一种设备进度控制方法及装置与流程

本发明涉及一种设备进度控制方法和装置，更具体地说，涉及一种能够通过设备的虚拟模拟操作在各种环境中根据最优进度(优化进度，optimal schedule)来操作设备的设备进度控制方法和设备。

背景技术：

1、一般来说，在现有的半导体设备中，机械手可以通过检查晶圆的到达和晶圆可能移动的路径来传送晶圆。

2、在这种情况下，因为传送逻辑使用初始为安装设置的固定逻辑，所以当作业环境改变或硬件环境(例如机械手)改变时，操作员需要停止设备，逐个手动计算适当性，并且在必要时，设计新逻辑并将该新逻辑重新应用于设备来替代已经使用的固定逻辑。

技术实现思路

1、本发明提供了一种设备进度控制方法和装置，该设备进度控制方法和装置能够基于通过设备的实时监控来构建虚拟模拟模型(virtual simulation model)、并使用虚拟模拟模型重复重构操作顺序而获得的模拟结果，根据最优操作顺序来控制设备。然而，以上描述仅为实施例，并且本发明的范围不限于此。

2、根据本发明的一个方面，提供了一种使用计算机系统的设备进度控制方法，该计算机系统包括通过网络连接到至少一个设备终端和至少一个操作员终端的服务器计算机，其中，该服务器计算机包括：参数信息输入程序，该参数信息输入程序用于从设备终端或操作员终端接收与设备的操作有关的参数信息；初级模拟模型生成程序，该初级模拟模型生成程序用于通过使用参数信息来生成反映当前设备的操作的初级模拟模型信息；次级模拟模型重构程序，该次级模拟模型重构程序用于通过使用初级模拟模型信息来重构虚拟可操作的次级模拟模型信息；模拟结果比较程序，该模拟结果比较程序用于计算和比较初级模拟模型信息的初级进度结果信息和次级模拟模型信息的次级进度结果信息；最优设备控制程序，该最优设备控制程序用于在次级进度结果信息优于初级进度结果信息时，将最优设备控制信息发送至设备终端或操作员终端、以控制设备遵循次级模拟模型信息；参数信息数据库，该参数信息数据库用于存储参数信息；初级模拟模型信息数据库，该初级模拟模型信息数据库用于存储初级模拟模型信息；次级模拟模型信息数据库，该次级模拟模型信息数据库用于存储次级模拟模型信息；初级进度结果信息数据库，该初级进度结果信息数据库用于存储初级进度结果信息；次级进度结果信息数据库，该次级进度结果信息数据库用于存储次级进度结果信息；以及最优设备控制信息数据库，该最优设备控制信息数据库用于存储最优设备控制信息，其中，设备进度控制方法包括：(a)通过参数信息输入程序，从设备终端或操作员终端接收与设备的操作相关的参数信息；(b)通过初级模拟模型生成程序，通过使用该参数信息生成反映当前设备的操作的初级模拟模型信息；(c)通过次级模拟模型重构程序，通过使用初级模拟模型信息重构虚拟可操作的次级模拟模型信息，(d)通过模拟结果比较程序，计算并比较初级模拟模型信息的初级进度结果信息和次级模拟模型信息的次级进度结果信息，以及(e)通过最优设备控制程序，当次级进度结果信息优于初级进度结果信息时，将最优设备控制信息发送给设备终端或操作员终端，以控制设备遵循次级模拟模型信息。

3、设备可以包括半导体设备，该半导体设备包括选自以下中的至少一者：设备前端模块、装载器模块、卸载器模块、索引模块、装载锁定模块、传送模块、工艺模块、装载器机械手、卸载器机械手、传送机械手、闸式阀及它们的组合。

4、参数信息可以包括以下的至少一者：模块信息、机械手信息、工艺信息、操作信息、动作限定信息、操作可执行性信息、基板位置信息、硬件操作时间信息、作业操作时间信息、更新信息、改变信息、基板信息、当前进度信息、环境信息、感测信息、操作员输入信息、操作员命令信息、当前动作信息、晶圆位置信息、生产率信息及它们的组合。

