一种硅片固定装置的制作方法

本实用新型涉及机械制造技术领域，具体是涉及一种硅片固定装置。

背景技术：

硅片应用在各行业，应用广泛，硅片需求也越来越多，硅片固定越来越常见，传统固定为真空吸附，硅片的敏感膜片容易严重变形甚至破裂，或是争对同一种硅片进行固定。

技术实现要素：

本实用新型的目的是针对现有技术中的不足，提供一种硅片固定装置，该硅片固定装置使用方便，结构简单，且可避免对硅片质量的影响，同时可对不同厚度的硅片进行固定。为实现上述目的，本实用新型公开了如下技术方案：一种硅片固定装置，包括工作台面，所述工作台面上设有三个夹紧机构，三个所述夹紧机构呈品字形分布，所述三个夹紧机构嵌在所述工作台面上，其中任一所述夹紧机构横向设置在所述工作台面上，且位于所述工作台面的中心线上，另两个所述夹紧机构分别位于两侧且对称设置，位于上端的所述夹紧机构与相邻的所述夹紧机构之间设有夹角α，所述夹角α为90度，

所述夹紧机构包括卡板、T形构件、压板，所述卡板固定在所述工作台面上，所述卡板上设有卡槽，所述卡槽两边垂直设有多个缺口，所述卡槽两边的缺口对称设置，所述T形构件与所述工作台面垂直，所述压板固定于所述T形构件的竖边的上端且所述T形构件相垂直，所述T形构件的横边卡在相应的所述缺口内，所述压板与所述工作台面平齐，所述压板通过所述T形构件固定在所述卡板上；

所述T形构件由横边与竖边组成的整体构件，所述横边为正方体构件，所述竖边为圆柱体构件，所述横边的长度L1与所述缺口的长度L2为1.15：1。

进一步的，上述一种硅片固定装置，所述压板的两端设有端板，所述端板分别卡在相应的所述缺口内，所述端板为长方形构件，所述端板与所述缺口紧密配合。

进一步的，上述一种硅片固定装置，所述卡槽为倒T形槽。

本实用新型的突出有益效果：由于本实用新型包括工作台面，所述工作台面边缘设有夹紧机构，所述夹紧机构成品字形，所述夹紧机构包括卡板、T形构件、压板，所述卡板上设有卡槽，所述卡槽两边设有缺口，通过T形构件使所述卡板与所述压板相连，使用时，将硅片安装在三个夹紧机构中间，将压板压合在所述卡板上，使压板与硅片贴合，使硅片压合在工作台面上，从而实现硅片的固定；该装置结构简单，设计合理，操作方便，同时也避免了真空吸附对硅片的影响。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图2为本实用新型中夹紧机构的结构示意图。

图3为本实用新型中T形构件的结构示意图。

图4是本实用新型中卡板的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的详细说明，以便对本实用新型的构思、所解决的技术问题、构成技术方案的技术特征和带来的技术效果有更进一步的了解，需要说明的是，对这些实施方式的说明是示意性的，并不构成对本实用新型的具体限定。一种硅片固定装置，包括工作台面1，所述工作台面上设有三个夹紧机构2，三个所述夹紧机构呈品字形分布，所述三个夹紧机构嵌在所述工作台面上，其中任一所述夹紧机构横向设置在所述工作台面上，且位于所述工作台面的中心线上，另两个所述夹紧机构分别位于两侧且对称设置，位于上端的所述夹紧机构与相邻的所述夹紧机构之间设有夹角α，所述夹角α为90度，所述夹紧机构2包括卡板21、T形构件22、压板23，所述卡板固定在所述工作台面上，所述卡板上设有卡槽24，所述卡槽两边垂直设有多个缺口25，所述卡槽两边的缺口对称设置，所述T形构件与所述工作台面垂直，所述压板固定于所述T形构件的竖边的上端且所述T形构件相垂直，所述T形构件的横边卡在相应的所述缺口内，所述压板与所述工作台面平齐，所述压板通过所述T形构件固定在所述卡板上；所述T形构件22由横边221与竖边222组成的整体构件，所述横边为正方体构件，所述竖边为圆柱体构件，所述横边的长度L1与所述缺口的长度L2为1.15：1；所述卡槽为倒T形槽。进一步的，上述一种硅片固定装置，所述压板的两端设有端板，所述端板分别卡在相应的所述缺口内，所述端板为长方形构件，所述端板与所述缺口紧密配合。

使用时，将硅片安装在三个夹紧机构中间，将压板压合在所述卡板上，使压板与硅片贴合，使硅片压合在工作台面上，从而实现硅片的固定；该装置结构简单，设计合理，操作方便，同时也避免了真空吸附对硅片的影响。以上所述仅为本实用新型的优选实施方式而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。