高精度十字移动真空吸附平台的制作方法

1.本实用新型涉及真空吸附平台领域，特别涉及一种高精度十字移动真空吸附平台。


背景技术：

2.在精密加工行业中，常需要加工一些厚度较薄的平板结构，这时需要将此类平板结构夹持在加工平台上，传统的机械夹持方法难以有效的保证此类平板结构的平整度，还会因机械压力过大导致产品划伤或破损，由此出现了传统的真空吸附平台，其依靠产生的真空吸附力将此类工件吸住，有效的解决了传统机械夹持机构解决不了问题。
3.真空吸附平台是一种常用的工件支撑设备，其用于在线路板制造、液晶显示面板制造、半导体工艺、光学薄膜制造等领域中支撑并定位工件，以便对工件进行各种处理。由于工作时对此类工件的压力不大，因此使用真空吸附工作台较为理想。但是传统的真空吸附平台结构较复杂，与气路连接不稳定，造成吸力减弱，平台移动精度不高，导致加工质量低；同时，气路设置不合理，在移动过程中容易出现损坏。


技术实现要素：

4.本实用新型所要解决的问题是提供一种高精度十字移动真空吸附平台，以克服传统真空吸附平台结构较复杂、吸力弱、移动精度低以及移动过程中气路容易出现损坏等缺陷。
5.本实用新型为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种高精度十字移动真空吸附平台，包括：吸附平台组件、x轴滑移模组、y轴滑移模组和气路组件，所述吸附平台组件安装在所述x轴滑移模组上，且可沿所述x轴滑移模组横向移动；所述x轴滑移模组安装在所述y轴滑移模组上，且可沿所述y轴滑移模组纵向移动；所述气路组件与所述吸附平台组件连接，所述吸附平台组件包括真空吸附平台，所述真空吸附平台上设置有多个真空吸附孔，所述真空吸附平台底部密封安装有封板，所述封板上密封安装有气路连接块，所述气路连接块上设置有通气道，所述通气道与所述真空吸附孔连通；所述气路组件包括伸缩管和转向通道，所述伸缩管一端贯穿所述转向通道与所述通气道连接。
6.作为本实用新型的进一步改进，所述气路连接块顶部设置有固定板，所述封板顶部设置有与所述固定板匹配的安装槽，所述气路连接块贯穿所述封板使所述固定板安装在所述安装槽内。
7.作为本实用新型的进一步改进，所述真空吸附平台朝向所述封板一侧面沿周围设置有一凹槽，所述凹槽内安装有密封圈。
8.作为本实用新型的进一步改进，所述转向通道具有一回形通道，所述回形通道用于将所述伸缩管由横向转变为纵向布置。
9.作为本实用新型的进一步改进，所述转向通道包括第一转向件和第二转向件，所述第一转向件相对所述通气道一侧设置有第一出口，所述第一转向件与所述第一出口相邻
的内侧面设置有与所述第一出口连通的第二出口，所述第二转向件设置有u形通道，所述u形通道一端与所述第二出口连接。
10.作为本实用新型的进一步改进，所述x轴滑移模组包括横向滑移组件，所述横向滑移组件上设置有丝杆，所述丝杆由第一驱动件驱动转动，所述封板通过第一丝杆螺母与所述丝杆连接；所述横向滑移组件两侧均设置有第一滑轨，所述封板通过滑块滑配在所述第一滑轨上。
11.作为本实用新型的进一步改进，所述y轴滑移模组包括纵向滑移组件，所述纵向滑移组件上设置有丝杆，所述丝杆由第二驱动件驱动转动，所述x轴滑移模组通过第二丝杆螺母与所述丝杆连接；所述纵向滑移组件两侧均设置有第二滑轨，所述x轴滑移模组通过滑块滑配在所述第二滑轨上。
12.本实用新型的有益效果是：本实用新型提供一种高精度十字移动真空吸附平台，设置有吸附平台组件、x轴滑移模组、y轴滑移模组和气路组件，x轴滑移模组和y轴滑移模组能够驱动吸附平台组件沿x轴或y轴高精度平移；吸附平台组件设置有相互密封配合连接的真空吸附平台、封板和气路连接块，具有结构设计合理、各部件连接稳定可靠、增大吸附力、能够较好实现真空吸附平台密封性等优点；气路组件设置有伸缩管和转向通道，转向通道能够将伸缩管由横向转变为纵向布置，且伸缩管具有一定的伸缩程度，可使吸附平台组件可沿x轴或y轴随意移动。
附图说明
13.图1为本实用新型的立体图；
14.图2为本实用新型的爆炸图；
15.图3为本实用新型吸附平台组件的爆炸图；
16.图4为本实用新型气路组件的立体图；
17.图5为本实用新型真空吸附平台的立体图。
18.结合附图，作以下说明：
19.1、吸附平台组件；
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2、x轴滑移模组；
20.201、横向滑移组件；
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202、第一驱动件；
21.203、第一丝杆螺母；
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204、第一滑轨；
22.3、y轴滑移模组；
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301、纵向滑移组件；
23.302、第二驱动件；
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303、第二丝杆螺母；
24.304、第二滑轨；
