一种晶圆定位夹具的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆生产领域，特别涉及一种晶圆定位夹具。


背景技术：

2.晶圆广泛被应用在半导体集成电路中使用，被称为硅晶圆片，形状为圆形和异形，异形中如弓形得到较多应用；其中在针对硅晶圆片的贴膜或覆电路过程中，广泛需要应用到找圆夹具，即晶圆定位夹具。
3.目前的晶圆定位夹具结构复杂，需要进行改进，设计一种简易的夹具结构。


技术实现要素：

4.针对背景技术中提到的问题，本实用新型的目的是提供一种晶圆定位夹具，以解决背景技术中提到的问题。
5.本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
6.一种晶圆定位夹具，包括支撑座，所述支撑座的顶部焊接固定有水平板，所述水平板的底部固定有固定板，所述固定板的一侧开设有凹槽，所述凹槽内滑动连接有滑块，所述固定板内转动连接有丝杠，所述丝杠与所述滑块之间螺纹连接，所述固定板端侧固定有带动所述丝杠转动的第一伺服电机，所述滑块上固定有连接板，所述连接板上安装有第二伺服电机，所述第二伺服电机的电机轴端部连接有转动轴，所述转动轴的顶部固定有承托柱，所述承托柱内开设有避让槽，所述承托柱的顶部固定有吸盘，所述避让槽内设置有与所述吸盘连接的伺服气泵，所述水平板的上方设置有限位柱，所述水平板的一侧设置有固定有外伸板，所述外伸板上固定有光纤定位检测传感器，所述光纤定位检测传感器连接有控制系统。
7.通过采用上述技术方案，本晶圆定位夹具可实现对晶圆的找圆，能够方便找取圆心，当应用本夹具时，可依靠光纤定位检测传感器与控制系统检测晶圆的圆心是否偏离，当偏离时可通过第一伺服电机带动丝杠转动，带动滑块在固定板中的凹槽内滑动，从而调整距离限位柱的位置，利用限位柱将晶圆拨动，并可利用连接板上的第二伺服电机带动转动轴与吸盘调整位置，从而针对异形晶圆进行方位调整，方便利用限位柱来调整圆心并找取圆心，伺服气泵能够对吸盘上的晶圆是否吸附固定进行控制。
8.较佳的，所述控制系统包括plc控制器，所述光纤定位检测传感器与所述plc控制器的控制输入脚电性连接，所述第一伺服电机、第二伺服电机、伺服气泵分别与所述plc控制器的控制输出脚电性连接。
9.通过采用上述技术方案，利用plc控制器能够实现智能控制，当光纤定位检测传感器检测到圆心是否偏离，可在plc控制器的输入脚端产生高低电平变化，从而促使plc控制器控制第一伺服电机、第二伺服电机和伺服气泵产生动作。
10.较佳的，所述plc控制器的控制输入脚电性连接有显示器与报警器。
11.通过采用上述技术方案，利用显示器和报警器能够对晶圆圆心的找取过程进行监
测。
12.较佳的，所述第二伺服电机的电机轴与所述转动轴之间通过法兰连接固定。
13.通过采用上述技术方案，通过利用法兰能够方便第二伺服电机的电机轴与转动轴的连接。
14.较佳的，所述伺服气泵与所述吸盘之间通过气管连接，所述气管上设置有电磁阀。
15.通过采用上述技术方案，利用气管上的电磁阀能够方便进行气控。
16.较佳的，所述限位柱的外部固定有一层软垫层。
17.通过采用上述技术方案，限位柱外部的软垫层能够防止限位柱对晶圆造成损伤。
18.较佳的，所述限位柱转动连接在安装板内，所述安装板通过螺栓固定在所述水平板上方，所述安装板内开设有若干个螺纹孔。
19.通过采用上述技术方案，利用安装板和螺栓能够方便对限位柱的安装位置进行调整。
20.较佳的，所述支撑座与所述水平板之间焊接固定有若干个加强肋板。
21.通过采用上述技术方案，加强肋板能够增大支撑座与水平板之间的结构强度。
22.综上所述，本实用新型主要具有以下有益效果：
