一种用于光刻机主支撑架框架板的安装装置的制作方法

本发明涉及光刻机辅助安装设备领域，更具体地说，涉及一种用于光刻机主支撑架框架板的安装装置。

背景技术：

随着光刻机分辨率也越来越高，光刻镜头的光机结构也越来越复杂，已逐渐从原来的两镜系统发展到了六镜系统。随着镜组的增加光刻机镜头的整体重量随之增加，为了减小光刻机镜头的重量，光刻机镜头主支撑框架的安装板多根据光机结构的布置选用与基准板呈倾斜角度布置的方案，以压缩光刻镜头内不必要的空间，达到减少光刻机投影物镜总体尺寸和重量的目的。由于镜组对支撑框架安装精度较高，且框架板本身质量较大，采用吊装的方式实现框架板的安装难度较大。

技术实现要素：

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种用于光刻机主支撑架框架板的安装装置，以解决现有框架板在安装时需要与基准板对准、通过吊装安装时对准难度大，对准精度低等问题。

为了达到上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种用于光刻机主支撑架框架板的安装装置，包括：

第一滑台安装板和第二滑台安装板，所述第一滑台安装板和所述第二滑台安装板的一端铰接；

设于所述第一滑台安装板和所述第二滑台安装板间、用以调节二者间夹角的倾角调节组件；

所述第一滑台安装板上设有用于与基准板可拆卸的固定连接的第一滑台，所述第一滑台能够在所述第一滑台安装板上滑动；所述第二滑台安装板上设有用于与框架板可拆卸的固定连接的第二滑台，所述第二滑台能够在所述第二滑台安装板上滑动，所述第一滑台的滑动方向和所述第二滑台的滑动方向在空间上垂直。

可选地，所述倾角调节组件包括滑杆和在所述滑杆上滑动的滑块，所述滑块上分别铰接有第一连杆和第二连杆，所述第一连杆的另一端与所述第一滑台安装板铰接，所述第二连杆的另一端与所述第二滑台安装板铰接；

所述滑块在所述滑杆上滑动分别带动所述第一连杆和所述第二连杆转动，以调节所述第一滑台安装板和所述第二滑台安装板间的夹角。

可选地，所述滑杆设于所述第一滑台安装板和所述第二滑台安装板的夹角的角平分线上，所述第一连杆和所述第二连杆在所述滑块上相对设置，所述第一连杆和所述第二连杆的长度相等。

可选地，所述滑杆的一端设有手柄，所述手柄与所述滑杆可拆卸的固定连接。

可选地，所述第一滑台安装板和所述第二滑台安装板经旋转轴铰接，所述第一滑台安装板和所述第二滑台安装板分别设有用于安装所述旋转轴的支座。

可选地，所述滑杆具体为丝杠，所述滑块具体为螺母，所述旋转轴上套设有滑杆固定套，所述丝杠的一端经转动轴承设于所述滑杆固定套内。

可选地，所述第一滑台的滑动方向垂直于所述第一滑台安装板和所述第二滑台安装板的旋转轴线，所述第二滑台的滑动方向平行于所述第一滑台安装板和所述第二滑台安装板的旋转轴线。

可选地，所述第一滑台和所述第二滑台均分别包括基座和设于所述基座上且相对滑动的动平台，所述动平台螺纹连接有滑台丝杠，所述滑台丝杠的一端固接有从动锥齿轮，所述基座上设有滑动手柄，所述滑动手柄的一端设有用于与所述从动锥齿轮配合的主动锥齿轮。

本发明提供的用于光刻机主支撑架框架板的安装装置，包括第一滑台安装板和第二滑台安装板，第一滑台安装板和第二滑台安装板的一端铰接；设于第一滑台安装板和第二滑台安装板间、用以调节二者间夹角的倾角调节组件；第一滑台安装板上设有用于与基准板可拆卸的固定连接的第一滑台，第一滑台能够在第一滑台安装板上滑动；第二滑台安装板上设有用于与框架板可拆卸的固定连接的第二滑台，第二滑台能够在第二滑台安装板上滑动，第一滑台的滑动方向和第二滑台的滑动方向在空间上垂直。

应用本发明提供的用于光刻机主支撑架框架板的安装装置，第一滑台与基准板固定，且第一滑台设置在第一滑台安装板上，第二滑台与框架板固定，第二滑台设置在第二滑台安装板上，通过倾角调节组件调节第一滑台安装板和第二滑台安装板间的夹角，进而调节基准板和框架板之间的夹角，同时第一滑台、第二滑台能够分别在第一滑台安装板和第二滑台安装板上滑动，且第一滑台的滑动方向和第二滑台的滑动方向在空间上垂直，由此以对框架板和基准板的空间位置进行调节，实现框架板的精准安装。上述装置结构简单，可实现三个自由度的调节，进行高精度定位和安装，同时减轻操作人员在装调时的体力劳动。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的一种用于光刻机主支撑架框架板的安装装置的机构简图；

图2为本发明实施例提供的一种用于光刻机主支撑架框架板的安装装置的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的基座和动平台的安装结构示意图；