5、初级模拟模型信息可以包括以下表示设备的当前操作顺序的至少一者：装载锁定模块供应信息、装载锁定模块返回信息、传送模块供应信息、传送模块返回信息、工艺模块供应信息、工艺模块返回信息及它们的组合。

6、次级模拟模型信息可以包括以下表示可用虚拟操作顺序的至少一者：装载锁定模块供应预测信息、装载锁定模块返回预测信息、传送模块供应预测信息、传送模块返回预测信息、工艺模块供应预测信息、工艺模块返回预测信息及它们的组合。

7、初级进度结果信息可以包括以下的至少一者：当前设备的基板加工时间、当前设备的基板加工量、当前设备的基板产量、当前设备的生产率、当前设备的生产效率及它们的组合。

8、次级进度结果信息可以包括以下的至少一者：重构设备的基板加工时间、重构设备的基板加工量、重构设备的基板产量、重构设备的生产率、重构设备的生产效率及它们的组合。

9、最优设备控制信息可以包括以下代表控制设备遵循次级模拟模型信息的最优操作顺序的至少一者：装载锁定模块供应命令信息、装载锁定模块返回命令信息、传送模块供应命令信息、传送模块返回命令信息、工艺模块供应命令信息、工艺模块返回命令信息及它们的组合。

10、次级模拟模型重构程序可以包括：操作顺序限定程序，该操作顺序限定程序用于限定初级模拟模型信息的操作顺序；以及操作顺序改变程序，该操作顺序改变程序用于重新改变初级模拟模型信息的操作顺序，并且步骤(c)可以包括：(c-1)通过操作顺序限定程序来限定初级模拟模型信息的操作顺序；以及(c-2)通过操作顺序改变程序来重新改变初级模拟模型信息的操作顺序。

11、次级模拟模型重构程序还可以包括可操作性验证程序，该可操作性验证程序用于根据重新改变的操作顺序通过模拟次级模拟模型信息来验证可操作性，并且步骤(c)还可以包括：(c-3)通过可操作性验证程序、根据重新改变的操作顺序通过模拟次级模拟模型信息来验证可操作性。

12、次级模拟模型重构程序还可以包括次级模拟模型确定程序，该次级模拟模型确定程序用于最终确定经验证的次级模拟模型信息，并且步骤(c)还可以包括：(c-4)通过次级模拟模型确定程序最终确定经验证的次级模拟模型信息。

13、服务器计算机还可以包括：参数更新程序，该参数更新程序用于从设备终端或操作员终端接收设备的实时参数更新信息，以实时监控设备；以及实时参数更新信息数据库，该实时参数更新信息数据库用于存储实时参数更新信息，设备进度控制方法还可以包括：在步骤(b)之前，(f)通过参数更新程序从设备终端或操作员终端接收设备的实时参数更新信息，以实时监控设备。

14、服务器计算机还可以包括：初级模拟模型验证程序，该初级模拟模型验证程序用于验证由设备终端或单独感测器件(separate sensing device)测量的当前设备操作信息是否与初级模拟模型信息相匹配；以及设备操作信息数据库，该设备操作信息数据库用于存储设备操作信息，并且该设备进度控制方法还可以包括：在步骤(c)之前，(g)通过初级模拟模型验证程序验证设备终端或单独感测器件测量的当前设备操作信息是否与初级模拟模型信息相匹配。

15、服务器计算机还可以包括模拟程序(simulation program)，该模拟程序用于虚拟模拟初级模拟模型信息或虚拟模拟次级模拟模型信息，并且该设备进度控制方法还可以包括：在步骤(d)之前，(h)通过模拟程序虚拟模拟初级模拟模型信息或虚拟模拟次级模拟模型信息。