23.本晶圆定位夹具可实现对晶圆的找圆，能够方便找取圆心，当应用本夹具时，可依靠光纤定位检测传感器与控制系统检测晶圆的圆心是否偏离，当偏离时可通过第一伺服电机带动丝杠转动，带动滑块在固定板中的凹槽内滑动，从而调整距离限位柱的位置，利用限位柱将晶圆拨动，并可利用连接板上的第二伺服电机带动转动轴与吸盘调整位置，从而针对异形晶圆进行方位调整，方便利用限位柱来调整圆心并找取圆心，伺服气泵能够对吸盘上的晶圆是否吸附固定进行控制。
附图说明
24.图1是本实用新型的结构示意图之一；
25.图2是本实用新型的结构示意图之二；
26.图3是本实用新型的结构剖视图。
27.图中：1、支撑座；2、水平板；3、固定板；4、凹槽；5、滑块；6、丝杠；7、第一伺服电机；8、连接板；9、第二伺服电机；10、转动轴；11、承托柱；12、避让槽；13、吸盘；14、伺服气泵；15、限位柱；16、外伸板；17、光纤定位检测传感器；18、气管；19、软垫层；20、安装板；21、螺栓；22、螺纹孔；23、加强肋板。
具体实施方式
28.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
29.参考图1至图3，一种晶圆定位夹具，包括支撑座1，支撑座1的顶部焊接固定有水平板2，水平板2的底部固定有固定板3，固定板3的一侧开设有凹槽4，凹槽4内滑动连接有滑块5，固定板3内转动连接有丝杠6，丝杠6与滑块5之间螺纹连接，固定板3端侧固定有带动丝杠
6转动的第一伺服电机7，滑块5上固定有连接板8，连接板8上安装有第二伺服电机9，第二伺服电机9的电机轴端部连接有转动轴10，转动轴10的顶部固定有承托柱11，承托柱11内开设有避让槽12，承托柱11的顶部固定有吸盘13，避让槽12内设置有与吸盘13连接的伺服气泵14，水平板2的上方设置有限位柱15，水平板2的一侧设置有固定有外伸板16，外伸板16上固定有光纤定位检测传感器17，光纤定位检测传感器17连接有控制系统。
30.参考图1至图3，本晶圆定位夹具可实现对晶圆的找圆，能够方便找取圆心，当应用本夹具时，可依靠光纤定位检测传感器17与控制系统检测晶圆的圆心是否偏离，当偏离时可通过第一伺服电机7带动丝杠6转动，带动滑块5在固定板3中的凹槽4内滑动，从而调整距离限位柱15的位置，利用限位柱15将晶圆拨动，并可利用连接板8上的第二伺服电机9带动转动轴10与吸盘13调整位置，从而针对异形晶圆进行方位调整，方便利用限位柱15来调整圆心并找取圆心，伺服气泵14能够对吸盘13上的晶圆是否吸附固定进行控制。
31.参考图1至图3，其中控制系统包括plc控制器，光纤定位检测传感器17与plc控制器的控制输入脚电性连接，第一伺服电机7、第二伺服电机9、伺服气泵14分别与plc控制器的控制输出脚电性连接，利用plc控制器能够实现智能控制，当光纤定位检测传感器17检测到圆心是否偏离，可在plc控制器的输入脚端产生高低电平变化，从而促使plc控制器控制第一伺服电机7、第二伺服电机9和伺服气泵14产生动作；其中plc控制器的控制输入脚电性连接有显示器与报警器，利用显示器和报警器能够对晶圆圆心的找取过程进行监测。
32.参考图1至图3，其中第二伺服电机9的电机轴与转动轴10之间通过法兰连接固定，通过利用法兰能够方便第二伺服电机9的电机轴与转动轴10的连接；其中伺服气泵14与吸盘13之间通过气管18连接，气管18上设置有电磁阀，利用气管18上的电磁阀能够方便进行气控；其中在限位柱15的外部固定有一层软垫层19，限位柱15外部的软垫层19能够防止限位柱15对晶圆造成损伤。
33.参考图1至图3，其中限位柱15转动连接在安装板20内，安装板20通过螺栓21固定在水平板2上方，安装板20内开设有若干个螺纹孔22，利用安装板20和螺栓21能够方便对限位柱15的安装位置进行调整；其中支撑座1与水平板2之间焊接固定有若干个加强肋板23，加强肋板23能够增大支撑座1与水平板2之间的结构强度。
34.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。