一种安装或拆卸上电极的装置的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆制造技术领域，特别涉及一种安装或拆卸上电极的装置。


背景技术：

2.干法蚀刻包括等离子蚀刻，等离子蚀刻主要包括以下几个步骤：在低压下，反应气体在射频功率的激发下，产生电离并形成等离子体(plasma，等离子体)，等离子体是由带电的电子和离子组成，反应腔体中的气体在电子的撞击下，除了转变成离子外，还能吸收能量并形成大量的活性基团；活性基团和被蚀刻物质表面形成化学反应并形成挥发性的反应生成物；反应生成物脱离被蚀刻物质表面，并被真空系统抽出腔体。
3.在使用型号为lam flex45的蚀刻机对晶圆进行蚀刻时，晶圆固定在上电极(upper electrode，上电极或上部电极)和下电极之间。在蚀刻过程中，上电极会附着蚀刻产生的生成物，等离子体也会蚀刻上电极，使得上电极容易变薄，影响蚀刻速率和均匀性，需要定期更换上电极。
4.目前在安装或拆卸上电极的过程当中，通常需要两个人员进行操作，一个人要使用治具托住上电极，并且要保持上电极处于水平状态上下移动，另一人安装或拆卸用于固定上电极的螺丝。然而，手动托举上电极上下移动时，容易导致上电极倾斜，进而导致在安装或拆卸用于固定上电极的螺丝的时候上电极破碎。


