一种拆卸装置的制作方法

1.本发明涉及晶圆反应设备技术领域，具体涉及一种拆卸装置。


背景技术：

2.在半导体制造工艺中，通常需要使用镀膜设备对晶圆进行镀膜。现有的镀膜设备通常为一个密闭的反应腔，在反应腔的顶端设有盖板，在盖板上侧设有喷淋盘和穹顶，穹顶盖合在喷淋盘上并通过销钉定位，然后通过螺钉固定，且二者之间设置密封圈，以使穹顶和喷淋盘之间形成密闭的容纳腔；穹顶中部设有与所述容纳腔连通的进气孔，一组反应气组通过进气孔分散后穿过喷淋盘与另一组反应气组从喷淋盘侧进入喷淋盘夹层并从喷淋盘第二组孔进入反应腔内后进行混合。
3.然而现有技术中没有专门拆卸穹顶的设备，由于穹顶与喷淋盘之间设有密封圈，且二者之间通过两个销钉定位，因此在拆卸穹顶时，通常会将喷淋盘连带拆卸下来；故现有技术中拆卸穹顶时，需要先将穹顶和喷淋盘之间的螺钉拧下来，然后通过橡胶锤锤击喷淋盘，使穹顶和喷淋盘之间的密封状态破开，然后才能够将穹顶拆卸下来，需要30-60分钟完成一只穹顶的拆卸，拆卸效率低，且对穹顶与喷淋盘的外表面会造成伤害，留下拆卸痕迹。


技术实现要素：

4.(一)本发明所要解决的技术问题是：目前没有专门拆卸穹顶的结构，拆卸穹顶时需要橡胶锤敲击喷淋盘和穹顶，拆卸效率低，且会对穹顶和喷淋盘表面造成破坏，留下拆卸痕迹。
5.(二)技术方案
6.为了解决上述技术问题，本发明一方面实施例提供了一种拆卸装置，所述拆卸装置包括锁板、锁块和顶推件，所述锁板与穹顶可拆卸连接；所述锁块与喷淋盘可拆卸连接；所述顶推件穿过所述锁板，下端抵在所述锁块上，且所述顶推件能够带动所述穹顶向上移动与所述喷淋盘分离。
7.根据本发明的一个实施例，所述顶推件包括顶丝，所述锁板上设有与所述顶丝配合的第一螺孔，所述顶丝的下端与第一螺孔旋合伸至所述锁板的下侧并与所述锁块相抵。
8.根据本发明的一个实施例，所述穹顶包括圆柱状的本体，在所述本体下端边缘形成向外侧延伸的圆环状的连接板。
9.根据本发明的一个实施例，所述锁板上设有第一通孔，所述连接板上设有第二螺孔，螺钉穿过所述第一通孔与所述第二螺孔配合，以连接所述锁板和所述穹顶。
10.根据本发明的一个实施例，所述锁板侧边缘上开设有弧形的凹口，圆柱状所述本体卡合于所述凹口内。
11.根据本发明的一个实施例，所述锁板设有两个，两个所述锁板对称设于所述本体的两侧。
12.根据本发明的一个实施例，所述锁板上设有握持孔。
13.根据本发明的一个实施例，所述喷淋盘的侧壁上设有卡孔，所述锁块与所述卡孔卡接配合。
14.根据本发明的一个实施例，所述锁块包括第一块体和第二块体，所述第一块体的上端与所述第二块体的一端垂直连接，所述第二块体卡合与所述卡孔内。
15.根据本发明的一个实施例，所述锁块设有四个，所述喷淋盘呈圆盘状，所述喷淋盘侧壁上均匀分布有四个所述卡孔；和/或，所述第一块体和第二块体一体成型。
16.本发明的有益效果：本发明提供的拆卸装置包括锁板、锁块和顶推件，所述锁板与穹顶可拆卸连接；在拆卸穹顶时，先将锁板与穹顶相连，再将锁块连接在喷淋盘上，然后驱动顶推件带动穹顶向上移动，由于顶推件下端抵在锁块上，而锁块与喷淋盘相连，因此喷淋盘不动，进而使穹顶与喷淋盘分离，可以比较省力、高效的单独拆卸穹顶，并且拆卸过程中不需要是用橡胶锤，且顶推件也没有抵在喷淋盘上，因此不会造成穹顶和喷淋盘出现拆痕或损坏。
附图说明
17.为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