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4、气路组件；
25.5、真空吸附平台；
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501、真空吸附孔；
26.502、封板；
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5021、安装槽；
27.503、气路连接块；
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5031、通气道；
28.5032、固定板；
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504、凹槽；
29.6、转向通道；
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601、第一转向件；
30.602、第二转向件；
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7、密封圈。
具体实施方式
31.以下结合附图，对本实用新型的较佳实施例作详细说明。
32.参阅图1至图5，本实用新型提供一种高精度十字移动真空吸附平台，包括：吸附平台组件1、x轴滑移模组2、y轴滑移模组3和气路组件4，吸附平台组件1安装在x轴滑移模组2上，且可沿x轴滑移模组2横向移动；x轴滑移模组2安装在y轴滑移模组3上，且可沿y轴滑移模组3纵向移动；气路组件4与吸附平台组件1连接，用于给吸附平台组件1提供负压，进而吸附工件。
33.参阅图2、图3和图5，吸附平台组件1包括真空吸附平台5，真空吸附平台5上设置有多个真空吸附孔501。真空吸附平台5底部密封安装有封板502，真空吸附平台5朝向封板502一侧面沿周围设置有一凹槽504，凹槽504内安装有密封圈7，封板502通过螺栓安装在真空吸附平台5上并压紧密封圈7，保证真空吸附平台5内的密封性。封板502设置有一安装孔，且在安装孔处朝向真空吸附平台5的一侧设置有安装槽5021，气路连接块503顶部设置有大小与安装槽5021匹配的固定板5032，气路连接块503贯穿安装孔并使固定板5032安装在安装槽5021内。采用此方案，具有结构设计合理、各部件连接稳定可靠、能够较好实现真空吸附平台5密封性等优点。
34.参阅图2，x轴滑移模组2包括横向滑移组件201，横向滑移组件201上设置有丝杆，丝杆由第一驱动件202驱动转动，封板502通过第一丝杆螺母203与丝杆连接；横向滑移组件201两侧均设置有第一滑轨204，封板502通过滑块滑配在第一滑轨204上。y轴滑移模组3包括纵向滑移组件301，纵向滑移组件301，上设置有丝杆，丝杆由第二驱动件302驱动转动，x轴滑移模组2通过第二丝杆螺母303与丝杆连接；纵向滑移组件301两侧均设置有第二滑轨304，x轴滑移模组2通过滑块滑配在第二滑轨304上。第一滑轨204、第二滑轨304以及滑块的一侧上均安装有若干压块，压块能够压紧第一滑轨204、第二滑轨304以及滑块，防止滑动过程中出现晃动，提高精度与刚性。其中，第一驱动件202和第二驱动件302均为伺服电机，能够保证吸附平台组件1沿x轴或y轴高精度平移。
35.参阅图3和图4，气路连接块503上设置有通气道5031，通气道5031与真空吸附孔501连通。气路组件4包括伸缩管和转向通道6，伸缩管一端贯穿转向通道6与通气道5031连接，伸缩管另一端与抽气电机连接，电机通过伸缩管不断的将真空吸附平台5腔室内气体抽出，使真空吸附平台5内部形成负压，进而通过真空吸附孔501吸附工件，能够达到很好的吸附效果。
36.参阅图4，转向通道6具有一回形通道，回形通道用于将伸缩管由横向转变为纵向布置。转向通道6包括第一转向件601和第二转向件602，第一转向件601相对通气道5031一侧设置有第一出口，第一出口上安装有一限位管道。第一转向件601与第一出口相邻的内侧面设置有与第一出口连通的第二出口，第二转向件602设置有u形通道，u形通道一端与第二出口连接。气路组件4还包括有横向管路槽和纵向管路槽，从电机连出的伸缩管经纵向管路槽穿入u形通道的另一端，并依次经第二出口、第一出口、限位管道和横向管路槽连接在通气道5031上。伸缩管具有一定的伸缩程度，采用此气路组件4，使吸附平台组件1可沿x轴或y轴随意移动。
37.在以上的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是以上描述仅是本实用新型的较佳实施例而已，本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来
实施，因此本实用新型不受上面公开的具体实施的限制。同时任何熟悉本领域技术人员在不脱离本实用新型技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本实用新型技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本实用新型技术方案保护的范围内。