一种辅助装卸工具的制作方法

1.本实用新型涉及半导体制造设备，特别是涉及一种辅助装卸工具。


背景技术：

2.气相沉积设备是半导体制程中必不可少的设备，由于其工艺需要，气相沉积是发生在与大气存在一定气压差异的密闭腔室中的，各种封闭阀门装置控制密封门的开合，并进一步控制密闭腔室是否与外界大气连通。
3.在气相沉积的工艺制程中会有多余的膜层物质沉淀在防护罩等结构上，这些防护罩需要定期清洗保养，机台本身的各种机械结构也需要定期保养维护。在保养维护过程中，需要拆装各种封闭阀门以及封闭阀门的停止机构，所述停止机构用于限制阀门的移动范围。
4.譬如，冷泵封闭阀门，用于控制冷泵是否与密闭腔室连通，其配套设置有一个冷泵封闭阀门的停止机构，所述停止机构位于密闭腔室的侧壁，冷泵封闭阀门在关闭时的移动路径为l形路径，冷泵封闭阀门首先在侧向电机的带动下进行侧向移动，在碰触到所述停止机构后停止侧向移动，然后在升降电机的带动下开始进行向上的移动，碰触到上方的密闭腔室后完成关合。
5.所述停止机构的安装在密闭腔室的侧壁，为一片状结构，其本身自带螺孔，在腔室外部有固定螺丝贯穿腔室侧壁并伸入停止机构内的螺孔，将其固定。但是，由于拆装停止机构的腔室侧壁门狭小，约10cm宽，且密闭腔室直径较大(作业人员从侧壁门伸直手臂可能无法碰触到停止机构)，维护人员不易伸入腔体直接将所述停止机构取出，而且，在装卸作业时，也会存在停止机构坠入下方冷泵的风险，如果坠落，会导致冷泵宕机或者冷泵的风叶破损，从而造成不可挽救的损失并且影响工作效率。


