本实用新型涉及一种工件的吸附手，特别是涉及一种对基板、薄工件等进行吸附、搬运(handling)的吸附手。
背景技术：
光学透明的基板、例如玻璃基板的切割往往通过机械切削来进行。例如，通过使用金刚石刀具等切割锯，从大型的玻璃基板切取多张玻璃基板片。
另一方面，对于光学透明的基板的切割，存在不是机械切削加工而是使用激光进行加工的方法(参照专利文献1)。具体而言，首先，对玻璃基板照射极短脉冲宽度的激光，在玻璃基板呈针眼状形成划线。然后，通过沿着该划线进行分割，从大型的玻璃基板切取多张玻璃基板片。
现有技术文献
专利文献1：日本特开2007-260749号公报
实用新型所要解决的问题
伴随着近年来的便携式终端、信息终端的普及，在各种产品中，始终要求批量生产率和成本降低。因此，即使在上述使用激光的加工方法中，生产率的提高、即产品制造的周期时间的提高也是问题。
技术实现要素：
本实用新型的目的在于，获得一种能够向邻接的多台激光加工机分别同时供给、投入玻璃基板、显示模块的吸附手。
用于解决问题的方案
在本实用新型的一个方案中，
一种对工件进行移载的机器人的吸附所述工件的吸附手，其具备：
U字形的吸附手主体，拆装自如地设于所述机器人的主体部；以及
吸附单元，分别设于所述吸附手主体的两股顶端，并具备吸附所述工件的吸盘。
根据上述构成，吸附手主体为U字形，在其两股顶端分别设有吸附单元。因此，通过一次作业，能够使多个工件移载至邻接的多台激光加工机。
如此，根据上述构成，能提供一种能够向邻接的多台激光加工机分别同时供给、投入玻璃基板、显示模块的吸附手。
此外，在本实用新型的一个方案中，
所述吸附单元具备：
吸附构件，拆装自如地设于所述吸附手主体；以及
吸盘构件，拆装自如地设于所述吸附构件的顶端侧的下表面，并具备至少一个所述吸盘。
此外，在本实用新型的一个方案中，
所述吸附单元还具备吸气系统构件，
所述吸气系统构件设于所述吸盘构件与至少一个吸气管线之间，并具备至少一个吸气配管，
在所述吸盘构件的至少一个所述吸盘连接有至少一个所述吸气配管的一端侧，在至少一个该吸气配管的另一端侧连接有至少一个所述吸气管线。
此外，在本实用新型的一个方案中，
所述吸附构件具备用于装接所述吸气系统构件的装接部，
在所述装接部装接有所述吸气系统构件，所述吸盘构件的至少一个所述吸盘与该吸气系统构件的至少一个所述吸气配管连通。
此外，在本实用新型的一个方案中，
所述吸盘构件具备：
板状的基座构件，拆装自如地设于所述吸附构件的顶端侧的下表面；以及
多个所述吸盘，拆装自如地设于所述基座构件的下表面。
此外，在本实用新型的一个方案中，
所述吸附构件为薄板构件，该薄板构件的根侧紧固于所述吸附手主体。
此外，在本实用新型的一个方案中，
所述装接部是贯通所述吸附构件的装配孔，
至少一个所述吸盘设于面向所述装配孔的位置。
此外，在本实用新型的一个方案中，
所述装接部由贯通所述吸附构件的装配孔和设于所述吸附构件的上表面的装配槽构成，
至少一个所述吸盘设于面向所述装配孔的位置。
实用新型的效果
根据本实用新型，能提供一种能够向邻接的多台激光加工机分别同时供给、投入玻璃基板、显示模块的吸附手。
附图说明
图1是加工装置的平面示意图。
图2是表示机器人的立体图。
图3是表示第一实施方式的吸附手的图。
图4是图3的iv-iv线剖面图。
图5是表示第二实施方式的吸附手的图。
图6是图5的vi-vi线剖面图。
附图标记说明
1：加工装置；2：第一激光加工机；3：第二激光加工机；4：机器人；5：导轨；6：工件；7：吸附手；8：台架；9：机器人主体部；11：吸气管线；12：搬出单元。
具体实施方式
以下，参照附图对本实用新型的实施方式进行说明。
此外，在本实施方式的说明中，为了便于说明，适当提及“左右方向”、“前后方向”、“上下方向”。这些方向是各图中设定的相对方向。在此，“上下方向”是包含“上方”以及“下方”的方向。“前后方向”是包含“前方”以及“后方”的方向。“左右方向”是包含“左方”以及“右方”的方向。
＜第一实施方式＞
图1是加工装置1的平面示意图。如图1所示，加工装置1具备：第一激光加工机2、第二激光加工机3、机器人4、导轨5和搬出单元12。加工装置1对工件6进行加工。工件6例如为玻璃基板、LCD、OLED等显示模块。此外，机器人4设置为能够沿着导轨5走行。
