一种基板加工载台的制作方法

1.本技术涉及显示器件技术领域，尤其涉及一种基板加工载台。


背景技术：

2.在显示面板，包括制作液晶显示器面板或柔性显示面板的生产过程中，例如在进行oled(organic light
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emitting diode，有机发光二极管)的阵列基板制备过程中，不可避免会用到具有应力的膜层，如gi隔离层，缓冲(buffer)挖孔层，有机平坦层，柔性衬底层等，制程中高温等因素的影响，经过图案化制程后仍然有大面积的应力膜层留存在基板上，由于这些膜层与玻璃的热膨胀系数不同，在经过高温制程之后，基板由于受到有机膜层的应力发生翘曲而变得不平整，如四周翘起或中间拱起等情况，并且随着基板尺寸的增大，翘曲的程度也不断加大。
3.不平整的基板表面会破坏光制程及成膜制程造的均一性，直接影响到显示面板的质量。此外，如果基板不平整，则其发生翘曲的位置有可能在制作或传输过程中发生碰撞，导致基板破裂甚至设备损坏，从而导致产品后续加工制作的良率不高。
4.为了保证载台的平整性和固定玻璃的稳定性，现有技术中通常采用吸附式载台，借由在玻璃基板与刚性载台之间形成真空，来达成固定玻璃基板的目的。现有的吸附式载台结构复杂，极易导致对应玻璃翘起位置的载台区域的真空无法建立，因而会导致载台吸附固定基板失败。


