一种切片固化装置的制作方法

文档序号:27578308发布日期:2021-11-25 11:26阅读:146来源:国知局
一种切片固化装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体行业技术领域,具体涉及一种切片固化装置。


背景技术:

2.随着半导体行业的快速发展,在封装过程中的产品质量、人为效率显得越发重要,无论是新产品在导入阶段还是已量产的产品对于内部的品质监控都是必须的环节,而在内部的品质监控中,切片是非常重要的一环,所谓切片就是将产品切到预计的位置,通过高倍显微镜或者电子隧道显微镜来观察切口部位的情况,进而得出结论。
3.电流变液是针对某些特殊的由介电微粒与绝缘液体混合而成的复杂流体,在无电流的情况下表现为普通的液体,一旦外部出现稳定的电场,电流变液中的固体颗粒获得电场的感应作用,首先在两极板间排成链,随电场进一步增强,链之间相互作用而聚集成柱,从而由液态进入固态,电流变液在电场的作用下能产生明显的电流变效应,即可在液态和类固态间进行快速可逆的转化,并保持粘度连续。这种转变极为迅速,瞬时可控,能耗极小,因而可与电脑结合,实现实时控制。
4.现有技术的客观缺点:
5.1.目前的切片流程为:固定芯片位置

调制固化液

固化

切片,现有的切片方式,在切之前需要将产品通过树脂固化,完全凝固后才可上砂轮机进行切片,然而固化的平均时间在4~6小时,时间占用非常高;
6.2.如果在树脂固化后发现待切产品放置反向只能从新固化,容错率很低,如果遇到次品只有一颗的情况下后果更加糟糕;
7.3.在切片的过程中分为粗切和精切,为达到不同的效果在切片过程当中需要切换不同粗糙度的砂纸,过程繁琐且效率低下;
8.4.传统的切片方式在固化后只能按照一个方向切,如需观察多个方向只能提供多个样品;
9.为此,我们提出一种切片固化装置。


技术实现要素:

10.为了便于快速精确的配出所需要的混合溶液并完成固化制具内部的填充,大大节省时间、提高效率,本实用新型的第一个目的在于,提供一种切片固化装置。
11.为此,本实用新型的上述目的通过以下技术方案实现:
12.一种切片固化装置,包括固化制具和原液存放装置,所述固化制具包括底座,所述底座的内腔底部设置有芯片,所述底座的顶部设置有端盖,所述端盖的顶部设置有螺栓,且螺栓的底部贯穿端盖的底部,所述端盖的底部左右两侧均嵌合安装有铜片;
13.所述原液存放装置包括存放筒,所述存放筒的左侧连通有竖管道,所述存放筒的顶部右侧设置有压杆,且压杆活动伸入存放筒的内腔,所述压杆活动伸入存放筒内腔的一端上滑动设置有两组分隔板,且两组分隔板均与存放筒相固接,所述存放筒的内腔通过两
组分隔板分隔有三组容纳室,三组所述容纳室的内腔底部均固接有弹簧,且上端两组弹簧套接在压杆上,三组所述容纳室的内腔顶部均设置有活塞,所述活塞的底部与弹簧对应相固接,且活塞与压杆相固接,所述存放筒的右侧自上而下依次设置有基础液盒、固体微粒溶液盒和催化剂盒,所述基础液盒、固体微粒溶液盒和催化剂盒的左侧壁底部均连通有连通管,所述基础液盒、固体微粒溶液盒和催化剂盒分别通过连通管与对应的容纳室的内腔顶部相连通。
14.优选地,上述用于切片固化装置中,所述端盖包括挡盖体,所述挡盖体的底部设置有外螺纹凸起,所述底座的内腔圆周侧壁开设有与外螺纹凸起相配合的内螺纹,通过内螺纹与外螺纹凸起的螺纹连接配合,便于对端盖与底座之间的螺纹旋拧固定和拆卸。
15.优选地,上述用于切片固化装置中,所述芯片的底部设置有双面胶,所述芯片通过双面胶与底座的内腔底部相连接,便于对芯片在底座内腔底部的安装固定。
16.优选地,上述用于切片固化装置中,所述竖管道的内腔右侧从上到下依次开设有第一排液孔、第二排液孔和第三排液孔,所述第一排液孔、第二排液孔和第三排液孔分别与对应的容纳室的内腔相连通,便于将基础液、固体微粒溶液和催化剂在对应的容纳室中依次从第一排液孔、第二排液孔和第三排液孔输送到竖管道中进行汇流。
17.优选地,上述用于切片固化装置中,所述第一排液孔和第二排液孔的内直径均为3mm,所述第三排液孔的内直径均为1mm,实现基础液、固体微粒溶液和催化剂之间3:3:1的比例混合,制作电流液。
18.优选地,上述用于切片固化装置中,所述端盖的顶部开设有与螺栓相配合的栓通孔,便于对螺栓在端盖上的安装和拆卸,以及便于配合原液存放装置在固化制具上的连接使用。
19.优选地,上述用于切片固化装置中,左侧所述铜片为正极铜片,右侧所述铜片为负极铜片,方便进行通电使用。
20.本实用新型提供一种切片固化装置,具有如下有益效果:第一:本实用新型通过将汽车行业成熟的电流液变技术应用于半导体行业,对于传统fa实验的材料以及工艺选择有着很好的启示作用;
21.第二:传统的切片固化技术时间久难度大,失败率高,容错率低,使用电流液变的技术可以很好的解决以上问题,更适应于生产节奏快速的半导体行业;
22.第三:对于小颗产品最佳混合溶液的配方比例约为:基础液:固体微粒溶液:催化剂=3:3:1,通过原液存放装置中的弹簧、活塞和压杆配合,以及3mm内直径的第一排液孔和第二排液孔,1mm内直径的第三排液孔的配合,便于快速精确的配出所需要的混合溶液并完成固化制具内部的填充,大大节省了时间、提高了效率。
附图说明
23.图1为本实用新型的固化制具的示意图;
24.图中:1为底座,2为端盖,201为挡盖体,202为外螺纹凸起,3为铜片,4为螺栓,5为芯片,6为双面胶。
25.图2为本实用新型的原液存放装置的示意图。
26.图中:8为原液存放装置,801为存放筒,802为第一排液孔,803为分隔板,804为第
二排液孔,805为第三排液孔,806为竖管道,807为弹簧,808为活塞,809为催化剂盒,810为固体微粒溶液盒,811为基础液盒,812为连通管,813为压杆。
27.图3为本实用新型的底座与端盖的连接状态示意图。
28.图4为本实用新型的原液存放装置与固化制具的连接状态示意图。
29.图中:7为栓通孔。
30.图5为本实用新型的固化制具的通电状态示意图。
31.图6为本实用新型的芯片的使用状态示意图一。
32.图7为本实用新型的芯片的使用状态示意图二。
具体实施方式
33.参照附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细地描述。
34.实施例1
35.如图1