第一激光加工机2具备一对加工单元21。一对加工单元21对载置于工作台20的各个工件6实施基于激光的加工。一对加工单元21邻接配置。一对加工单元21既可以构成为对工件6进行相同的加工，也可以构成为对工件6进行不同的加工。
第二激光加工机3具备一对加工单元31。一对加工单元31对载置于工作台30的各个工件6实施基于激光的加工。一对加工单元31邻接配置。一对加工单元31既可以构成为对工件6进行相同的加工，也可以构成为对工件6进行不同的加工。
搬出单元12是对进行了由第一激光加工机2以及第二激光加工机3实施的一系列加工的工件6进行保管的装置。
从未图示的供给单元供给的工件6通过机器人4以第一激光加工机2、第二激光加工机3的顺序进行供给。通过各激光加工机2、3，多个工件6并行加工。各激光加工机2、3交替对工件6进行加工。具体而言，当由第一激光加工机2实施的向工件6的加工结束时，通过机器人4从工作台20取出工件6，并向搬出单元12搬出。之后，通过机器人4将新的工件6供给至第一激光加工机2。经过一段时间以后，当由第二激光加工机3实施的向工件6的加工结束时，通过机器人4从工作台30取出工件6，并向搬出单元12搬出。之后，通过机器人4将新的工件6供给至第二激光加工机3。通过重复这些，进行工件6的供给、加工、搬出。
图2是表示机器人4的立体图。如图2所示，机器人4具备：吸附手7、台架8和机器人主体部9。
台架8搭载于导轨5，能够沿着导轨5移动。台架8通过未图示的驱动装置沿着导轨5被驱动。若该驱动装置为直线驱动机构，则无论什么样的驱动机构都能够应用，但优选起尘少的驱动机构。作为起尘少的驱动机构，例如，可以采用线性电机、滚珠丝杠等。
机器人主体部9搭载于台架8上。机器人主体部9具备：固定于台架8的下部9A、设置为相对于下部9A升降自如的上部9B。此外，在下部9A设有吸附手升降电机91，在上部9B设有吸附手转动电机92。通过吸附手升降电机91的驱动，上部9B相对于下部9A向上下移动。此外，通过吸附手转动电机92的驱动，上部9B的轴体9B1绕着在上下方向延伸的旋转轴Az转动。轴体9B1为中空体，后述的吸气配管83插通于其内部。
图3是表示第一实施方式的吸附手7的图。如图3所示，吸附手7具有吸附手主体71和吸附单元72。
吸附手主体71为U字形。吸附手主体71的顶端被分成两股，在分支的各顶端部77分别设有吸附单元72。在吸附手主体71的根部设有装配孔74。轴体9B1(参照图2)嵌合于该装配孔74。吸附手主体71相对于机器人主体部9拆装自如。在吸附手主体71的各分支部适当设有贯穿孔75。贯穿孔75兼顾吸附手主体71的轻量化和作为吸气配管83的穿孔的功能。此外，在吸附手主体71的各分支部的上表面适当设有加强肋76。通过加强肋76，防止伴随吸附手主体71的自重等的挠曲。一对加强肋76之间的距离比贯穿孔75的直径大。需要说明的是，在本实施方式中，加强肋76为大致长方体的板形状，但不限于此。例如，加强肋76也可以为顶端变细的形状。
吸附单元72具备吸附构件78和吸盘构件79。吸盘构件79相对于吸附构件78拆装自如。吸附构件78为薄板构件。吸附构件78比吸附手主体71的厚度薄。吸附构件78相对于吸附手主体71拆装自如。吸附构件78为大致长方体，顶端部为顶端变细的形状。在吸附构件78，形成有从上表面贯通至下表面的贯通孔80。贯通孔80为从吸附构件78的基侧向顶端侧延伸的长孔。贯通孔80的顶端部根据后述的吸盘82的列数而进行分支。在本实施方式中，吸盘82配置为两列，从而贯通孔80的顶端部被分成两股。在吸附构件78的顶端部的下方，设有作为吸盘构件79的一部分的基座构件81。基座构件81为板状。基座构件81相对于吸附构件78拆装自如。在基座构件81的下方，设有两列用于吸附工件6的吸盘82。在本实施方式中，在基座构件81的下方设有各列两个、共计四个吸盘82。需要说明的是，吸盘82的数量、配列数是任意的。
吸盘82是用于吸附工件6的垫(pad)。吸盘82通过与工件6接触并吸引来保持工件6。吸盘82相对于基座构件81拆装自如。
吸附单元72的根侧通过螺栓等紧固构件与吸附手主体71紧固，吸附单元72相对于吸附手主体71拆装自如。