技术实现要素：

5.本技术提供一种基板加工载台，以解决基板加工过程中容易出现翘曲的问题。
6.本技术提供一种基板加工载台，包括：
7.基座，设有贯穿所述基座的通孔；
8.承载板，设置于所述基座上，所述承载板的边沿与所述基座固定，所述承载板为弹性承载板；
9.升降机构，一端置于所述通孔内，并与所述通孔的内壁活动连接，另一端抵接于所述承载板，所述升降机构升降以使得所述承载板发生弹性形变。
10.在本技术一种可能的实现方式中，所述基座和所述承载板之间设有容置空间，所述升降机构抵接于所述承载板的一端位于所述容置空间内；
11.所述承载板具有朝着靠近所述基座的方向发生曲面形变的状态或朝着远离所述基座的方向发生曲面形变的状态。
12.在本技术一种可能的实现方式中，所述升降机构朝向所述承载板的一面与所述承载板固定连接。
13.在本技术一种可能的实现方式中，所述通孔的数量至少为三个，相邻两个所述通孔在所述基座内间隔设置；
14.所述升降机构的数量至少为三个，每个升降机构分别位于一个所述通孔内，位于
中间升降机构的上升高度大于或小于位于两侧的升降机构的上升高度。
15.在本技术一种可能的实现方式中，所述升降机构包括：
16.顶推件，与所述承载板固定连接；
17.升降杆，一端与所述顶推件连接，另一端置于所述通孔内伸出所述基座，所述升降杆与所述通孔的内壁活动连接。
18.在本技术一种可能的实现方式中，所述升降杆上设置有外螺纹，所述通孔内壁设置有内螺纹，所述升降杆和所述通孔内壁螺纹连接。
19.在本技术一种可能的实现方式中，所述顶推件朝向所述升降杆的一面设置有凹槽，所述升降机构还包括：
20.轴承，设置于所述凹槽内壁，所述轴承套设于所述升降杆的端部。
21.在本技术一种可能的实现方式中，所述顶推件与所述承载板连接的一面为弧面，所述顶推件为弹性顶推件。
22.在本技术一种可能的实现方式中，所述顶推件为条状顶推件、片状顶推件或块状顶推件。
23.在本技术一种可能的实现方式中，所述升降机构和所述通孔内壁滑动连接，所述升降机构还包括：
24.紧固件，设置于所述基座背向所述承载基板的一面，所述紧固件用于固定所述升降机构远离所述承载板的一端。
25.本技术提供一种基板加工载台，通过设置带有通孔的基座和固定于基座上的承载板，将所述承载板设置为弹性承载板，并通过设置升降机构，将升降机构的一端置于所述通孔内，另一端抵接于所述承载板的升降机构，使用时将用于放置待加工的基板放置于承载板上，通过调节所述升降机构升降以使得所述承载板发生弹性形变，从而带动承载板上的待加工基板发生形变，以抵消翘曲，以此提高待加工基板的平整度，进而提高产品的制作良品率。
附图说明
26.下面结合附图，通过对本技术的具体实施方式详细描述，将使本技术的技术方案及其它有益效果显而易见。
27.图1为本技术实施例提供的基板加工载台的剖面结构示意图。
28.图2为本技术实施例提供的基座的结构示意图。
29.图3为本技术实施例提供的承载面发生曲面形变的结构示意图。
30.图4为本技术又一实施例提供的承载面发生曲面形变的结构示意图。
31.图5为本技术实施例提供的升降机构的剖面结构示意图。
32.图6为本技术又一实施例提供的基板加工载台的结构示意图。
具体实施方式
33.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施
例，都属于本技术保护的范围。
34.在本技术的描述中，需要理解的是，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
35.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
36.下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本技术的不同结构。为了简化本技术的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本技术。此外，本技术可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本技术提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。
37.请参考图1
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图5，本技术实施例提供一种基板加工载台，包括基座10、承载板20和升降机构30。
38.结合图1和图2所示，基座10设有贯穿所述基座10的通孔102，承载板20设置于所述基座10上，所述承载板20的边沿与所述基座10固定，所述承载板20为弹性承载板20，具体地，所述承载板20的边沿可以通过铁钉、铁丝或螺丝等连接件实现与基板的连接，也可以采用一体成型的方式，在此不做具体限定，通过所述承载板20的边沿与所述基座10固定从而使承载板20可以弯曲形变。
39.其中，所述承载板20可以采用金属材质、合金材质或石英玻璃等具有微形变特性的材质制成，其中，承载板20厚度可以为2
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20mm。示例性地，承载板20可以采用铜、铝合金、高碳钢或石英玻璃中的任何一种材质制成。相应地，基座10可以采用大理石材质或高碳钢等材质制成，且基座10的厚度可以例如为20m
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1m，使得基座10的厚度远大于承载板20的厚度，从而保证基座10不会产生形变，以使基座10提供高强度的支撑。
40.升降机构30的一端置于所述通孔102内，该端部与所述通孔102的内壁活动连接，升降机构30的另一端抵接于所述承载板20，所述升降机构30通过升降以使得所述承载板20发生弹性形变。
41.本技术实施例的基板加工载台，通过设置带有通孔102的基座10和固定于基座10上的承载板20，将所述承载板20设置为弹性承载板20，并通过设置升降机构30，将升降机构30的一端置于所述通孔102内，另一端抵接于所述承载板20的升降机构30，使用时将用于放置待加工基板40放置于承载板20上，通过调节所述升降机构30升降以使得所述承载板20发生弹性形变，从而带动承载板20上的待加工基板40发生形变，以抵消翘曲，以此提高待加工基板40的平整度，进而提高产品的制作良品率。
42.在一些实施例中，结合图3和图4所述，所述基座10和所述承载板20之间设有容置
空间101，所述升降机构30抵接于所述承载板20的一端位于所述容置空间101内。所述承载板20具有朝着靠近所述基座10的方向发生曲面形变的状态或朝着远离所述基座10的方向发生曲面形变的状态。
43.由于实际生产中，基板可能会有向上翘曲或向下翘曲两种缺陷形态，因此，在加工有应力膜层的制程中，通过在本实施例的基板加工载台上设置容置空间101从而承载板20具有向上发生弯曲形变，即通过调节升降机构30的高低的调节可以预先对待加工基板40施加适当的张应力，用于抵消制程后产生的压应力；或使承载板20具有向下发生弯曲形变状态，即通过调节升降机构30的高低的调节可以预先对待加工基板40施加适当的压应力，用于抵消制程后产生的张应力，从而便于使基板加工载台可以适用于不同缺陷形态的基板。