18.图1为本发明一个实施例提供的拆卸装置的立体图；
19.图2为本发明一个实施例提供的拆卸装置的爆炸图；
20.图3为本发明一个实施例提供的锁板的结构示意图；
21.图4为本发明一个实施例提供的锁块的结构示意图；
22.图5为喷淋盘与穹顶配合在一起的结构示意图；
23.图6为本发明一个实施例提供的穹顶的结构示意图；
24.图7为本发明一个实施例提供的喷淋盘的结构示意图。
25.图标：1-锁板；11-凹口；12-第一螺孔；13-第一通孔；14-握持孔；
26.2-锁块；21-第一块体；22-第二块体；
27.3-喷淋盘；31-卡孔；
28.4-穹顶；41-本体；42-连接板；421-第二螺孔；
29.5-盖板；6-顶丝。
具体实施方式
30.为了能够更清楚地理解本发明的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本发明进行进一步的详细描述，在不冲突的情况下，本技术的实施例及实施例中的特征可以相互组合。显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
31.如图1至图7所示，本发明一方面实施例提供了一种拆卸装置，所述拆卸装置用于拆卸穹顶4，其中所述穹顶4为晶圆反应室的结构，晶圆反应室用于晶圆镀膜，其中在反应室
的上端设有盖板5，喷淋盘3设置在盖板5上，穹顶4通过螺钉与喷淋盘3固定，同时二者之间设有密封圈，内部形成一个密闭的容纳腔，其中喷淋盘3上设有喷淋孔，在穹顶4上设有进气孔，一组反应气组通过进气孔分散后穿过喷淋盘3与另一组反应气组从喷淋盘3侧进入喷淋盘夹层并从喷淋盘3上第二组孔进入反应腔内后进行混合喷淋盘3用于将反应气体混合均匀；本实施例提供的拆卸装置包括，锁板1、锁块2和顶推件，所述锁板1与穹顶4可拆卸连接；所述锁块2与喷淋盘3可拆卸连接；所述顶推件穿过所述锁板1，下端抵在所述锁块2上，且所述顶推件能够带动所述穹顶4向上移动与所述喷淋盘3分离。
32.本实施例提供的拆卸装置包括锁板1、锁块2和顶推件，在拆卸穹顶4时，先将锁板1与穹顶4相连，再将锁块2连接在喷淋盘3上，然后驱动顶推件带动穹顶4向上移动，由于顶推件下端抵在锁块2上，而锁块2与喷淋盘3相连，因此喷淋盘3不动，进而使穹顶4与喷淋盘3分离，可以比较省力、高效的单独拆卸穹顶4，不会将喷淋盘3拆卸下来，并且拆卸过程中不需要是用橡胶锤，且顶推件也没有抵在喷淋盘3上，因此不会造成穹顶4和喷淋盘3出现拆痕或损坏。
33.根据本发明的一个实施例，如图1和图2所示，所述顶推件包括顶丝6，如图3所示，所述锁板1上设有与所述顶丝6配合的第一螺孔12，所述顶丝6的下端与第一螺孔12旋合伸至所述锁板1的下侧并与所述锁块2相抵；本实施例中，顶推件为顶丝6，在使用时，将顶丝6旋入第一螺孔12，继续旋转顶丝6直至顶丝6与锁块2接触，此时穹顶4和锁板1仍然处于连为一体状态，然后继续旋转顶丝6，此时顶丝6顶在锁块2上，而锁块2设置在盖板5上，顶丝6旋转无法使喷淋盘3向下移动，在反作用力的作用下，顶丝6施加给穹顶4向上移动的力，随着顶丝6的持续旋转破坏穹顶4与喷淋盘3之间的密封，带动穹顶4向上移动，此时可以将穹顶4单独取下，非常的高效便捷，并且拆卸穹顶4时不会将喷淋盘3带出来。
