一种热分离芯片开盖辅助装置的制作方法

1.本实用新型涉及芯片热分离技术领域，具体而言，涉及一种热分离芯片开盖辅助装置。


背景技术：

2.现有的热分离技术为将芯片置于加热台上，加热至500-700度的高温，以机械手臂所控制的镊子夹住上盖，芯片底部则以手持镊子固定在加热台台面，固定好后再控制机械手臂将样品上盖向上提起达到热分离的目的。
3.固定芯片底部的镊子由于还是以人手握取，因而会有晃动的影响，且因为位置很接近加热台表面，因此手部会受到高温影响而造成操作不稳定。


技术实现要素：

4.针对现有技术中芯片热分离时芯片底部采用人手握取镊子固定，存在晃动、人手容易受到高温影响而操作不稳定的问题，本实用新型提供了一种热分离芯片开盖辅助装置，包括工作台、设置在所述工作台表面的加热板、用于夹持芯片下部并将芯片转移至加热板表面或从加热板表面转移出的镊子夹持组件、用于将所述镊子夹持组件安装在所述工作台上的基座，所述加热板和所述基座之间设置有将加热板和所述基座隔绝的绝热区。
5.采用镊子夹持组件将芯片夹持并在工作台上将芯片转移至加热板表面或从加热板表面转移出，相比于人手控制镊子，可以提高芯片夹取操作的稳定性；同时人手在加热板以外的区域控制镊子夹持组件，利用绝热区将加热板产生的热量与加热板以外的区域进行隔绝，避免了手部会受到高温影响，改善了作业环境。
6.优选地，所述镊子夹持组件包括两个平行设置的镊子杆和旋转轴，两个所述镊子杆一端通过旋转轴安装在所述基座上，所述旋转轴中心轴水平设置且其旋转至镊子杆远离基座一端靠近或接触到工作台表面的两种情形中，一种情形镊子杆远离基座一端位于加热板上表面，另一种情形镊子杆远离基座一端位于工作台上表面上所述基座远离所述加热板一侧。
7.这里，通过旋转轴的旋转来实现芯片在加热板表面与工作台上加热板以外区域之间的转移，结构简单，操作方便。
8.优选地，所述基座上形成有转轴安装孔，两个所述镊子杆一端形成有镊子安装孔，所述旋转轴穿过所述转轴安装孔和两个所述镊子杆的镊子安装孔将两个所述镊子杆安装在所述基座上。
9.优选地，所述转轴安装孔为竖直设置的长条形安装孔。将转轴安装孔设置为长条形安装孔，在夹持芯片底部时，通过控制旋转轴在长条形安装孔上上下移动，保持镊子杆处于水平状态，使镊子杆端部将芯片底部夹持住。
10.优选地，所述旋转轴两端分别安装有用于对两个所述镊子杆的镊子安装孔在所述旋转轴上位置进行固定的旋钮和螺母。在夹持芯片底部时，利用螺母顶抵住其中一个所述
镊子杆的镊子安装孔一侧，通过旋钮旋转顶抵住另一个所述镊子杆的镊子安装孔的另一侧，以调节两个所述镊子杆之间的距离，从而实现镊子杆对芯片底部的夹紧。
11.优选地，两个所述镊子杆上的镊子安装孔固定安装所述旋转轴上；两个所述镊子杆上还安装有用于使所述镊子杆远离基座一端夹紧的夹紧旋钮。这里将镊子杆的旋转与夹紧两个功能分开，旋转轴通过镊子安装孔将镊子杆可旋转地安装在基座上，而夹紧旋钮通过旋转来实现镊子杆对芯片底部的夹紧。
12.优选地，所述夹紧旋钮包括旋钮手柄和旋钮杆，所述旋钮手柄固定设置在所述旋钮杆一端，所述旋钮杆圆周表面形成有外螺纹，两个所述镊子杆上与所述旋钮杆对应位置处形成有镊子控制孔，所述镊子控制孔内形成有与所述外螺纹相配合的内螺纹，一个所述镊子杆上的所述镊子控制孔位于所述旋钮杆上外螺纹的端部位置。夹紧时，旋转旋钮手柄，一个所述镊子杆上的所述镊子控制孔一直处于所述旋钮杆上外螺纹的端部位置，而另一个所述镊子控制孔在外螺纹长度方向运动，从而实现镊子杆的夹紧。
13.优选地，所述旋转轴上设置有雷射光源，所述雷射光源发射方向与所述镊子杆长度方向相同，所述工作台上所述基座远离所述加热板设置有侦测器；且旋转轴旋转至镊子杆远离基座一端位于工作台上表面上所述基座远离所述加热板一侧时，所述镊子杆远离基座一端位于所述基座与所述侦测器中间位置。在夹紧芯片底部时，需要通过旋转旋转轴或调整旋转轴在长条形安装孔上的位置，此时旋转轴上的雷射光源会发射雷射光束，如果中间没有遮挡，侦测器就会接收到该雷射光束，如未接收到雷射光束，即表面中间有遮挡，进一步表面中间有芯片，即镊子杆已经处于夹持位置，可以进行夹持操作。
