一种可伸缩式的超精密气浮移动旋转平台的制作方法

1.本实用新型涉及气浮运动平台术领域，具体为一种可伸缩式的超精密气浮移动旋转平台。


背景技术：

2.气浮运动平台是精密机械中的关键部件之一，它为微光刻技术、数控加工、生物技术、ic封装设备、纳米表面形貌测量等领域提供一个能够实现精密定位和精确运动的载物平台；应用较多的要数在先进的电子制造设备，比如光刻机贴片机等，高性能的运动平台是其工作的主要机构；现有技术中，用于移动的气浮轴承都是卡接在滑块中，但是这样的结构连接，在移动过程中不够稳定；还有就是用于固定工件的工作台，只能做前后左右的移动，无法带动工件进行升降调节。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种可伸缩式的超精密气浮移动旋转平台，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种可伸缩式的超精密气浮移动旋转平台，包括花岗岩底座，所述花岗岩底座的四个边角均设有通孔，所述通孔的上端设有防撞击衬垫，所述通孔的下端设有底柱，每个所述通孔内均贯穿有伸缩杆，每个所述伸缩杆的下端均嵌于底柱的活动槽内，每个所述伸缩杆均通过信号线连接驱动总控装置，所述驱动总控装置固定在花岗岩底座下方，每侧所述两个相对应的伸缩杆之间设有安装板，每侧所述安装板上均设有第一气浮移动机构，两侧所述第一气浮移动机构之间设有第二气浮移动机构，所述第二气浮移动机构上设有工作台。
5.优选的，每侧所述第一气浮移动机构包括两个第一支撑块，两个所述第一支撑块分别固定于安装板的两侧，两个所述第一支撑块之间固定有第一滑行块，所述第一滑行块上套有第一气浮轴承；
6.每侧所述第一滑行块侧边的安装板上均设有第一拖链，所述第一拖链连接着第一直线电机，所述第一直线电机连接第一连接板，所述第一连接板固定在第一气浮轴承的一侧，所述第一气浮轴承的另一侧设有第一固定板，两侧所述第一固定板相对设置，两侧所述第一固定板之间固定有支撑板。
7.优选的，所述第二气浮移动机构包括两个第二滑行块，每个所述第二滑行块的两端分别设置在支撑板上，每个所述第二滑行块上均套有第二气浮轴承，两个所述第二气浮轴承之间固定有工作台；
8.所述支撑板上还设有设有第二拖链，所述第二拖链连接着第二直线电机，所述第二直线电机连接第二连接板，所述第二连接板的另一端连接着其中一侧第二气浮轴承的一端。
9.优选的，所述工作台包括工作台底座和工作台面，所述工作台底座内设有旋转电
机，所述旋转电机连接着工作台面，所述旋转电机两侧设有辅助轴承，一侧所述旋转电机的辅助轴承下端设有走气孔，所述走气孔与工作台底座外壁相通，所述工作台面与旋转电机交接处设有光栅，所述工作台面上端设有多个安装孔。
10.优选的，所述第一气浮轴承和第二气浮轴承结构一致，包括通孔，所述通孔的每侧内壁上均设有两个气槽，每个所述气槽的两侧均设有气孔。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
12.本实用新型结构简单，设计新颖，特设的四个伸缩杆能够带动第一气浮机构和第二气浮机构，以及工作台进行上下移动，通过该伸缩式的移动，能够根据不同规格型号的工件，调整相应的高度，同时特设的第一气浮机构能够进行前后移动，第二气浮机构能够进行左右移动，从而实现精密定位和精确运动载物；
13.本实用新型设置的防撞击衬垫，能够有效的防止伸缩杆在进行伸缩时，第一气浮机构的底部与花岗岩底座之间发生碰撞；
14.本实用新型特设的气浮轴承与滑行块之间采用闭式套接结构，通过在气浮轴承中间设置通孔，并将滑行块穿过通孔，使气浮轴承套于滑行块上，采用这样的结构，能够增加滑行时的稳定性；而且本实用新型的气浮轴承的通孔内壁上还设有气槽和走气孔，能够减少气浮轴承与滑行块之间的摩擦，增加移动时的顺滑度；本实用新型的工作台能够进行360的旋转，在保证工件前后左右移动的同时，还能够对其进行多角度多方位的调节。
附图说明
15.图1为本实用新型整体结构正视示意图；
16.图2为本实用新型花岗岩底座剖面示意图；
17.图3为本实用新型整体结构俯视示意图；
18.图4为本实用新型工作台剖面结构示意图；
19.图5为本实用新型气浮轴承结构示意图；