16、服务器计算机还可以包括模拟加速程序，该模拟加速程序用于加速模拟以实现时间同步，并且该设备进度控制方法还可以包括：在步骤(h)之后，(i)通过模拟加速程序来加速模拟以实现时间同步。

17、根据本发明的另一方面，提供了一种设备进度控制装置，该设备进度控制装置包括：参数信息输入器，该参数信息输入器用于接收与设备操作有关的参数信息；初级模拟模型生成器，该初级模拟模型生成器用于通过使用参数信息生成反映当前设备的操作的初级模拟模型信息；次级模拟模型重构器，该次级模拟模型重构器用于通过使用初级模拟模型信息来重构虚拟可操作的次级模拟模型信息；模拟结果比较器，该模拟结果比较器用于计算和比较初级模拟模型信息的初级进度结果信息和次级模拟模型信息的次级进度结果信息，以及最优设备控制器，该最优设备控制器用于当次级进度结果信息优于初级进度结果信息时、将最优设备控制信息应用于设备以控制设备遵循次级模拟模型信息。

18、该设备可以包括半导体设备，该半导体设备包括选自以下的至少一者：设备前端模块、装载器模块、卸载器模块、索引模块、装载锁定模块、传送模块、工艺模块、装载器机械手、卸载器机械手、传送机械手、闸式阀及它们的组合。

19、次级模拟模型重构器可以包括：操作顺序限定器，该操作顺序限定器用于限定初级模拟模型信息的操作顺序；操作顺序改变器，该操作顺序改变器用于重新改变初级模拟模型信息的操作顺序；可操作性验证器，该可操作性验证器用于根据重新改变的操作顺序、通过模拟次级模拟模型信息来验证可操作性；以及次级模拟模型确定器，该次级模拟模型确定器用于最终确定经验证的次级模拟模型信息。

20、该设备进度控制装置还可以包括：参数更新器，该参数更新器用于从设备终端或操作员终端接收设备的实时参数更新信息以实时监控设备；模拟器，该模拟器用于虚拟模拟初级模拟模型信息或虚拟模拟次级模拟模型信息；以及模拟加速器，该模拟加速器用于加速模拟以实现时间同步。