34.根据本发明的一个实施例，如图5和图6所示，所述穹顶4包括圆柱状的本体41，在所述本体41下端边缘形成向外侧延伸的圆环状的连接板42；所述喷淋盘3也为圆盘状，且穹顶4和喷淋盘3同轴设置。
35.如图3所示，所述锁板1上设有第一通孔13，如图6所示，所述连接板42上设有第二螺孔421，螺钉穿过所述第一通孔13与所述第二螺孔421配合，以连接所述锁板1和所述穹顶4；本实施例中，所述锁板1通过螺钉连接的方式与连接板42可拆卸连接，作业人员操作非常便捷，优选的，所述锁板1上设有三个第一通孔13，三个所述第一通孔13在轴向上间隔均匀分布，对应的所述连接板42的周向上均布有三个第二螺孔421，连接时将螺钉穿过第一通孔13与第二螺孔421旋合来固定锁板1和连接板42，也即是将锁板1固定在穹顶4上，通过使用多个螺钉固定来保证锁板1与连接板42固定的牢靠性。
36.当然，在本实施例中，所述锁板1还可以通过其他可拆卸的方式与穹顶4连接，例如卡接等，并且所述第一通孔13也并不一定与所述第二螺孔421一一对应，例如设有三个第一通孔13但是设有四个、五个或者六个第二螺孔421等，且所述第一通孔13的数量也不仅仅限于三个，也可以是两个、四个、五个等，均能够实现本实施例中锁板1与穹顶4可拆卸连接的目的，其宗旨未脱离本发明的设计思想，应属于本发明的保护范围。
37.根据本发明的一个实施例，如图1至图3所示，所述锁板1侧边缘上开设有弧形的凹口11，圆柱状所述本体41卡合于所述凹口11内；本实施例中，锁板1侧边缘设有与本体41形状适配的凹口11，使本体41卡合于凹口11内，在锁板1与穹顶4连接固定后，能够进一步对于
锁板1进行限位，防止锁板1相对于本体41在轴向上出现晃动的情况。其中，如图3所示，本实施例中，所述锁板1呈矩形板状，在矩形板状远离所述凹口11朝向一侧的两个边角均设有倒角。
38.根据本发明的一个实施例，如图1和图2所示，所述锁板1设有两个，两个所述锁板1对称设于所述本体41的两侧；如图1和图2所示，两个所述锁板1之间还留有缝隙，即两个所述锁板1上形成的凹口11均为圆弧形而不是半圆形的，实施例中设置两个锁板1，因此在锁板1与穹顶4相连时，锁板1在整个穹顶4连接板42的周向上均有与锁板1的连接处，因此连接更加牢靠，同时在将穹顶4与喷淋盘3分离时，作业人员可以通过两侧的锁板1将穹顶4抬起或者抱起，对于穹顶4的搬运更加方便，同时本实施例提供的拆卸装置，不仅仅可以用于拆卸穹顶4，也可用于穹顶4安装以及维护环节，可以方便的抬起搬运。
39.根据本发明的一个实施例，如图1至图3所示，所述锁板1上设有握持孔14，所述在分离或者搬运穹顶4时，作业人员可以通过握持孔14握住锁板1，方便于作业人员对穹顶4进行搬运，其中本实施例中，所述握持孔14可以为长条形孔、椭圆形孔或者弧形孔等。
40.根据本发明的一个实施例，如图1、图2、图5和图7所示，所述喷淋盘3的侧壁上设有卡孔31，所述锁块2与所述卡孔31卡接配合；本实施例中，所述锁块2通过卡接的方式固定在喷淋盘3上，因此对于锁块2拆卸或者安装更加便捷，当然，本实施例中，所述锁块2也可以通过其他的方式与喷淋盘3相连，例如通过螺钉连接的方式；并且本实施例中也可以是在喷淋盘3的外侧壁上向外凸出形成卡柱，而在锁块2上开设有卡槽，通过将锁块2的卡槽卡在卡柱上实现锁块2与喷淋盘3的连接固定，其同样能够实现本发明的设计思想，应属于本发明的保护范围。