技术实现要素：

6.鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种辅助装卸工具，用于解决在装卸所述停止机构时，作用人员不方便作业，且容易造成停止机构坠落，导致设备损坏的问题。
7.为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种辅助装卸工具，用于辅助装卸停止机构，所述辅助装卸工具包括：伸缩杆及取物机构；
8.所述取物机构的底端与所述伸缩杆的顶端连接，顶端设置有置物凹口；
9.其中，所述取物机构中至少所述置物凹口具有磁性。
10.可选地，所述辅助装卸工具还包括：连接机构，连接所述伸缩杆和取物机构。
11.可选地，所述连接机构包括：伸缩杆连接件、取物机构连接件及紧固结构；
12.其中，所述伸缩杆的顶端连接所述伸缩杆连接件，所述取物结构的底端连接所述取物机构连接件，所述伸缩杆连接件与所述取物机构连接件通过紧固结构紧固连接。
13.可选地，所述紧固结构包括第一关节板、第二关机板及紧固件；其中，
14.第一关节板设置有第一凹槽和第二凹槽；第二关节板设置有第三凹槽和第四凹槽，所述第一凹槽和第三凹槽卡箍所述伸缩杆连接件，第二凹槽和第四凹槽卡箍所述取物机构连接件；所述第一关节板与第二关节板通过紧固件紧固连接。
15.可选地，所述紧固件包括螺钉和螺母，所述第一关节板设置有第一螺孔，所述第二关节板设置有第二螺孔，所述螺钉贯穿所述第一螺孔和第二螺孔，并与所述螺母螺纹连接。
16.可选地，所述置物凹口的底部内嵌设置有磁铁或者所述取物机构的材料为磁性材料。
17.可选地，所述置物凹口的开口形状为矩形，所述置物凹口的深度介于20mm～30mm之间可选地，所述伸缩杆的最大长度大于800mm。
18.如上所述，本实用新型的辅助装卸工具，通过设置具有磁性的置物凹口来吸附所述停止机构，避免停止机构坠落入冷泵，造成设备损坏，并且通过伸缩杆的设计增加了取物范围，使得作业人员的装卸更加方便。
附图说明
19.图1显示为本实用新型所述的辅助装卸工具的结构示意图。
20.图2显示为图1所述的辅助装卸工具沿aa’方向的剖面图。
21.图3显示为本实用新型所述的底端连接有取物结构连接件的取物结构示意图。
22.图4显示为本实用新型所述的第一关节板的结构示意图。
23.图5显示为本实用新型所述的第二关节板的结构示意图。
24.元件标号说明
25.10
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辅助装卸工具
26.100
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伸缩杆
27.110
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第一圆管
28.120
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第二圆管
29.130
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第三圆管
30.200
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取物结构
31.210
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置物凹口
32.220
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磁体
33.300
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连接机构
34.310
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伸缩杆连接件
35.320
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取物结构连接件
36.330
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紧固结构
37.331
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第一关节板
38.332
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第二关节板
39.333
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紧固件
具体实施方式
40.以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外
不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。
41.请参阅图1至图5。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。
42.为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在
……
之上”、“在
……
上方”、“在
……
上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在
……
上方”可以包括“在
……
上方”和“在
……
下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90度或处于其他方位)，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。
43.如图1至图5所示，本实施例提供一种辅助装卸工具10，用于辅助装卸停止机构，所述辅助装卸工具10包括：伸缩杆100及取物机构200。
44.所述伸缩杆100包括至少两根管体，管体为中空结构，每根管体的外径不同，相邻的两根管体中，外径小的管体可以内套设置在外径大的管体内；每根管体的顶端设置有具有弹性的限位凸点(图中未示出)，每根管体的外壁设置有引导所述管体上下伸缩移动的限位凹槽，通过所述限位凸点对所述管体的移动位置进行限位固定，避免滑动。
45.作为示例，伸缩杆100具有3根管体，且管体为圆管，位于伸缩杆100底端的为第一圆管110，位于中间的为第二圆管120，位于顶端的为第三圆管130，其中第一圆管110的内径与第二圆管120的外径相同，第二圆管120的内径与第三圆管130的外径相同，第二圆管120的底端内套设置在第一圆管110内，第三圆管130的底端内套设置在第二圆管120内。