20.图6为本实用新型气浮轴承剖面结构示意图。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.请参阅图1-6，一种可伸缩式的超精密气浮移动旋转平台，包括花岗岩底座，其所述花岗岩底座1的四个边角均设有通孔，所述通孔的上端设有防撞击衬垫11用于防止伸缩杆在进行伸缩时，第一气浮机构的底部与花岗岩底座之间发生碰撞；所述通孔的下端设有底柱12，每个所述通孔内均贯穿有伸缩杆13，每个所述伸缩杆13的下端均嵌于底柱12的活动槽121内，这样即可使伸缩杆在活动槽内自有伸缩，每个所述伸缩杆13均通过信号线连接驱动总控装置131，所述驱动总控装置131固定在花岗岩底座1下方，启动驱动总控装置后，即可使四个伸缩杆一起进行自动的往复伸缩运动，每侧所述两个相对应的伸缩杆13之间设有安装板132，每侧所述安装板132上均设有第一气浮移动机构3，两侧所述第一气浮移动机
构3之间设有第二气浮移动机构4，所述第二气浮移动机构4上设有工作台5，因此四个伸缩杆在进行运动时，会带动第一气浮机构和第二气浮机构，以及工作台一起进行上下移动。
23.本实施例中，每侧所述第一气浮移动机构3包括两个第一支撑块32，两个所述第一支撑块32分别固定于安装板132的两侧，两个所述第一支撑块32之间固定有第一滑行块33，所述第一滑行块33上套有第一气浮轴承331，特设的气浮轴承与滑行块之间采用闭式套接结构，从而可使第一气浮轴承可在第一滑行块上进行前后滑行；
24.每侧所述第一滑行块33侧边的安装板31上均设有第一拖链34，所述第一拖链34连接着第一直线电机341，通过启动第一直线电机即可使第一拖链进行运行，第一拖链传动过程中，带着第一直线电机一起移动，所述第一直线电机341连接第一连接板342，所述第一连接板342固定在第一气浮轴承331的一侧，从而实现第一气浮轴承在第一滑行块上自动滑行，所述第一气浮轴承331的另一侧设有第一固定板332，两侧所述第一固定板332相对设置，两侧所述第一固定板332之间固定有支撑板333；当第一气浮轴承进行移动的同时，位于第一气浮轴承另一侧的第一固定板，以及第一固定板之间的支撑板，也会随之一起运动，向前或者向后移动。
25.本实施例中，所述第二气浮移动机构4包括两个第二滑行块41，每个所述第二滑行块41的两端分别设置在支撑板333上，每个所述第二滑行块41上均套有第二气浮轴承411，第二气浮轴承可在第二滑行块上进行左右滑行；两个所述第二气浮轴承411之间固定有工作台5，当第二气浮轴承移动时，会带动工作台一起移动；
26.所述支撑板333上还设有设有第二拖链42，所述第二拖链42连接着第二直线电机421，所述第二直线电机421连接第二连接板422，所述第二连接板422的另一端连接着其中一侧的第二气浮轴承411的一端；
27.上述实施例中，通过启动第二直线电机驱动第二拖链传动，当第二拖链进行运行时，第二直线电机随之一起移动，从而带动第二连接板一起向左或者向右移动，从而实现第二气浮轴承的移动，当第二气浮轴承在第二直线电机驱动下进行左右滑行时，也会带动第二气浮轴承之间的工作台左右移动。
28.本实施例中，所述工作台5包括工作台底座51和工作台面52，所述工作台底座51内设有旋转电机511，所述旋转电机511连接着工作台面52，通过旋转电机可以带动工作台面进行旋转，所述旋转电机511两侧设有辅助轴承512，辅助轴承用于辅助旋转电机的旋转，以提高旋转时的稳定性；一侧所述旋转电机511的辅助轴承512下端设有走气孔513，所述走气孔513与工作台底座51外壁相通，通过设计该走气孔，气体进入后，能有效减少辅助轴承与旋转电机之间的摩擦，增加旋转时的顺滑度，所述工作台面52与旋转电机511交接处设有光栅53，光栅用于工件的定位，所述工作台面52上端设有多个安装孔521，安装孔用于固定工件。
29.本实施例中，所述第一气浮轴承和第二气浮轴承结构一致，包括通孔，所述通孔的每侧内壁上均设有两个气槽，每个所述气槽的两侧均设有气孔；通过在上述气浮轴承中间设置通孔，并将滑行块穿过通孔，使气浮轴承套于滑行块上，采用这样的结构，能够增加滑行时的稳定性；而且气浮轴承的通孔内壁上还设有气槽和气孔，能够减少气浮轴承与滑行块之间的摩擦，增加移动时的顺滑度。
30.工作原理：首先将需本平台安装在加工设备上，然后将要进行加工的工件安装在
工作台面上，然后启动第一直线电机和第二直线电机，带动第一气浮机构和第二气浮机构进行前后左右移动，以调整好工作台的精确位置，再启动旋转电机，通过旋转电机可带动工作台面进行旋转，调整工件所需的角度方位，再启动驱动总控装置，带动整体进行上移，即可使工件上移，调整好加工高度，使之靠近加工设备进行加工。
31.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。