旋转导入器和机器人的制作方法

本发明涉及旋转导入器和机器人。

背景技术：

1、在液晶显示器、有机el显示器等fpd(flat panel display，平板显示器)的制造或半导体装置的制造中，在真空腔室等的真空内，使基板等向制造装置的处理部移动来进行处理。此时，公知有从配置于真空腔室的外部的旋转驱动源向真空腔室内导入旋转驱动力的旋转导入器(例如参照专利文献1)。

2、在这种旋转导入器中，为了维持真空腔室内的真空，要求维持真空腔室的分隔壁的两侧的密封性，并且要求将旋转驱动力从真空腔室的外部向内部传递。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：日本特开平02-186151号公报

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、例如，对于在传送腔室内使基板旋转并输送该基板的输送机器人等，要求包含输送机器人的制造装置整体的小型化。特别是在fpd的制造等中，期望减少制造装置的总高度，将容纳制造装置的建筑物的高度维持为较低的状态。因此，要求制造装置在上下方向即旋转轴线方向上的小尺寸化。同时也要求制造装置的径向上的尺寸的小型化。

3、本发明的目的在于，提供一种能够小型化的旋转导入器和机器人。

4、用于解决问题的方案

5、(1)本发明的一技术方案涉及一种旋转导入器，其中，该旋转导入器具备：分隔壁，其将空间分隔为第1空间和第2空间；旋转构件，其以贯穿所述分隔壁的方式配置，传递旋转驱动力；旋转输入部，其配置于所述第1空间，向所述旋转构件输入驱动力；以及旋转限制部，其配置于所述第2空间，限制所述旋转构件的旋转。所述旋转限制部限制所述旋转构件的以旋转轴线为中心的预定旋转角度以上的旋转。

6、根据上述的结构，例如能够利用贯穿分隔壁(密封分隔壁)的旋转构件传递旋转驱动力，该分隔壁将空间分隔为真空侧(第2空间)和大气侧(第1空间)。特别是，即使在丧失了驱动力的情况下，也能够利用旋转限制部进行限制，以防止旋转构件旋转设定范围以上(预定旋转角度以上)。并且，旋转限制部配置在相对于密封分隔壁而言与驱动侧(旋转输入部)相反的一侧即真空侧(第2空间)。因此，能够减小旋转导入器在沿着旋转轴线的方向上的长度即装置整体的高度。

7、(2)在上述(1)所述的旋转导入器中，也可以是，所述旋转限制部具备：限制部，其设于所述旋转构件，与所述旋转构件一起以所述旋转轴线为中心进行旋转；以及固定部，其相对于所述分隔壁固定，所述限制部能够从围绕所述旋转轴线的周向与该固定部抵接。

8、(3)在上述(1)所述的旋转导入器中，也可以是，在从沿着所述旋转轴线的方向观察时，所述旋转构件的旋转直径小于所述旋转输入部的外径。

9、(4)在上述(1)所述的旋转导入器中，也可以是，所述旋转限制部具备：限制部，其设于所述旋转构件，与所述旋转构件一起以所述旋转轴线为中心进行旋转；以及固定部，其相对于所述分隔壁固定，所述限制部能够从围绕所述旋转轴线的周向与该固定部抵接。所述限制部具有第1限制面。所述固定部具有第2限制面，在限制所述旋转构件的旋转时，该第2限制面从所述周向与所述第1限制面相接触。

10、(5)在上述(4)所述的旋转导入器中，也可以是，所述第1限制面和所述第2限制面中的一限制面设为朝向另一限制面鼓出的凸圆面。也可以是，所述另一限制面设为与所述凸圆面对应的凹圆面。

11、(6)根据上述(5)所述的旋转导入器，也可以是，将所述限制部和所述固定部中的、具有设为所述凹圆面的所述另一限制面的构件定义为第1构件，将具有设为所述凸圆面的所述一限制面的构件定义为第2构件，所述第1构件的周向宽度大于所述第2构件的周向宽度。

12、(7)在上述(1)所述的旋转导入器中，也可以是，所述旋转限制部具备：限制部，其设于所述旋转构件，与所述旋转构件一起以所述旋转轴线为中心进行旋转；以及固定部，其相对于所述分隔壁固定，所述限制部能够从围绕所述旋转轴线的周向与该固定部抵接。所述限制部和所述固定部由实施有热处理的调质材料形成。

13、(8)在上述(1)所述的旋转导入器中，也可以是，所述旋转限制部具备：限制部，其设于所述旋转构件，与所述旋转构件一起以所述旋转轴线为中心进行旋转；以及固定部，其相对于所述分隔壁固定，所述限制部能够从围绕所述旋转轴线的周向与该固定部抵接。所述限制部以能够相对于所述旋转构件分离的方式安装于该旋转构件。