14.优选地，所述绝热区为隔热泡棉，采用隔热泡棉以隔离加热板产生的热量。
15.有益效果：
16.采用本实用新型技术方案产生的有益效果如下：
17.(1)采用镊子夹持组件将芯片夹持并在工作台上将芯片转移至加热板表面或从加热板表面转移出，相比于人手控制镊子，可以提高芯片夹取操作的稳定性；同时人手在加热板以外的区域控制镊子夹持组件，利用绝热区将加热板产生的热量与加热板以外的区域进行隔绝，避免了手部会受到高温影响，改善了作业环境。
18.(2)通过旋转轴的旋转来实现芯片在加热板表面与工作台上加热板以外区域之间的转移，结构简单，操作方便。
19.(3)夹紧时，旋转旋钮手柄，一个所述镊子杆上的所述镊子控制孔一直处于所述旋钮杆上外螺纹的端部位置，而另一个所述镊子控制孔在外螺纹长度方向运动，从而实现镊子杆的夹紧。
附图说明
20.为了更清楚地说明本实用新型实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
21.图1是本实用新型实施例一中开盖辅助装置侧视图示意图一；
22.图2是本实用新型实施例一中开盖辅助装置侧视图示意图二；
23.图3是本实用新型实施例一中开盖辅助装置侧视图示意图三；
24.图4是本实用新型实施例一中开盖辅助装置侧视图示意图四；
25.图5是本实用新型实施例一中开盖辅助装置俯视图示意图；
26.图6是本实用新型实施例二中开盖辅助装置俯视图示意图；
27.图7是本实用新型实施例二中开盖辅助装置侧视图示意图；
28.图8是本本实用新型实施例二中开盖辅助装置夹紧旋钮结构示意图。
具体实施方式
29.为使本实用新型实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。
30.本实施方式采用镊子夹持组件将芯片夹持并在工作台上将芯片转移至加热板表面或从加热板表面转移出，相比于人手控制镊子，可以提高芯片夹取操作的稳定性；同时人手在加热板以外的区域控制镊子夹持组件，利用绝热区将加热板产生的热量与加热板以外的区域进行隔绝，避免了手部会受到高温影响，改善了作业环境。
31.实施例一：
32.如图1-5所示，热分离芯片开盖辅助装置包括工作台1、设置在所述工作台1表面的加热板2、用于夹持芯片100下部并将芯片100转移至加热板2表面或从加热板2表面转移出的镊子夹持组件3、用于将所述镊子夹持组件3安装在所述工作台1上的基座4，所述加热板2和所述基座4之间设置有将加热板2和所述基座4隔绝的绝热区5，绝热区5为隔热泡棉，采用隔热泡棉以隔离加热板产生的热量。
33.采用镊子夹持组件将芯片夹持并在工作台上将芯片转移至加热板表面或从加热板表面转移出，相比于人手控制镊子，可以提高芯片夹取操作的稳定性；同时人手在加热板以外的区域控制镊子夹持组件，利用绝热区将加热板产生的热量与加热板以外的区域进行隔绝，避免了手部会受到高温影响，改善了作业环境。
34.镊子夹持组件3包括两个平行设置的镊子杆31和旋转轴32，两个所述镊子杆31一端通过旋转轴32安装在所述基座4上，所述旋转轴32中心轴水平设置且其旋转至镊子杆31远离基座4一端靠近或接触到工作台1表面的两种情形中，如图1和2所示，一种情形镊子杆31远离基座4一端位于加热板2上表面，另一种情形镊子杆31远离基座4一端位于工作台1上表面上所述基座4远离所述加热板2一侧。
35.这里，通过旋转轴的旋转来实现芯片在加热板表面与工作台上加热板以外区域之间的转移，结构简单，操作方便。
36.基座4上形成有转轴安装孔41，两个所述镊子杆31一端形成有镊子安装孔(图中未示出)，所述旋转轴32穿过所述转轴安装孔41和两个所述镊子杆31的镊子安装孔将两个所
述镊子杆31安装在所述基座4上。
37.如图3和4所示，转轴安装孔41为竖直设置的长条形安装孔。将转轴安装孔设置为长条形安装孔41，在夹持芯片底部时，通过控制旋转轴32在长条形安装孔41上上下移动，保持镊子杆31处于水平状态，使镊子杆31端部将芯片100底部夹持住。
