实施方式中，当机器人1的环境温度变动、间隙s3加宽时，密封部46的密封作用降低，有可能无法抑制气体从机器人1的内部向机器人1的外部流出，并且，当机器人1的环境温度变动、间隙s3缩小时，轴承按压部件26和固定部件32接触，有可能对关节部11的动作造成障碍，因此，有可能在设计上不能缩小间隙s3，但因为轴承按压部件26和固定部件32由相同的材料形成，所以即使机器人1的环境温度变动，另外，即使在设计上缩小间隙s3，也能够保持间隙s3恒定，使得轴承按压部件26和固定部件32不会接触。

另外，当机器人1的环境温度变动、间隙s5加宽时，密封部49的密封作用降低，有可能无法抑制气体从机器人1的内部向机器人1的外部流出，并且，当机器人1的环境温度变动、间隙s5缩小时，密封部件34和带轮39接触，有可能对关节部12的动作造成障碍，因此，有可能在设计上不能缩小间隙s5，但因为密封部件34和带轮39由相同的材料形成，所以即使机器人1的环境温度变动，另外即使在设计上缩小间隙s5，也能够保持间隙s5恒定，使得密封部件34和带轮39不会接触。

因此，在本实施方式中，能够简化设于关节部10～12的密封部43、46、49的结构，并且，能够通过密封部43、46、49抑制气体从机器人1的内部向机器人1的外部流出。其结果是，在本实施方式中，能够简化设于关节部10～12的密封部43、46、49的结构，并且能够抑制在机器人1的内部产生的尘埃从关节部10～12流出。此外，在机器人1的内部，因受在带轮18、27、33、39、带及臂部本体21、29的内部等穿绕的配线等的影响而产生尘埃。

在本实施方式中，固定部件17、32、带轮18、39、臂部本体21、29、轴承按压部件26及密封部件34由铝合金形成。因此，在本实施方式中，固定部件17、32、带轮18、39、臂部本体21、29、轴承按压部件26及密封部件34的加工变得容易。另外，在本实施方式中，能够将固定部件17、32、带轮18、39、臂部本体21、29、轴承按压部件26及密封部件34轻量化。

此外，在本实施方式中，壳体14、转动轴15也由铝合金形成。另外，盖部件22、23、固定部件24、固定轴25及带轮27也由铝合金形成。即，第一臂部7由铝合金形成。另外，盖部件30、31及带轮33也由铝合金形成，第二臂部8由铝合金形成。另外，手基部37及固定部件38也由铝合金形成。

(其它实施方式)

上述的实施方式是本发明的最佳方式的一个例子，但不限于此，在不变更本发明的宗旨的范围内可以进行各种变形实施。

在上述的实施方式中，臂部本体21、固定部件17及带轮18也可以由铝合金以外的相同的材料形成。另外，在上述的实施方式中，轴承按压部件26、臂部本体29及固定部件32也可以由铝合金以外的相同的材料形成，密封部件34和带轮39也可以由铝合金以外的相同的材料形成。

在上述的实施方式中，间隙s2和间隙s1可以相等，间隙s2也可以比间隙s1窄。同样，间隙s4和间隙s3也可以相等，间隙s4也可以比间隙s3窄。另外，间隙s6和间隙s5也可以相等，间隙s6也可以比间隙s5窄。

在上述的实施方式中，间隙s2的径向长度也可以和间隙s1的上下方向的长度相等，也可以比间隙s1的上下方向的长度长。同样，间隙s4的径向的长度也可以和间隙s3的上下方向的长度相等，也可以比间隙s3的上下方向的长度长。另外，间隙s6的径向的长度也可以和间隙s5的上下方向的长度相等，也可以比间隙s5的上下方向的长度长。

在上述的实施方式中，臂4也可以由相互可转动地连接的三个以上的臂部构成。另外，在上述的实施方式中，机器人1是用于对搬运对象进行搬运的机器人，但应用本发明的机器人也可以是在其它用途中使用的机器人。