14、(9)在上述(1)所述的旋转导入器中，也可以是，在所述分隔壁设有密封机构，该密封机构用于经由所述旋转构件与所述分隔壁之间将所述空间分隔为所述第1空间和所述第2空间。

15、(10)在上述(9)所述的旋转导入器中，也可以是，所述密封机构在沿着所述旋转轴线的方向上配置于所述旋转限制部与所述旋转输入部之间。

16、(11)本发明的另一技术方案涉及一种旋转导入器，其中，该旋转导入器具备：分隔壁，其将空间分隔为第1空间和第2空间；旋转构件，其以贯穿所述分隔壁的方式配置，传递旋转驱动力；旋转输入部，其配置于所述第1空间，向所述旋转构件输入驱动力；以及旋转限制部，其配置于所述第2空间，限制所述旋转构件的旋转。所述旋转限制部限制所述旋转构件的以旋转轴线为中心的预定旋转角度以上的旋转。所述旋转输入部为变速器。

17、根据上述的结构，例如能够利用贯穿分隔壁(密封分隔壁)的旋转构件来传递经由了变速器的旋转驱动力，该分隔壁将空间分隔为真空侧(第2空间)和大气侧(第1空间)。特别是，即使在丧失了驱动力的情况下，也能够利用旋转限制部进行限制，以防止旋转构件旋转设定范围以上(预定旋转角度以上)。并且，旋转限制部配置在相对于密封分隔壁而言与驱动侧(旋转输入部)相反的一侧即真空侧(第2空间)。因此，能够减小旋转导入器在沿着旋转轴线的方向上的长度即装置整体的高度。

18、(12)本发明的另一技术方案涉及一种旋转导入器，其中，该旋转导入器具备：分隔壁，其将空间分隔为第1空间和第2空间；旋转构件，其以贯穿所述分隔壁的方式配置，传递旋转驱动力；旋转输入部，其配置于所述第1空间，向所述旋转构件输入驱动力；以及旋转限制部，其配置于所述第2空间，限制所述旋转构件的旋转。所述旋转限制部限制所述旋转构件的以旋转轴线为中心的预定旋转角度以上的旋转。所述旋转输入部具备：壳体；内齿齿轮，其设于所述壳体内，具有内齿；摆动齿轮，其具有与所述内齿啮合的外齿，进行摆动旋转；曲轴，其具有将所述摆动齿轮支承为旋转自如的偏心部，并且向所述摆动齿轮传递驱动源的旋转力；以及齿轮架，其被传递所述摆动齿轮的旋转力，将所述旋转力作为所述驱动力向所述旋转构件输出。

19、根据上述的结构，例如能够利用贯穿分隔壁(密封分隔壁)的旋转构件来传递经由了摆动变速器的旋转驱动力，该分隔壁将空间分隔为真空侧(第2空间)和大气侧(第1空间)。特别是，即使在丧失了驱动力的情况下，也能够利用旋转限制部进行限制，以防止旋转构件旋转设定范围以上(预定旋转角度以上)。并且，旋转限制部配置在相对于密封分隔壁而言与驱动侧(旋转输入部)相反的一侧即真空侧(第2空间)。因此，能够减小旋转导入器在沿着旋转轴线的方向上的长度即装置整体的高度。

20、(13)本发明的另一技术方案涉及一种机器人，其中，该机器人具备：分隔壁，其将空间分隔为维持为大气压的第1空间和维持为真空状态的第2空间；旋转构件，其以贯穿所述分隔壁的方式配置，传递旋转驱动力；旋转输入部，其配置于所述第1空间，向所述旋转构件输入驱动力；以及旋转限制部，其配置于所述第2空间，限制所述旋转构件的旋转。所述旋转限制部限制所述旋转构件的以旋转轴线为中心的预定旋转角度以上的旋转。所述旋转输入部配置于所述第1空间，并且将产生旋转力的驱动源的旋转力作为所述驱动力向所述旋转构件输出。所述旋转构件在所述第2空间传递旋转驱动力。

21、根据上述的结构，例如能够利用贯穿分隔壁(密封分隔壁)的旋转构件来传递旋转驱动力，该分隔壁将空间分隔为真空侧(第2空间)和大气侧(第1空间)。特别是，即使在丧失了驱动力的情况下，也能够利用旋转限制部进行限制，以防止旋转构件旋转设定范围以上(预定旋转角度以上)。并且，旋转限制部配置在相对于密封分隔壁而言与驱动侧(旋转输入部)相反的一侧即真空侧(第2空间)。因此，能够减小机器人在沿着旋转轴线的方向上的长度即机器人整体的高度。

22、(14)在上述(13)所述的机器人中，也可以是，所述第2空间为真空处理装置中的传送腔室内的真空空间。

23、发明的效果

24、根据本发明，能够使旋转导入器小型化。