图4是图3的iv-iv线剖面图。吸气配管83的一端插通于轴体9B1，如图4所示，经由吸气管线11连接于泵85。吸气配管83的另一端配管于吸附手主体71的上表面，并穿过贯穿孔75。穿至吸附手主体71的下表面的吸气配管83与设于吸附手主体71的下表面的接头86连接。
如图4所示，在吸附构件78的上表面和下表面贴合有密封构件，例如不锈钢密封件84。通过将贯通孔80的上表面和下表面由不锈钢密封件84覆盖，贯通孔80形成吸气通路89。在吸气通路89的根侧(图4中为后侧)，在吸气通路89与上述接头86之间，设有使吸气配管83与吸气通路89连通的连通构件87。另一方面，在吸气通路89的顶端侧(图4中为前侧)，吸盘82插通于设在基座构件81的贯通孔88，与吸气通路89连通。根据这些构成，吸盘82与泵85连通，工件6的吸附变得可能。在本实施方式中，吸气配管83、接头86、连通构件87以及不锈钢密封件84构成吸气系统构件100。此外，贯通孔80构成装接部200。需要说明的是，在本实施方式中，作为密封构件列举了不锈钢密封件84，但并不限定于此，只要是能够维持用于吸附的气密性的密封构件即可。
当泵85工作时，吸气系统构件100的内部被减压。由此，吸盘82吸附工件6。在本实施方式中，使用多个吸盘82吸附一个工件6，因此能够稳定地吸附工件6。
根据上述构成，吸附手主体71为U字形，在其被分支成两股的顶端部77分别设有吸附单元72。因此，通过一次工件供给，能够将多个工件6供给至邻接的加工单元21、21(或31、31)。
如此，根据上述构成，能提供一种能够向邻接的加工单元分别同时供给、投入工件的吸附手。
此外，吸附手主体71相对于机器人主体部9拆装自如，因此在吸附手主体71产生不良情况时，仅更换产生了不良情况的吸附手单元71即可，无需按机器人主体部9进行更换。
此外，根据上述构成，在吸附手主体71的顶端部77分别设有吸附单元72。此外，吸附单元72相对于吸附手主体71拆装自如，因此在吸附单元72产生不良情况时，仅更换产生了不良情况的吸附单元72即可，无需按机器人4进行更换。
此外，根据上述构成，吸附单元72具备具有吸气配管83的吸气系统构件100，在吸气配管83的一端连接有至少一个吸盘82，在吸气配管83的另一端连接有至少一个吸气管线11。其结果是，吸气配管83的处理容易，因此，能够简单地组装吸附手7。
此外，根据上述构成，吸盘构件79设于吸附构件78的下表面。因此，在吸盘构件79产生不良情况时，仅更换吸盘构件79即可，无需按吸附单元72进行更换。此外，多个吸盘82分别拆装自如地设于基座构件81的下表面。因此，在一个吸盘82产生不良情况时，仅更换该吸盘82即可，无需按吸盘构件79进行更换。
＜第二实施方式＞
图5是表示第二实施方式的吸附手107的图。图5所示的吸附手107的第一实施方式中的贯通孔80由装配槽80A和装配孔80B构成。装配槽80A设置为在吸气通路89的根侧(图6中为后侧)向吸附构件178的上表面侧开口。装配孔80B形成为在吸气通路89的顶端侧(图6中为前侧)贯通吸附构件178。
图6是图5的vi-vi线剖面图。图6所示的吸附单元172在接头86A位于吸附构件78的顶端侧的方面与第一实施方式不同。吸气配管83的顶端在装配孔80B的内部连接于接头86A。相对于该接头86A连接有多个分支管83A。换言之，接头86A和各分支管83A呈将接头86A作为集管(header)的集合管构造。各分支管83A经由贯通孔88连接于吸盘82。通过这些构成，吸盘82与泵85连通，工件6的吸附变得可能。
需要说明的是，本实用新型不限定于上述的实施方式，可适当自由进行变形、改良等。此外，上述的实施方式中的各构成要素的材质、形状、尺寸、数值、形态、数量、配置部位等如果能够实现本实用新型则是任意的，并不限定。
机器人4的输送对象物可以不是玻璃基板，而可以是硅基板、硅晶片等半导体基板。此外，除了切割加工之外，加工装置1还可以是进行清洗、蚀刻等各种加工的装置。而且，除了使用激光的切削加工之外，加工装置1还可以是使用刀具的切削加工。此外，加工装置1既可以通过多个加工机进行单一加工，也可以通过多个加工机进行多种加工。