一种磁控溅射的靶材安装座用翻转装置的制作方法

本实用新型涉及工装领域，尤其涉及一种磁控溅射的靶材安装座用翻转装置。

背景技术：

目前，真空射镀膜技术在工业领域中日益得到广泛的应用，真空磁控溅射镀膜技术以其优越的低温、高效率等特点，在真空镀膜设备中广泛采用。

连续式磁控溅射镀膜设备，以其高生产效率，自动化程度高，在镀膜领域有着广泛的使用。

真空磁控溅射镀膜设备中核心的部位是阴极溅射靶材，它是用来真空镀膜的原材料，属于耗材，需要定期维护更换，而靶材安装部位在方形腔室顶部，且靶材安装座上端面带有充气、冷却水、电源等连接装置，不便于将靶材安装座倒置放在平台上安装、拆卸、维修等工作，并且质量较大，不便于人工翻转操作。目前普遍采用车间的天车或者升降车将带有靶材的安装座悬吊在空中，移动到空旷地点，人员站在靶材安装座下进行拆卸。因靶材固定座上面带有连接接头，下端面靶材部位呈凸出结构，而且靶材属于高洁净材料，不得有磕碰及其他介质污染。所以拆卸安装过程及其繁琐，且费时费力，浪费人工，故只能在带有靶材的固定座悬在空中时进行更换维修，且需要三人同时进行工作，以防较重的靶材突然掉落。此种工作方式不仅工作繁琐，不方便，而且在持续吊装工件下存在安全隐患。

由上可知，现有技术采用人工进行拆卸更换溅射靶材的过程需要三至四人同时进行操作，并且需要在天车、液压升降车将靶材固定座吊在悬空中进行工作，不仅浪费人员，且耗时耗力，存在意外坠落的安全隐患。

公开于本实用新型背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本实用新型总体背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种磁控溅射的靶材安装座用翻转装置，以解决现有技术存在的浪费人员、耗时耗力及安全隐患的问题。

本实用新型的目的是这样实现的：一种翻转装置，包括：

架台；和

承载架，用于承载并固定靶材安装座，所述承载架相对的其中一对端部分别设有旋转轴，所述旋转轴分别通过轴承转动支撑在所述架台的相对的两侧，使所述承载架能围绕所述旋转轴转动。

在本实用新型的一较佳实施方案中，所述架台设置有定位装置，所述定位装置配置为能与所述承载架接触或分离，以使所述承载架在自由状态和固定状态之间切换。

在本实用新型的一较佳实施方案中，所述定位装置包括推拉件，所述推拉件可水平滑动地设置于所述架台；所述推拉件处于推入位置时与所述承载架接触，从而阻止所述承载架转动；所述推拉件处于拉出位置时与所述承载架分离。

在本实用新型的一较佳实施方案中，所述推拉件的移动方向与所述旋转轴的轴线垂直。

在本实用新型的一较佳实施方案中，所述架台与所述旋转轴对应的一侧设置旋转驱动器，所述旋转驱动器的输出轴与所述旋转轴连接，用于驱动所述承载架转动或定位在某一角度。

在本实用新型的一较佳实施方案中，所述承载架设有夹具，所述夹具用于固定所述靶材安装座。

在本实用新型的一较佳实施方案中，所述夹具包括快速卡钳。

在本实用新型的一较佳实施方案中，所述承载架设有用于限定所述靶材安装座位置的限位件。

在本实用新型的一较佳实施方案中，所述架台的底部设有地脚轮。

在本实用新型的一较佳实施方案中，所述架台的底部设有用于调节水平度的调节地脚。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

通过设置一翻转装置，将靶材安装座固定在承载架上，承载架相对的一对端部分别设有旋转轴，旋转轴分别通过轴承转动支撑在架台的相对的两侧，使承载架能围绕旋转轴的轴线转动，实现将靶材安装座进行固定、翻转等动作，然后进行更换维修，代替多人进行的耗力且繁琐的工序。

在纳入本文的附图以及随后与附图一起用于说明本实用新型某些原理的具体实施方案中，本实用新型的装置所具有的其它特征和优点将变得清楚或得以更为具体地阐明。

附图说明

图1为本实用新型翻转装置的示例性实施方案的主视图；

图2为本实用新型翻转装置的示例性实施方案的俯视图；

图3为本实用新型翻转装置固定有靶材安装座的主视图；

图4为本实用新型翻转装置固定有靶材安装座的俯视图；

图5和图6为本实用新型翻转装置固定的靶材安装座翻转过程的状态图。

应当了解，所附附图并非按比例地绘制，显示了说明本实用新型的基本原理的各种特征的略微简化的画法。本文所公开的本实用新型的具体设计特征(包括例如具体尺寸、方向、位置和形状)将部分地由具体所要应用和使用的环境来确定。

在这些图中，贯穿附图的多幅图，附图标记涉及本实用新型的相同或等同的部分。

具体实施方式

下面将详细参考本实用新型的各个实施方案，这些实施方案的示例被显示在附图中并描述如下。尽管本实用新型将与示例性实施方案相结合进行描述，应当理解本说明书并非旨在将本实用新型限制为那些示例性实施方案。相反，本实用新型旨在不但覆盖这些示例性实施方案，而且覆盖可以被包括在由所附权利要求所限定的本实用新型的精神和范围之内的各种选择形式、修改形式、等价形式及其它实施方案。