2所示,一种切片固化装置,包括固化制具和原液存放装置8,固化制具包括底座1,底座1的内腔底部设置有芯片5,芯片5的底部设置有双面胶6,芯片5通过双面胶6与底座1的内腔底部相连接,便于对芯片5在底座1内腔底部的安装固定,底座1的顶部设置有端盖2,端盖2包括挡盖体201,挡盖体201的底部设置有外螺纹凸起202,底座1的内腔圆周侧壁开设有与外螺纹凸起202相配合的内螺纹,通过内螺纹与外螺纹凸起202的螺纹连接配合,便于对端盖2与底座1之间的螺纹旋拧固定和拆卸,端盖2的顶部设置有螺栓4,且螺栓4的底部贯穿端盖2的底部,端盖2的顶部开设有与螺栓4相配合的栓通孔7,便于对螺栓4在端盖2上安装和拆卸,以及便于配合原液存放装置8在固化制具上的连接使用,端盖2的底部左右两侧均嵌合安装有铜片3,左侧铜片3为正极铜片,右侧铜片3为负极铜片,方便进行通电使用;
36.原液存放装置8包括存放筒801,存放筒801的左侧连通有竖管道806,竖管道806的内腔右侧从上到下依次开设有第一排液孔802、第二排液孔804和第三排液孔805,第一排液孔802、第二排液孔804和第三排液孔805分别与对应的容纳室的内腔相连通,便于将基础液、固体微粒溶液和催化剂在对应的容纳室中依次从第一排液孔802、第二排液孔804和第三排液孔805输送到竖管道806中进行汇流,第一排液孔802和第二排液孔804的内直径均为3mm,第三排液孔805的内直径均为1mm,实现基础液、固体微粒溶液和催化剂之间3:3:1的比例混合,制作电流液,存放筒801的顶部右侧设置有压杆813,且压杆813活动伸入存放筒801的内腔,压杆813活动伸入存放筒801内腔的一端上滑动设置有两组分隔板803,且两组分隔板803均与存放筒801相固接,存放筒801的内腔通过两组分隔板803分隔有三组容纳室,三组容纳室的内腔底部均固接有弹簧807,且上端两组弹簧807套接在压杆813上,三组容纳室的内腔顶部均设置有活塞808,活塞808的底部与弹簧807对应相固接,且活塞808与压杆813相固接,存放筒801的右侧自上而下依次设置有基础液盒811、固体微粒溶液盒810和催化剂盒809,基础液盒811、固体微粒溶液盒810和催化剂盒809的左侧壁底部均连通有连通管812,基础液盒811、固体微粒溶液盒810和催化剂盒809分别通过连通管812与对应的容纳室的内腔顶部相连通。
37.本实施例的一个具体应用为:本实用新型结构设计合理,如图3所示:首先,在固化制具中的底座1的内腔底部粘上双面胶6,再将芯片5待切的方向粘在双面胶6上,通过手持
挡盖体201将外螺纹凸起202旋拧到底座1中,并通过挡盖体201进行阻挡限位,进而将端盖2在底座1上旋紧;
38.如图4所示:旋拧打开端盖2顶部上的螺栓4,将原液存放装置8放置在固化制具上,并使得竖管道806对准并插入到栓通孔7中,向下按压压杆813,使其向存放筒801中伸入,带动三组活塞808在对应的容纳室中同步向下移动,并对三组弹簧807在对应的容纳室中同步进行压缩,使得基础液盒811连通的连通管812经过对应的第一组容纳室的内腔与第一排液孔802连通,和使得固体微粒溶液盒810连通的连通管812经过对应的第二组容纳室的内腔与第二排液孔804连通,以及使得催化剂盒809连通的连通管812经过对应的第三组容纳室的内腔与第三排液孔805连通,进一步使得基础液盒811中的基础液、固体微粒溶液盒810中的固体微粒溶液和催化剂盒809中的催化剂按照3:3:1的比例在竖管道806中混合,形成电流液,最后倒入固化制具中;
39.如图5所示:待电流液充满固化制具后,拔出原液存放装置8,并在栓通孔7中插回螺栓4,然后在两组铜片3的配合下对固化制具接外部供电装置开始通电(通过电流变液技术使产品在特殊条件下快速固化,如发现固化方向错误也可以调节电压大小实现逆固化,通过电压的pwm波调节可以实现固化体的硬度变化进而实现一张砂纸完成所有的过程,为现有技术);
40.如图6所示:待电流液完全固化后,旋转底座1并取下;
41.如图7所示:利用砂轮机开始切片至指定位置并观察异常情况,观察结束后停止供电,将电流液排除,切片剩下的产品使用酒精擦拭干净放入静电袋保存。
42.上述具体实施方式用来解释说明本实用新型,仅为本实用新型的优选实施例,而不是对本实用新型进行限制,在本实用新型的精神和权利要求的保护范围内,对本实用新型做出的任何修改、等同替换、改进等,都落入本实用新型的保护范围。
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