图4为本发明实施例提供的第一滑台安装板和第二滑台安装板呈90度的结构示意图；

图5为图4的俯视结构示意图。

附图中标记如下：

旋转轴1、第一滑台2、第一滑台安装板3、丝杠4、可拆卸手柄5、螺母6、第二连杆7、第二滑台安装板8、第二滑台9、滑杆固定套10；

基座21、动平台22、滑台丝杠23、从动锥齿轮24、主动锥齿轮25。

具体实施方式

本发明实施例公开了一种用于光刻机主支撑架框架板的安装装置，以解决现有框架板在安装时需要与基准板对准、通过吊装安装时对准难度大，对准精度低等问题。

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-图5，图1为本发明实施例提供的一种用于光刻机主支撑架框架板的安装装置的机构简图；图2为本发明实施例提供的一种用于光刻机主支撑架框架板的安装装置的结构示意图；图3为本发明实施例提供的基座和动平台的安装结构示意图；图4为本发明实施例提供的第一滑台安装板和第二滑台安装板呈90度的结构示意图；图5为图4的俯视结构示意图。

在一种具体的实施方式中，本发明提供的用于光刻机主支撑架框架板的安装装置，包括：

第一滑台安装板3和第二滑台安装板8，第一滑台安装板3和第二滑台安装板8的一端铰接；优选为第一滑台安装板3的一边和第二滑台安装板8的一边铰接，如通过设置旋转轴1实现铰接。

设于第一滑台安装板3和第二滑台安装板8间、用以调节二者间夹角的倾角调节组件；可以理解的是，倾角调节组件能够实现二者的夹角调节及固定，在一种实施例中，倾角调节组件可设置为气缸，气缸的一端与第一滑台安装板3固定且可其上旋转，气缸的活塞杆的一端与第二滑台安装板8连接并在第二滑台安装板8上滑动，通过活塞杆的伸出长度及在第二滑台安装板8上的滑动距离对第一滑台安装板3和第二滑台安装板8间的角度进行调节。第一滑台安装板3和第二滑台安装板8间的夹角在0-90度间，包括0度和90度。

第一滑台安装板3上设有用于与基准板可拆卸的固定连接的第一滑台2，第一滑台2能够在第一滑台安装板3上滑动；第二滑台安装板8上设有用于与框架板可拆卸的固定连接的第二滑台9，第二滑台9能够在第二滑台安装板8上滑动，第一滑台2的滑动方向和第二滑台9的滑动方向在空间上垂直。

其中基准板和第一滑台2间、框架板和第二滑台9间优选为螺钉固定。第一滑台2和第二滑台9的形状和大小优选为相同设置，以便于生产加工，同时，第一滑台安装板3和第二滑台安装板8也设置为相同结构，如优选设置为矩形板。可以理解的是，第一滑台2和第二滑台9分别设置在第一滑台安装板3和第二滑台安装板8背离倾角调节组件的一侧。

在使用时，第一滑台2与基准板可拆卸的固定连接，通过第一滑台2在第一滑台安装板3上的滑动，实现基准板和第二滑台安装板8的相对位置的调整，进而实现基准板和框架板的相对位置的调整；通过倾角调节组件第一滑台安装板3和第二滑台安装板8间夹角的调节，并通过调节第二滑台9在第二滑台安装板8上的位置实现框架板和基准板的对准，通过螺钉实现框架板和基准板的定位安装，并拆除与第一滑台2和第二滑台9的连接关系。上述装置可单独或与其他结构配合使用，实现不同自由度的高精度调节，同时结构简单操作方便，能够应用于尺寸和重量较大的零件的倾斜安装和调整。

应用本发明提供的用于光刻机主支撑架框架板的安装装置，第一滑台2与基准板固定，且第一滑台2设置在第一滑台安装板3上，第二滑台9与框架板固定，第二滑台9设置在第二滑台安装板8上，通过倾角调节组件调节第一滑台安装板3和第二滑台安装板8间的夹角，进而调节基准板和框架板之间的夹角，同时第一滑台2、第二滑台9能够分别在第一滑台安装板3和第二滑台安装板8上滑动，且第一滑台2的滑动方向和第二滑台9的滑动方向在空间上垂直，由此以对框架板和基准板的空间位置进行调节，实现框架板的精准安装。上述装置结构简单，可实现三个自由度的调节，进行高精度定位和安装，同时减轻操作人员在装调时的体力劳动。

在一种实施例中，倾角调节组件包括滑杆和在滑杆上滑动的滑块，滑块上分别铰接有第一连杆和第二连杆7，第一连杆的另一端与第一滑台安装板3铰接，第二连杆7的另一端与第二滑台安装板8铰接；

第一连杆和第二连杆7在滑块上相对设置，第一连杆的一端与滑块铰接，另一端与第一滑台安装板3铰接，第二连杆7的一端与滑块铰接，另一端与第二滑台安装板8铰接，铰接优选为通过设置铰接座，在铰接座上设置旋转轴1的方式实现。