在以下描述中所使用的技术术语仅是为了描述特定实施方案的目的并不旨在对本实用新型进行限制。

在下文中，将参照附图描述根据本实用新型示例性实施方案的翻转装置。如图1和图2所示，翻转装置的下部设有一个架台4，架台4上支撑有承载架2。架台4为框架结构，架台4的顶部形成为水平的矩形框，架台4的四个角由四根竖直的立柱支撑，四根立柱的底部由水平的连杆连接形成底部框架。四根立柱之间的空间用于使承载架2翻转。底部框架的底面固定有地脚轮6，方便移动位置，底部框架底面的四个角处设有调节地脚7，用于调节架台4的水平度，使顶部处于水平面上。调节地脚7常用的是可以通过旋转上升或下降的调节螺栓。

承载架2支撑在架台4的顶部，承载架2为与靶材安装座10的外形和大小相配的矩形框架部件，如图3所示，四周的框架用于承载并固定靶材安装座10，中部的安装位置中空，使靶材安装座10固定在框架上后，靶材11从另一面露出在外，方便作业。所述承载架2相对的其中一对端部分别设有旋转轴8，两端的旋转轴8同轴线，所述旋转轴8分别通过轴承转动支撑在所述架台4顶部框架的相对两侧，使所述承载架2能围绕所述旋转轴8转动。具体地，在架台4顶部框架的相对两侧分别固定有轴承座5，轴承座5内安装轴承，旋转轴8穿过轴承，通过轴承支撑在轴承座5中。

进一步地，所述架台4设置有定位装置，所述定位装置配置为能与所述承载架2接触或分离，定位装置与承载架2接触时使所述承载架2处于固定状态，定位装置与承载架2分离时使承载架2处于自由状态，即处于可以转动的状态。具体地，所述定位装置可以包括推拉件3，所述推拉件3可水平滑动地设置于所述架台4，例如在架台4上设置通孔，推拉件3穿设在相应的通孔中，能在通孔中往复滑动。所述推拉件3处于推入位置时与所述承载架2的底部接触，从而阻止所述承载架2转动。所述推拉件3处于拉出位置时与所述承载架2分离。优选的，所述推拉件3的移动方向与所述旋转轴8的轴线垂直，在旋转轴8的水平两侧对称设置两组推拉件3。

在另外一种可替代实施方案中，所述架台4与所述旋转轴8对应的一侧设置旋转驱动器(未示出)，旋转驱动器固定在架台4的顶部框架上，所述旋转驱动器的输出轴与所述旋转轴8连接，用于驱动所述承载架2转动或定位在某一角度。旋转驱动器可以是手动蜗轮蜗杆减速器，减速器输出轴与旋转轴8通过联轴器连接，可实现机械式驱动，并具有精准定位和自锁功能。

进一步地，所述承载架2设有夹具1，所述夹具1用于固定所述靶材安装座10。具体地，所述夹具1包括快速卡钳，对称设置在承载架2安装靶材安装座10位置的两侧，能快速夹紧和松开靶材安装座10。

为了方便从上方放入靶材安装座10时，能顺利准确地落入到承载架2上的安装位置，所述承载架2设有用于限定所述靶材安装座10位置的限位件9。例如可以在承载架2的四周边缘对称地焊接限位板，限位板垂直于承载架2的表面向外伸出，且限位板的上部向外翻折一定角度，利于对靶材安装座10进行导向。

本实用新型的翻转装置在工作时，先把承载架2的承载面翻转朝上，然后将推拉件3推入到与承载架2边框的底部接触，限制其转动。再采用天车或液压升降车将底部装有靶材11的靶材安装座10落在承载架2的中部安装位置，然后用快速卡钳将靶材安装座10固定住，如图3和图4所示。拉开两侧的推拉件3使承载架2处于自由状态，旋转承载架2，如图5所示，带动靶材安装座10翻转，待处于底面的靶材11翻转到上面后，如图6所示，将架台4两侧的推拉件3推到承载架2边框的底部，使承载架2处于固定状态，不再旋转。然后开始进行维修、拆卸等工作。待工作结束，即可将两侧的推拉件3拉开，使承载架2再次旋转180度后，将推拉件3推到承载架2边框的底部，然后扳开快速卡钳，采用天车或液压升降车即可将带有靶材11的靶材安装座10移走。

本实用新型的翻转装置结构简单、移动方便、使用快捷，在实际应用中解决了人工拆卸更换靶材繁琐的问题。

前面对本实用新型具体示例性实施方案所呈现的描述是出于说明和描述的目的。前面的描述并非意欲穷尽，或者将本实用新型严格限制为所公开的具体形式，显然，根据上述教导可能进行很多改变和变化。选择示例性实施方案并进行描述是为了解释本实用新型的特定原理及其实际应用，从而使得本领域的其它技术人员能够实现并利用本实用新型的各种示例性实施方案及其不同选择形式和修改形式。本实用新型的范围意在由所附权利要求书及其等同形式所限定。