41.根据本发明的一个实施例，如图4所示，所述锁块2包括第一块体21和第二块体22，所述第一块体21的上端与所述第二块体22的一端垂直连接，所述第二块体22的另一端卡合于所述卡孔31内；本实施例中，所述第一块体21和第二块体22连接成l型，第一块体21的下端抵在盖板5上，上端与第二块体22的一端垂直连接，第二块体22的另一端插入所述卡孔31内，实现锁块2与喷淋盘3之间的连接；由于锁块2的第二块体22的下端抵在盖板5上，因此在顶丝6抵在锁块2上，并旋拧顶丝6时，能够给锁块2足够的支撑，进而能够提供给穹顶4稳定的反作用力将穹顶4与喷淋盘3分离；优选的，本实施例中，所述第一块体21和所述第二块体22为一体成型结构，当然，本实施例中，所述第一块体21与第二块体22也可以是分体式结构，例如所述第一块体21和第二块体22通过焊接铆接等方式进行连接，其同样能够实现本发明的目的。
42.根据本发明的一个实施例，所述锁块2设有四个，所述喷淋盘3呈圆盘状，所述喷淋盘3侧壁上均匀分布有四个所述卡孔31；也即是四个所述卡孔31的之间的圆心角为90
°
，通过在四个方位均设置卡孔31，然后对应设置四个锁块2，对应通过四个顶丝6来使穹顶4和喷淋盘3各个方向均有一个顶丝6在作业，提供顶推力，能够保证穹顶4各个方位均能够与喷淋盘3分离。
43.下面来具体说明本发明提供的拆卸装置拆卸穹顶4的工作过程。
44.首先，将一个锁板1的户型凹口11扣合在穹顶4的本体41的侧壁上，并使凹口11的内壁与穹顶4本体41的外壁面贴合，依次将三颗螺钉穿过锁板1上的第一通孔13并旋入连接板42的第二螺孔421内；再将另一个锁板1的凹口11扣合在穹顶4的本体41另一侧的侧壁上，
并使凹口11的内壁与穹顶4本体41的外壁面贴合，再依次将三颗螺钉穿过锁板1上的第一通孔13并旋入连接板42的第二螺孔421内，实现两个锁板1与穹顶4的固定。
45.其次，将锁块2的第一块体21的下端抵在喷淋盘3下端的盖板5上，上端的第二块体22插入喷淋盘3上开设的卡孔31内；重复上述步骤依次将四个锁块2连接固定。
46.最后，将顶丝6从锁板1上的第一螺孔12旋入，由于锁板1上设置第一螺孔12的位置距离圆心的半径大于喷淋盘3的半径，而喷淋盘3的半径等于连接板42的半径，而锁块2是设置在喷淋盘3外侧壁上，顶丝6从上侧旋入第一螺孔12时，可以对准锁块2的位置；旋转顶丝6，顶丝6下端与锁块2相抵，然后继续旋转顶丝6，直至穹顶4与喷淋盘3之间出现缝隙，穹顶4和喷淋盘3之间的密封状态解除，此时可以两个人手持锁板1上的握持孔14将穹顶4搬离喷淋盘3，完成穹顶4的拆卸。
47.在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
48.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连通”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连通，也可以通过中间媒介间接连通，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。此外，在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
49.以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。