滑块在滑杆上滑动，进而分别带动第一连杆和第二连杆7转动，并推动第一滑台安装板3和第二滑台安装板8向内收缩或向外扩张，以调节第一滑台安装板3和第二滑台安装板8间的夹角。

具体的，滑杆设于第一滑台安装板3和第二滑台安装板8的夹角的角平分线上，优选在第一滑台安装板3和第二滑台安装板8的铰接处固定，第一连杆和第二连杆7在滑块上相对设置，在一种实施例中，第一连杆和第二连杆7的连线垂直于滑杆的长度方向设置，第一连杆和第二连杆7的长度相等。由此设置，使得滑块在滑杆上移动时，第一滑台安装板3和第二滑台安装板8的角度增减量相同，同时便于第一连杆和第二连杆7的设置。

进一步地，第一滑台安装板3和第二滑台安装板8经旋转轴1铰接，第一滑台安装板3和第二滑台安装板8分别设有用于安装旋转轴1的支座。在支座上分别设有安装孔，旋转轴1通过安装孔实现第一滑台安装板3和第二滑台安装板8的铰接，旋转轴1优选设置为螺栓。其中，第一连杆与第一滑台安装板3间、第二连杆7与第二滑台安装板8间分别设有铰接座，第一连杆和第二连杆7分别设有通孔，通孔内设有螺栓，螺栓的两端分别与铰接座固定，并通过螺栓和螺母的配合分别实现第一连杆和第二连杆7的固定。

在上述各实施例的基础上，滑杆具体为丝杠4，滑块具体为螺母6，旋转轴1上套设有滑杆固定套10，丝杠4的一端经转动轴承设于滑杆固定套10内。滑杆的一端设有可拆卸手柄5，通过转动可拆卸手柄5实现螺母6在丝杠4上的滑动，丝杠4的另一端设有转动轴承，通过转动轴承在滑杆固定套10内转动，并通过将滑杆固定套10套设在旋转轴1上实现位置定位安装。

在一种实施例中，第一滑台2的滑动方向垂直于第一滑台安装板3和第二滑台安装板8的旋转轴1线，第二滑台9的滑动方向平行于第一滑台安装板3和第二滑台安装板8的旋转轴1线，即第一滑台2沿垂直于旋转轴1的方向移动，第二滑台9沿平行于旋转轴1的方向移动，以实现两个自由度的调节，便于基准板和安装板的对位，同时便于第一滑台2和第二滑台9的设置。

在上述各实施例的基础上，第一滑台2和第二滑台9均分别包括基座21和设于基座21上且相对滑动的动平台22，动平台22螺纹连接有滑台丝杠234，滑台丝杠234的一端固接有从动锥齿轮24，基座21上设有滑动手柄，滑动手柄的一端设有用于与从动锥齿轮24配合的主动锥齿轮25。

其中，动平台22能够在基座21上滑动，动平台22连接有滑台丝杠234，可通过螺纹连接，在滑台丝杠234的一端设有从动锥齿轮24，滑台丝杠234优选为平行于基座21的方向设置，从动锥齿轮24和主动锥齿轮25配合以改变传动方向，使得作业人员可沿垂直于基座21的方向施力，带动动平台22在基座21上滑动。在其他实施例中，第一滑台2和第二滑台9也可以分别通过滑轨滑块机构或其他传动机构实现滑动，此处仅为一种优选的实施方案。在一种实施例中，第一滑台2包括第一基座21和设于第一基座21上且相对滑动的第一动平台22，第一动平台22螺纹连接有第一滑台2丝杠4，第一滑台2丝杠4的一端固接有第一从动锥齿轮24，第一基座21上设有第一滑动手柄，第一滑动手柄的一端设有用于与第一从动锥齿轮24配合的第一主动锥齿轮25；

第二滑台9包括第二基座21和设于第二基座21上且相对滑动的第二动平台22，第二动平台22螺纹连接有第二滑台9丝杠4，第二滑台9丝杠4的一端固接有第二从动锥齿轮24，第二基座21上设有第二滑动手柄，第二滑动手柄的一端设有用于与第二从动锥齿轮24配合的第二主动锥齿轮25。

在一种具体的实施例中，第一滑台2通过螺钉安装在基准板上，待安装的框架板通过螺钉安装在第二滑台9上，通过可拆卸手柄5将框架板至预定角度，并通过分别调节第一滑台2和第二滑台9在第一滑台安装板3和第二滑台安装板8上的位置至预定位置，并通过螺钉将框架板固定在基准板上，即可完成安装，相较于使用吊装，人工装调的方式，采用上述装置可以节省大量劳动力和装调时间，保证安装精度，其中倾角调节机构可单独使用，第一滑台安装板3和第二滑台安装板8分别安装在机架和待安装的零件上，以进行夹角调节。该装置结构简单，操作方便，可单独或与其他结构配合使用，实现不同自由度的高精度调节等功能。可以应用与尺寸和重量较大的零件的倾斜安装和调整，减轻操作人员的在装调时的体力劳动。该装置体积小，重量轻，可单独或多个同时调整使用，且拆装方便。

最后，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。