44.在一些实施例中，所述升降机构30朝向所述承载板20的一面与所述承载板20固定连接，其中，固定连接的方式可以是焊接、粘接或者一体成型等加工方式实现，在此不做具体限定。通过固定连接的方式以保证升降机构30在下降过程的带动承载板20向下发生曲面形变。此外，通过将升降机构30和承载板20固定连接，也有利于防止升降机构30在运动过程中与承载板20发生摩擦，导致承载板20发生磨损，从而有利于提高承载板20的使用寿命。
45.在一些实施例中，所述通孔102的数量至少为三个，相邻两个所述通孔102在所述基座10内间隔设置。具体地，所述多个通孔102横向间隔排列，所述通孔102的数量可以为奇数个或偶数个，例如3个、5个、6个或7个等，可以根据基板的大小设置，在此不做具体限定。
46.结合图3和图4所示，所述升降机构30的数量与所述通孔102的数量为一一对应关系，因此，当所述通孔102的数量为至少三个时，所述升降机构30的数量至少为三个，每个升降机构30分别位于一个所述通孔102内。为了使得弹性承载板20发生弯曲形变，可以使得位于中间升降机构30的上升高度大于或小于位于两侧的升降机构30的上升高度。当升降机构30的数量大于3个，例如为5个时，升降机构30的高度由中间向两侧依次降低或依次升高。
47.由于每个升降机构30是根据翘曲的不同程度的补正需要来调节的，当通过膜应力大小确认好升降机构30需要调整的距离后，将每个升降机构30调整至不同的高度对应位置，从而可以多个升降机构30可以适应不同的翘曲程度的待加工基板40。
48.为了防止待加工基板40发生向下翘曲时，加工时，需要将承载板20调整为向上发生弯曲形变，即使得承载板20朝着远离所述基座10的方向发生曲面形变，此时，位于中间的升降机构30的高度h1大于位于为两侧的升降机构30的高度h2。为了防止待加工基板40发生向上翘曲时，加工时，需要将承载板20调整为向下发生弯曲形变，即使得承载板20朝着靠近所述基座10的方向发生曲面形变，此时，位于中间的升降机构30的高度h1小于位于为两侧的升降机构30的高度h2。
49.在一些实施例中，如图5所示，所述升降机构30包括顶推件31和升降杆32。
50.顶推件31设置于所述容置空间101内，所述顶推件31与所述承载板20固定连接。升降杆32一端与所述顶推件31连接，另一端置于所述通孔102内伸出所述基座10，所述升降杆32与所述通孔102的内壁活动连接。通过升降杆32带动顶推件31在所述容置空间101内通过上升或下降运动，从而使得承载板20发生曲面形变，从而实现对待加工基板40的调整。
51.在一些实施例中，所述升降杆32上设置有外螺纹33，所述通孔102内壁设置有内螺纹11，所述升降杆32和所述通孔102内壁螺纹连接，通过内螺纹11和外螺纹33的设置使得升降杆32和通孔102内壁之间实现螺纹连接，进而实现对承载板20的调整。通过螺纹连接的方
式有利于在调整好升降杆32的位置后得以固定，不会发生变化，从而保证承载板20的形变度不再发生变化，以使得待加工基板40最终加工成型后的平整度，也便于在同一制程中加工多张基板。在制程不变的情况下，调整并固定好升降机构30的高度后，短期内可以不用再调整，使用方便。
52.此外，采用螺纹连接更有利于人工对进行承载板20的微调。相比于机器调整，即采用电机等驱动机构连接升降机构30实现电动调整，由于电机在转动过程中会产生回程差，随着使用时间变长，机器调整产生回程误差更大，误差也会变大，因此采用人工调整可以有效避免回程差的问题，更有利于保证调整的精确度。
53.在一些实施例中，所述升降杆32伸出所述基座10的一端还可以连接有手柄35，从而使得在进行人工调整时，操作人员旋转转动手柄35来实现升降杆32进行上升或下降运动，操作更加省力。
54.在一些实施例中，如图6所示，所述升降机构30和所述通孔102内壁滑动连接，所述升降机构30还包括紧固件36。具体地，所述升降杆32和所述通孔102内壁滑动连接，紧固件36设置于所述基座10背向所述承载板20的一面，所述紧固件36用于固定所述升降机构30远离所述承载板20的一端。其中，紧固件36可以例如为卡箍、紧固螺母或者套筒等，在此不作具体限定。
55.升降机构30通过滑动的方式实现调整上升或下降，当升降机构30调整确定好高度后，通过紧固件36将升降机构30的升降杆32固定在载台基座10上，有利于在调整好升降杆32的位置后得以固定，不会发生变化，从而保证承载板20的形变度不再发生变化，以使得待加工基板40最终加工成型后的平整度，也便于在同一制程中加工多张基板。在制程不变的情况下，调整并固定好升降机构30的高度后，短期内可以不用再调整，使用方便。
56.在一些实施例中，所述顶推件31与所述承载板20连接的一面为弧面，通过将顶推件31和承载板20的接触面设置为弧面，从而可以保证承载板20对待加工基板40的产生的作用力的分散面积足够大，从而确保待加工基板40平滑连贯地产生曲面形变，以避免产生例如mura、印痕等生产缺陷。
57.在一些实施例中，如图5所示，所述顶推件31朝向所述升降杆32的一面设置有凹槽301，所述升降机构30还包括轴承34。
58.轴承34抵接于所述凹槽301内壁，所述轴承34套设于所述升降杆32的端部。具体地，所述轴承34可以为滚动轴承34，例如滚珠轴承、圆柱滚子轴承等。通过轴承34的设置，以使得升降杆32在旋转上升或旋转下降的过程中，顶推件31仅仅沿着升降杆32的轴向运动，即沿直线向或向下运动，而不会随着升降杆32发生转动，从而进一步保证了顶推件31不会与承载板20之间产生摩擦而造成磨损。
59.此外，所述顶推件31可以为弹性顶推件31，且所述弹性顶推件31的形变量大于所述承载板20的形变量。其中，顶推件31可以采用例如不锈钢或橡胶等材质制成，通过采用弹性顶推件31可以使得顶推件31和承载板20的接触面充分接触，以保证顶推件31和承载板20的接触面的贴合度，有利于进一步保证待加工基板40平滑连贯地产生曲面形变，以避免产生例如mura、印痕等生产缺陷。
60.具体地，所述顶推件31为条状顶推件31、片状顶推件31或块状顶推件31等，在此不对顶推件31的形状做具体限制。示例性地，当顶推件31为块状顶推件31时，顶推件31的形状
可以是球状、椭球状、正方体、圆柱等，在此不做具体限定。具体地，顶推件31可以为空心顶推件，也可以为实心顶推件。
61.在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见其他实施例的相关描述。
62.以上对本技术实施例所提供的一种基板加工载台进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本技术的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本技术的技术方案及其核心思想；本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本技术各实施例的技术方案的范围。