38.如图5所示，旋转轴32两端分别安装有用于对两个所述镊子杆31的镊子安装孔在所述旋转轴32上位置进行固定的旋钮33和螺母34。在夹持芯片底部时，利用螺母34顶抵住其中一个所述镊子杆31的镊子安装孔一侧，通过旋钮33旋转顶抵住另一个所述镊子杆31的镊子安装孔的另一侧，以调节两个所述镊子杆31之间的距离，从而实现镊子杆31对芯片100底部的夹紧。
39.旋转轴32上设置有雷射光源35，所述雷射光源35发射方向与所述镊子杆31长度方向相同，所述工作台1上所述基座4远离所述加热板2设置有侦测器36；且旋转轴32旋转至镊子杆31远离基座4一端位于工作台1上表面上所述基座4远离所述加热板2一侧时，所述镊子杆31远离基座4一端位于所述基座4与所述侦测器36中间位置。在夹紧芯片底部时，需要通过旋转旋转轴或调整旋转轴在长条形安装孔上的位置，此时旋转轴上的雷射光源会发射雷射光束，如果中间没有遮挡，侦测器就会接收到该雷射光束，如未接收到雷射光束，即表面中间有遮挡，进一步表面中间有芯片，即镊子杆已经处于夹持位置，可以进行夹持操作。
40.实施例二：
41.如图6-8所示，热分离芯片开盖辅助装置包括工作台1、设置在所述工作台1表面的加热板2、用于夹持芯片100下部并将芯片100转移至加热板2表面或从加热板2表面转移出的镊子夹持组件3、用于将所述镊子夹持组件3安装在所述工作台1上的基座4，所述加热板2和所述基座4之间设置有将加热板2和所述基座4隔绝的绝热区5，绝热区5为隔热泡棉，采用隔热泡棉以隔离加热板产生的热量。
42.镊子夹持组件3包括两个平行设置的镊子杆31和旋转轴32，两个所述镊子杆31一端通过旋转轴32安装在所述基座4上，所述旋转轴32中心轴水平设置且其旋转至镊子杆31远离基座4一端靠近或接触到工作台1表面的两种情形中，如图1和2所示，一种情形镊子杆31远离基座4一端位于加热板2上表面，另一种情形镊子杆31远离基座4一端位于工作台1上表面上所述基座4远离所述加热板2一侧。
43.这里，通过旋转轴的旋转来实现芯片在加热板表面与工作台上加热板以外区域之间的转移，结构简单，操作方便。
44.基座4上形成有转轴安装孔41，两个所述镊子杆31一端形成有镊子安装孔(图中未示出)，所述旋转轴32穿过所述转轴安装孔41和两个所述镊子杆31的镊子安装孔将两个所述镊子杆31安装在所述基座4上。
45.两个所述镊子杆31上的镊子安装孔固定安装所述旋转轴32上；两个所述镊子杆31上还安装有用于使所述镊子杆31远离基座4一端夹紧的夹紧旋钮6。这里将镊子杆的旋转与夹紧两个功能分开，旋转轴通过镊子安装孔将镊子杆可旋转地安装在基座上，而夹紧旋钮通过旋转来实现镊子杆对芯片底部的夹紧。
46.夹紧旋钮6包括旋钮手柄61和旋钮杆62，所述旋钮手柄61固定设置在所述旋钮杆62一端，所述旋钮杆62圆周表面形成有外螺纹63，两个所述镊子杆31上与所述旋钮杆62对应位置处形成有镊子控制孔(图中未示出)，所述镊子控制孔内形成有与所述外螺纹63相配
合的内螺纹，一个所述镊子杆31上的所述镊子控制孔位于所述旋钮杆62上外螺纹63的端部位置，所述旋钮杆62和两个所述镊子杆31连接处套设有夹紧盖体64。夹紧时，旋转旋钮手柄，一个所述镊子杆上的所述镊子控制孔一直处于所述旋钮杆上外螺纹的端部位置，而另一个所述镊子控制孔在外螺纹长度方向运动，从而实现镊子杆的夹紧。
47.旋转轴32上设置有雷射光源35，所述雷射光源35发射方向与所述镊子杆31长度方向相同，所述工作台1上所述基座4远离所述加热板2设置有侦测器36；且旋转轴32旋转至镊子杆31远离基座4一端位于工作台1上表面上所述基座4远离所述加热板2一侧时，所述镊子杆31远离基座4一端位于所述基座4与所述侦测器36中间位置。在夹紧芯片底部时，需要通过旋转旋转轴或调整旋转轴在长条形安装孔上的位置，此时旋转轴上的雷射光源会发射雷射光束，如果中间没有遮挡，侦测器就会接收到该雷射光束，如未接收到雷射光束，即表面中间有遮挡，进一步表面中间有芯片，即镊子杆已经处于夹持位置，可以进行夹持操作。
48.以上所述仅为本实用新型的优选实施方式而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。