用于等离子清洗机的料盒载台结构的制作方法

本实用新型涉及半导体加工制造技术领域，具体涉及一种用于等离子清洗机的料盒载台结构。

背景技术：

引线框架作为集成电路的芯片载体，是一种借助于键合材料(金丝、铝丝、铜丝)实现芯片内部电路引出端与外引线的电气连接，形成电气回路的关键结构件，它起到了和外部导线连接的桥梁作用，绝大部分的半导体集成块中都需要使用引线框架，是电子信息产业中重要的基础材料。在半导体制造加工过程中会在引线框架上遗留溢胶、氧化物等污染物，影响焊线效果，因此需要等离子清洗机清洗该污染物。然而，等离子清洗机在工作中需要经常更换料盒，料盒需要经常安装和拆卸，现有的等离子清洗机存在料盒安装拆卸麻烦，位置不固定容易发生偏移的问题，且无法适用于不同长度料盒的固定。

技术实现要素：

针对现有技术中的缺陷，本实用新型提供了一种用于等离子清洗机的料盒载台结构，以解决现有的等离子清洗机存在料盒安装拆卸麻烦、位置不固定容易发生偏移的问题，且能够适用于不同长度料盒的固定。

本实用新型提供了一种用于等离子清洗机的料盒载台结构，包括：滑轨组件，所述滑轨组件包括滑轨安装架以及安装在所述滑轨安装架一侧的竖直滑轨；载台，所述载台包括相对设置的两块侧板、连接于两块所述侧板侧端的端板以及连接于两块所述侧板顶端的顶板，所述端板的外侧设置有滑块，所述滑块滑动安装于所述竖直滑轨；驱动机构，所述驱动机构用于驱动所述载台沿所述竖直滑轨上下滑动；料盒，所述料盒为前后开口的盒体，若干个所述料盒并列安放在所述载台的顶板上；以及卡固组件，所述卡固组件包括第一卡条、第二卡条和锁定件，所述第一卡条固抵在各所述料盒一端的底部并固定定于所述载台上，所述第二卡条抵在各所述料盒另一端的底部，第二卡条的内侧连接有至少两根导向杆，所述导向杆穿过该侧的侧板并与其导向连接，所述锁定件用于将所述导向杆与载台锁死。

进一步地，所述竖直滑轨左右对称设置有两个，对应的所述滑块也左右对称设置有两个。

进一步地，所述驱动机构包括电机和丝杆，两个所述滑块之间设置有丝杆座，所述丝杆平行设于两所述竖直滑轨之间，丝杆穿过所述丝杆座并与其螺纹连接，所述电机安装在滑轨安装架上，用于驱动所述丝杆转动。

进一步地，所述侧板的内侧连接有供所述导向杆穿过的导向套。

进一步地，所述锁定件包括u型夹和锁紧螺栓，所述u型夹固定在载台上并夹在所述导向杆上，所述锁紧螺栓与u型夹相连，以通过锁紧螺栓将所述u型夹的两夹板锁紧。

进一步地，还包括托板，所述料盒固定安装于所述托板上，所述托板安放于所述载台的顶板上。

进一步地，所述托板上设置有定位孔，所述载台的顶板上设置有定位柱，所述托板与载台的顶板之间通过定位孔和定位柱的配合进行定位。

进一步地，所述第二卡条的上端设置有与各所述料盒的侧端底部配合的l形台阶。

本实用新型的有益效果体现在：载台用于放置料盒，料盒内装有若干层引线框架，料盒的两端开口方便引线框架被推出或推入，驱动机构可驱动载台升降，使得使料盒中的各层引线框架能够被推出或推入，料盒卡在第一卡条和第二卡条之间，位置固定，能够防止料盒发生偏移，料盒与载台之间可拆卸，方便更换料盒，安装料盒时，通过导向杆调整第一卡条和第二卡条之间的间距，使得料盒前后夹紧在第一卡条和第二卡条之间，再通过锁定件将导向杆锁死即可，拆卸时只需解锁锁定件，即可将料盒取下，料盒安装拆卸非常方便，并且，由于第一卡条和第二卡条之间的间距可调，因而本申请能够适应不同长度料盒的固定。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。

