技术特征：
1.一种真空腔室中机械手的安装装置，其特征在于，包括：真空腔室，其顶端设置有第一开口，底端设置有第二开口；机械手，位于所述真空腔室内部，包括安装板；辅助组件，包括至少两个液压油缸，所述液压油缸竖直安装在所述安装板的底部，所述液压油缸连接至同一个控制油路，所述控制油路能够驱动所述液压油缸同步升降；其中，所述安装板的面积大于所述第二开口的面积。2.根据权利要求1所述的一种真空腔室中机械手的安装装置，其特征在于，还包括龙门吊，位于所述真空腔室的上方，连接所述安装板的顶部。3.根据权利要求2所述的一种真空腔室中机械手的安装装置，其特征在于，所述龙门吊穿过第一开口连接所述安装板的顶端，且能够带动所述安装板进行升降。4.根据权利要求2所述的一种真空腔室中机械手的安装装置，其特征在于，所述龙门吊通过三角吊具连接所述安装板的顶端。5.根据权利要求1所述的一种真空腔室中机械手的安装装置，其特征在于，所述第二开口和安装板均为圆形结构，所述液压油缸均匀分布在圆形的安装板底部。6.根据权利要求4所述的一种真空腔室中机械手的安装装置，其特征在于，所述液压油缸为三个，相邻的液压油缸之间间隔120
°
。7.根据权利要求1所述的一种真空腔室中机械手的安装装置，其特征在于，所述安装板和第二开口之间设置有o型密封圈。8.根据权利要求1所述的一种真空腔室中机械手的安装装置，其特征在于，所述机械手包括工作组件和固定组件，所述工作组件位于所述安装板上方，所述固定组件位于所述安装板下方。9.根据权利要求1所述的一种真空腔室中机械手的安装装置，其特征在于，还包括用于密封第一开口的密封盖板。
技术总结
本申请公开了一种真空腔室中机械手的安装装置，包括：真空腔室，其顶端设置有第一开口，底端设置有第二开口；机械手，位于所述真空腔室内部，包括安装板；辅助组件，包括至少两个液压油缸，所述液压油缸竖直安装在所述安装板的底部，所述液压油缸连接至同一个控制油路，所述控制油路能够驱动所述液压油缸同步升降；其中，所述安装板的面积大于所述第二开口的面积。本实用新型提供的一种真空腔室中机械手的安装装置，能够精准控制机械手中安装板的下降高度，确保安装板与腔室底部始终平行，提高了真空腔室中机械手的安装效率，避免真空腔室底部在安装过程中被损坏。部在安装过程中被损坏。部在安装过程中被损坏。
技术研发人员：刘锐 冯琳 高飞翔 田君一
受保护的技术使用者：上海广川科技有限公司
技术研发日：2022.01.28
技术公布日：2023/2/2