技术实现要素：

5.本实用新型提供了一种安装或拆卸上电极的装置，以解决上电极在上下移动过程中容易倾斜的技术问题。
6.为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种安装或拆卸上电极的装置，包括外环卡套、支撑环、升降单元和多个承重柱；所述外环卡套上均匀设置多个卡扣和多个支撑脚，所述支撑脚向所述外环卡套的中心延伸；所述支撑环放置在多个所述支撑脚上，所述支撑环用于承载上电极；所述承重柱的一端用于固定在冷却盘上，另一端用于固定所述外环卡套，所述外环卡套通过多个所述卡扣固定在多个所述承重柱的另一端上；所述升降单元用于控制所述支撑环上升或下降。
7.可选的，所述升降单元包括施力把手、螺杆、套筒、底板、两个以上支撑柱、三个以上支撑杆和三个以上支撑块；所述施力把手与所述螺杆的一端连接，所述螺杆的另一端穿过所述底板和所述套筒，所述螺杆与所述套筒之间螺纹连接；两个以上所述支撑柱均匀设置在所述底板的边缘位置，所述支撑柱用于抵靠在所述承重柱的另一端上；三个以上所述支撑杆环绕所述套筒均匀设置；每个所述支撑杆上分别安装一个所述支撑块，三个以上所述支撑块位于同一平面上。
8.可选的，所述支撑块位于所述支撑杆的末端。
9.可选的，所述支撑块通过弹性元件安装在所述支撑杆上。
10.可选的，所述弹性元件为弹簧。
11.可选的，所述底板的形状为圆盘形。
12.可选的，所述底板设置多个镂空的通孔，所述通孔的轴线与所述底板的轴线平行。
13.可选的，所述支撑环的形状为圆环形。
14.可选的，所述支撑脚的上表面设置有用于固定所述支撑环的凹槽。
15.可选的，所述支撑环的上表面设置有用于固定所述上电极的凹槽。
16.本实用新型提供的一种安装或拆卸上电极的装置，通过所述升降单元可以保持上电极处于水平状态上下移动，可以防止上电极因倾斜而破碎；提高了安装或拆下上电极的速度，从之前的平均15分钟缩短到10分钟；减少安装或拆卸上电极的人员的需求，从两人减到一人；减少了上电极的损坏概率，从之前的10％左右降到0％左右。
附图说明
17.图1是本实用新型一实施例提供的一种外环卡套的结构示意图。
18.图2是支撑环放在图1中的外环卡套上的结构示意图。
19.图3是上电极放在图2中的支撑环上的结构示意图。
20.图4是所述升降单元放在图2中的支撑环下方后的结构示意图。
21.图5图3对应的主视图。
22.图6是所述升降单元放在图5中的支撑柱下方后的结构示意图。
23.[附图标记说明如下]：
[0024]
外环卡套-1、支撑环-2、升降单元-3、承重柱-4、上电极-5；
[0025]
卡扣-11、支撑脚-12；
[0026]
施力把手-31、螺杆-32、套筒-33、底板-34、支撑柱-35、支撑杆-36、支撑块-37、弹性元件-38。
具体实施方式
[0027]
为使本实用新型的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图对本实用新型提出的一种安装或拆卸上电极的装置作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
[0028]
在本实用新型的描述中，术语“第一”、“第二”等限定词是为了方便描述和引用而增加的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等限定词的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。
[0029]
如图1～图6所示，本实施例提供了一种安装或拆卸上电极5的装置，包括外环卡套1、支撑环2、升降单元3和多个承重柱4；所述外环卡套1上均匀设置多个卡扣11和多个支撑脚12，所述支撑脚12向所述外环卡套1的中心延伸；所述支撑环2放置在多个所述支撑脚12上，所述支撑环2用于承载上电极5；所述承重柱4的一端用于固定在冷却盘上，另一端用于固定所述外环卡套1，所述外环卡套1通过多个所述卡扣11固定在多个所述承重柱4的另一端上；所述升降单元3用于控制所述支撑环2上升或下降。其中，所述支撑环2可以称为铝环。
[0030]
使用所述安装或拆卸上电极5的装置安装上电极5的步骤包括：分别将多个所述承重柱4固定在蚀刻机的冷却盘上；所述外环卡套1卡在所述承重柱4的下端上；将所述支撑环
2放在所述外环卡套1的支撑脚12上；将所述上电极5放在所述支撑环2上；可以通过马达控制所述承重柱4缓慢上升；将所述升降单元3放在所述支撑环2的下方，利用所述升降单元3使所述支撑环2和所述上电极5一起上升到指定位置；将所述上电极5安装在所述冷却盘上。
[0031]
使用所述安装或拆卸上电极5的装置拆卸上电极5的步骤和上述安装的步骤相反，再次不再赘述。
[0032]
本实施例提供的一种安装或拆卸上电极5的装置，通过所述升降单元3可以保持上电极5处于水平状态上下移动，可以防止上电极5因倾斜而破碎；提高了安装或拆下上电极5的速度，从之前的平均15分钟缩短到10分钟；减少安装或拆卸上电极5的人员的需求，从两人减到一人；减少了上电极5的损坏概率，从之前的10％左右降到0％左右。
[0033]
可选的，如图6所示，所述升降单元3包括施力把手31、螺杆32、套筒33、底板34、两个以上支撑柱35、三个以上支撑杆36和三个以上支撑块37；所述施力把手31与所述螺杆32的一端连接，所述螺杆32的另一端穿过所述底板34和所述套筒33，所述螺杆32与所述套筒33之间螺纹连接；两个以上所述支撑柱35均匀设置在所述底板34的边缘位置，所述支撑柱35用于抵靠在所述承重柱4的另一端上；三个以上所述支撑杆36环绕所述套筒33均匀设置；每个所述支撑杆36上分别安装一个所述支撑块37，三个以上所述支撑块37位于同一平面上。摇动所述施力把手31时，所述套筒33可以带着所述支撑杆36和所述支撑块37一起上升或下降，所述支撑块37与所述支撑环2贴合，所述支撑块37可以带着所述支撑环2上升或下降。本实施例提供的所述升降单元3可以通过手动的方式精确调整所述上电极5的位置。在其它实施例中所述升降单元3可以是能自动升降的单元。
[0034]
可选的，如图6所示，所述支撑块37位于所述支撑杆36的末端。这样可以充分利用所述支撑杆36的长度，减小所述装置占用的空间。
[0035]
可选的，如图6所示，所述支撑块37通过弹性元件38安装在所述支撑杆36上。设置所述弹性元件38，在安装或拆卸所述上电极5时，可以微调所述上电极5的位置，防止所述上电极5倾斜而破碎。
[0036]
可选的，如图6所示，所述弹性元件38为弹簧。弹簧具有较好的弹性，满足安装或拆卸所述上电极5使用的需求。在其它实施例中，所述弹性元件38也可以是橡胶或其它具有弹性的材料制成。
[0037]
可选的，如图4和图6所示，所述底板34的形状为圆盘形。这样方便加工所述底板34。在其它实施例中，所述底板34的形状也可以是其它形状。
[0038]
可选的，如图4和图6所示，所述底板34设置多个镂空的通孔，所述通孔的轴线与所述底板34的轴线平行。设置所述通孔，可以方便从所述底板34的下方观察所述支撑环2的位置。
[0039]
可选的，如图2和图3所示，所述支撑环2的形状为圆环形。现有的上电极5的形状通常为圆盘形，将所述支撑环2设计成圆环形，可以方便固定所述上电极5。在其它实施例中，所述支撑环2的形状也可以是其它形状。
[0040]
可选的，如图1和图2所示，所述支撑脚12设置有用于固定所述支撑环2的凹槽。所述支撑环2可以放在所述支撑脚12上的凹槽内，这样可以防止所述支撑环2在所述支撑脚12的上表面滑动。
[0041]
可选的，如图3所示，所述支撑环2设置有用于固定所述上电极5的凹槽。所述上电
极5可以放在所述支撑环2的凹槽内，这样可以防止所述上电极5在所述支撑环2的上表面滑动。
[0042]
综上所述，本实用新型提供的一种安装或拆卸上电极5的装置，通过所述升降单元3可以保持上电极5处于水平状态上下移动，可以防止上电极5因倾斜而破碎；提高了安装或拆下上电极5的速度，从之前的平均15分钟缩短到10分钟；减少安装或拆卸上电极5的人员的需求，从两人减到一人；减少了上电极5的损坏概率，从之前的10％左右降到0％左右。
[0043]
上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于本实用新型的保护范围。