图1为本实用新型实施例的结构示意图(一)；

图2为本实用新型实施例的结构示意图(二)。

附图中：10表示滑轨组件；11表示滑轨安装架；12表示竖直滑轨；20表示载台；21表示侧板；22表示端板；23表示顶板；24表示滑块；30表示驱动机构；31表示电机；32表示丝杆；33表示丝杆座；40表示料盒；50表示卡固组件；51表示第一卡条；52表示第二卡条；521表示l形台阶；53表示锁定件；531表示u型夹；532表示锁紧螺栓；54表示导向杆；55表示导向套；60表示托板；61表示定位孔；62表示定位柱。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。

需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域技术人员所理解的通常意义。

如图1和图2所示，本实用新型实施例提供了一种用于等离子清洗机的料盒载台结构，包括滑轨组件10、载台20、驱动机构30、料盒40和卡固组件50。

参照图1和图2，滑轨组件10包括滑轨安装架11以及安装在滑轨安装架11一侧的竖直滑轨12。载台20包括相对设置的两块侧板21、连接于两块侧板21侧端的端板22以及连接于两块侧板21顶端的顶板23，端板22的外侧设置有滑块24，滑块24滑动安装于竖直滑轨12。在本实施例中，竖直滑轨12左右对称设置有两个，对应的滑块24也左右对称设置有两个。

驱动机构30用于驱动载台20沿竖直滑轨12上下滑动。本实施例的驱动机构30为电机丝杆的直线驱动结构，具体地，驱动机构30包括电机31和丝杆32，两个滑块24之间设置有丝杆座33，丝杆32平行设于两竖直滑轨12之间，丝杆32穿过丝杆座33并与其螺纹连接，电机31安装在滑轨安装架11上，用于驱动丝杆32转动，电机31带动丝杆32转动，即可驱动载台20升降。

料盒40为前后开口的盒体，若干个料盒40并列安放在载台20的顶板23上。在本实施例中，料盒40固定安装于托板60上，托板60安放于载台20的顶板23上，在更换料盒40时，无需单独更换每一个料盒40，整体更换托板60即可，料盒40的更换更加方便。更进一步地，托板60上设置有定位孔61，载台20的顶板23上设置有定位柱62，托板60与载台20的顶板23之间通过定位孔61和定位柱62的配合进行定位，这样既能对托板60进行定位，还能确保料盒40的安放位置的准确。

卡固组件50包括第一卡条51、第二卡条52和锁定件53，第一卡条51固抵在各料盒40一端的底部并固定定于载台20上，第二卡条52抵在各料盒40另一端的底部。一般地，料盒40的长度要大于顶板23的宽度，料盒40靠近第二卡条52的一端需要伸出顶板23的边缘，本实施例的第二卡条52的上端设置有与各料盒40的侧端底部配合的l形台阶521，这样一方面，第二卡条52能够抵在料盒40的侧端底部，另一方面，第二卡条52还能够托住料盒40，提高了料盒40安装的稳定性。

第二卡条52的内侧连接有至少两根导向杆54，导向杆54穿过该侧的侧板21并与其导向连接，为了增加导向杆54的导向长度，提高导向的稳定性，侧板21的内侧连接有供导向杆54穿过的导向套55。锁定件53用于将导向杆54与载台20锁死，具体地，在本实施例中，锁定件53包括u型夹531和锁紧螺栓532，u型夹531固定在载台20上并夹在导向杆54上，锁紧螺栓532与u型夹531相连，以通过锁紧螺栓532将u型夹531的两夹板锁紧，这样，拧紧锁紧螺栓532，u型夹531即可将导向杆54夹紧，导向杆54被锁死，拧松锁紧螺栓532，u型夹531松开导向杆54，u型夹531解除对导向杆54的锁定。

本实施例的载台20用于放置料盒40，料盒40内装有若干层引线框架，料盒40的两端开口方便引线框架被推出或推入，驱动机构30可驱动载台20升降，使得使料盒40中的各层引线框架能够被推出或推入，料盒40卡在第一卡条51和第二卡条52之间，位置固定，能够防止料盒40发生偏移，料盒40与载台20之间可拆卸，方便更换料盒40，安装料盒40时，通过导向杆54调整第一卡条51和第二卡条52之间的间距，使得料盒40前后夹紧在第一卡条51和第二卡条52之间，再通过锁定件53将导向杆54锁死即可，拆卸时只需解锁锁定件53，即可将料盒40取下，料盒40安装拆卸非常方便，并且，由于第一卡条51和第二卡条52之间的间距可调，因而本申请能够适应不同长度料盒40的固定。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求和说明书的范围当中。