46.具体的，所述伸缩杆100的最大长度大于800mm，也即，将所述伸缩杆伸至最长时，其长度应大于800mm。
47.作为示例，如图2所示，伸缩杆100完全伸长后的长度为880mm，所述第一圆管110的外径为38mm，内径为36mm，长300mm；第二圆管120的外径为36mm，内径为34mm，长300mm；第三圆管130的外径为34mm，内径为32mm，长300mm。在实际应用中，伸缩杆100的长度可依据实际作业需求调整，其能够加大作业人员的作业范围，使作业人员的手臂不需伸入腔室内即可作业，避免了因误操作开关，侧壁门夹伤手臂的风险。
48.所述取物机构200的底端与所述伸缩杆100的顶端连接，顶端设置有置物凹口210；其中，所述取物机构200中至少所述置物凹口210具有磁性。
49.本实施例中，所述取物结构200的顶端设置有一个置物凹口210，具有磁性的置物凹口210能够依靠磁性吸附停止机构于凹口内，实现停止机构拆卸、安装的同时，还避免停
止机构坠落在腔室内，造成冷泵损坏。
50.具体的，所述置物凹口210的底部内嵌设置有磁铁220，此时，仅所述置物凹口210具有磁性；或者，所述取物机构200的材料为磁性材料，此时，整个所述取物机构200都具有磁性，其中，取物机构200选用的磁性材料可以包括但不限于：铝镍钴系合金、铁铬钴系合金、永磁铁氧体、稀土永磁材料或复合永磁材料。
51.更具体的，所述置物凹口210的开口形状为矩形，所述置物凹口210的深度介于20mm～30mm之间。
52.作为示例，所述取物结构200长120mm，宽50mm，厚35mm，其中，置物凹口210深30mm，长80mm，宽46mm；并且，置物凹口210的底部内镶嵌有一块厚2mm，长80mm，宽46mm的磁铁。
53.所述辅助装卸工具10还包括：连接机构300，用于连接所述伸缩杆100和取物机构200。
54.本实施例中，所述连接机构300用于将所述伸缩杆100和所述取物机构200连接，其连接方式可以包括但不限于焊接、铰接等。
55.具体的，所述连接机构300包括：伸缩杆连接件310、取物机构连接件320及紧固结构330；其中，所述伸缩杆100的顶端连接所述伸缩杆连接件310，所述取物结构200的底端连接所述取物机构连接件320，所述伸缩杆连接件310与所述取物机构连接件320通过紧固结构330紧固连接。
56.本实施例中，所述伸缩杆连接件310与所述伸缩杆100为一体式结构，所述取物机构连接件320与所述取物机构200为一体式结构，且所述伸缩杆连接件310与所述取物机构连接件320通过紧固结构330紧固连接。
57.更具体的，所述紧固结构330包括第一关节板331、第二关节板332及紧固件333；其中，第一关节板331设置有第一凹槽和第二凹槽；第二关节板332设置有第三凹槽和第四凹槽，所述第一凹槽和第三凹槽卡箍所述伸缩杆连接件310，第二凹槽和第四凹槽卡箍所述取物机构连接件320；所述第一关节板331与第二关节板332通过紧固件333紧固连接。
58.本实施例中，所述连接机构300不仅可以连接固定所述伸缩杆100和所述取物机构200，而且可以为两者提供转动功能，使得两者的中心轴线能够形成一定夹角，方便操作人员将所述置物凹口210对准停止机构；而为了实现转动功能，可使所述伸缩杆连接件310与所述取物机构连接件320为球体。
59.如图4所示，第一关节板331是一个长宽远大于其厚度的长方体，在其面积最大的其中一个面(第一面)轴对称设置有两个凹槽，分别为第一凹槽和第二凹槽，两个凹槽的尺寸及深度完全相同。第二关节板332与第一关节板331为互为镜像的结构，尺寸相同，其第一面上分布的两个凹槽分别为第三凹槽和第四凹槽。两个关节板331及332利用凹槽将两个球体卡箍限位，并使用紧固件333将两个关节板连接，并最终桥接了伸缩杆100和取物结构200，并且，当紧固结构330调松时，球体可以在紧固结构330内转动，调整伸缩杆100和取物机构200的夹角。需要说明的是，在实际应用中，所述球体的外壁和所述凹槽的内壁还应设置有网状格纹以增加球体和凹槽间的摩擦力。
60.作为示例，两个球体的直径相同，都为46mm，第一关节板331及第二关节板332的长度为100mm，宽度为60mm，厚度为5mm。所述第一凹槽和第二凹槽为球形凹槽，曲率半径为23mm，槽深3mm。
61.更具体的，所述紧固件333包括螺钉和螺母，所述第一关节板331设置有第一螺孔，所述第二关节板332设置有第二螺孔，所述螺钉贯穿所述第一螺孔和第二螺孔，并与所述螺母螺纹连接。
62.本实施例中，螺钉贯穿所述第一螺孔和第二螺孔，通过螺母的旋紧程度调节施加到两块关节板的紧固力。作为示例，所述第一螺孔及第二螺孔的孔径为6mm，螺钉180的长度大于等于70mm，螺纹直径为6mm，螺母内径6mm，通过调整螺母的旋紧程度调节施加到第一关节板331及第二关节板间332的紧固力，使得伸缩杆100与取物结构200间的夹角能够依据需要进行调整。
63.下面，请参阅图1-图5，对本实施例所述辅助装卸工具拆卸和安装停止机构的具体方法进行说明。
64.其中，使用辅助装卸工具10拆卸停止机构的具体方法包括如下流程：
65.s1)，将所述停止机构的固定螺丝拧松。
66.s2)，将所述辅助装卸工具10伸入设备的腔室内，将取物结构200的置物凹口210包覆所述停止机构。
67.s3)，在设备腔室外将所述停止机构的固定螺丝完全拆卸，并按压所述停止机构使其掉入置物凹口210并由置物凹口210内的磁体220吸附。
68.s4)，将所述辅助装卸工具10取出，完成拆卸。
69.其中，使用辅助装卸工具安装停止机构的使用方法包括如下流程：
70.k1)，使用辅助装卸工具10内的磁体220吸附所述停止机构至置物凹口210内；
71.k2)，将所述辅助装卸工具10伸入设备腔室内，使得置物凹口210对准停止机构的安装位置；
72.k3)，在设备腔室外，将停止机构的螺丝旋入停止机构的螺孔内。
73.k4)，取出辅助装卸工具10，在设备腔室外，将停止机构的螺丝完全紧固，完成安装。
74.综上所述，本实用新型提供的辅助装卸工具通过设置具有磁性的置物凹口来吸附停止机构，避免停止机构坠落入冷泵，造成设备损坏，并且通过伸缩杆的设计增加了取物范围，使得作业人员的装卸更加方便。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
75.上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。