21、根据本发明的另一方面，提供了一种使用计算机系统的设备进度控制方法，该计算机系统包括通过网络连接至至少一个设备终端和至少一个操作员终端的服务器计算机，其中该服务器计算机包括：参数信息输入程序，该参数信息输入程序用于从设备终端或操作员终端接收与设备的操作有关的参数信息；初级模拟模型生成程序，该初级模拟模型生成程序用于通过使用参数信息来生成反映当前设备的操作的初级模拟模型信息；次级模拟模型重构程序，该次级模拟模型重构程序用于通过使用初级模拟模型信息来重构虚拟可操作的次级模拟建模信息；模拟结果比较程序，该模拟结果比较程序用于计算并比较初级模拟模型信息的初级进度结果信息和次级模拟模型信息的次级进度结果信息；最优设备控制程序，该最优设备控制程序用于当次级进度结果信息优于初级进度结果信息时、将最优设备控制信息发送到设备终端或操作员终端发送以控制设备遵循次级模拟模型信息；参数信息数据库，该参数信息数据库用于存储参数信息；初级模拟模型信息数据库，该初级模拟模型信息数据库用于存储初级模拟模型信息；次级模拟模型信息数据库，该次级模拟模型信息数据库存储次级模拟模型信息；初级进度结果信息数据库，该初级进度结果信息数据库用于存储初级进度结果信息；次级进度结果信息数据库，该次级进度结果信息数据库用于存储次级进度结果信息；以及，最优设备控制信息数据库，该最优设备控制信息数据库用于存储最优设备控制信息，其中，设备进度控制方法包括：(a)通过参数信息输入程序，从设备终端或操作员终端接收与设备的操作有关的参数信息，(b)通过初级模拟模型生成程序，通过使用参数信息来生成反映当前设备的操作的初级模拟模型信息，(c)通过次级模拟模型重构程序，通过使用初级模拟模型信息来重构虚拟可操作的次级模拟模型信息，(d)通过模拟结果比较程序，计算并比较初级模拟模型信息的初级进度结果信息和次级模拟模型信息的次级进度结果信息，以及(e)通过最优设备控制程序，当次级进度结果信息优于初级进度结果信息时，将最优设备控制信息发送至设备终端或操作员终端、以控制设备遵循次级模拟模型信息，其中该设备包括半导体设备，该半导体设备包括选自以下中的至少一者：设备前端模块、装载器模块、卸载器模块、索引模块、装载锁定模块、传送模块、工艺模块、装载器机械手、卸载器机械手、传送机械手、闸式阀及它们的组合，其中，参数信息包括以下的至少一者：模块信息、机械手信息、工艺信息、操作信息、动作限定信息、操作可执行性信息、基板位置信息、硬件操作时间信息、作业操作时间信息、更新信息、改变信息、基板信息、当前进度信息、环境信息、感测信息、操作员输入信息、操作员命令信息、当前动作信息、晶圆位置信息、生产率信息及它们的组合，其中初级模拟模型信息包括以下表示设备的当前操作顺序的至少一者：装载锁定模块供应信息、装载锁定模块返回信息、传送模块供应信息、传送模块返回信息、工艺模块供应信息和工艺模块返回信息及它们的组合，其中次级模拟模型信息包括以下表示可用的虚拟操作顺序的至少一者：装载锁定模块供应预测信息、装载锁定模块返回预测信息、传送模块供应预测信息、传送模块返回预测信号、工艺模块供应预测信号、工艺模块返回预测信息及它们的组合，其中初级进度结果信息包括以下的至少一者：当前设备的基板加工时间、当前装备的基板加工量、当前设备的基板产量、当前设备的生产率、当前设备的生产效率及它们的组合，其中，次级进度结果信息包括以下的至少一者：重构设备的基板加工时间、重构设备的基板加工量、重构设备的基板产量、重构设备的生产率、重构设备的生产效率及它们的组合，并且其中最优设备控制信息包括以下表示控制设备遵循次级模拟模型信息的最优操作顺序的至少一者：装载锁定模块供应命令信息、装载锁定模块返回命令信息、传送模块供应命令信息、传送模块返回命令信息，工艺模块供应命令消息、工艺模块返回命令消息及它们的组合。

22、根据本发明的另一方面，提供了一种使用计算机系统的设备进度控制系统，该计算机系统包括通过网络连接至至少一个设备终端和至少一个操作员终端的服务器计算机，其中，该服务器计算机包括：参数信息输入程序，该参数信息输入程序用于从设备终端或操作员终端接收与设备的操作有关的参数信息；初级模拟模型生成程序，该初级模拟模型生成程序用于通过使用参数信息来生成反映当前设备的操作的初级模拟模型信息；次级模拟模型重构程序，该次级模拟模型重构程序用于通过使用初级模拟模型信息来重构虚拟可操作的次级模拟模型信息；模拟结果比较程序，该模拟结果比较程序用于计算并比较初级模拟模型信息的初级进度结果信息和次级模拟模型信息的次级进度结果信息；最优设备控制程序，该最优设备控制程序用于在次级进度结果信息优于初级进度结果信息时，将最优设备控制信息发送至设备终端或操作员终端、以控制设备遵循次级模拟模型信息；参数信息数据库，该参数信息数据库用于存储参数信息；初级模拟模型信息数据库，该初级模拟模型信息数据库用于存储初级模拟模型信息；次级模拟模型信息数据库，该次级模拟模型信息数据库用于存储次级模拟模型信息；初级进度结果信息数据库，该初级进度结果信息数据库用于存储初级进度结果信息；次级进度结果信息数据库，该次级进度结果信息数据库用于存储次级进度结果信息；最优设备控制信息数据库，该最优设备控制信息数据库用于存储最优设备控制信息；以及控制器，该控制器被程序化为：通过参数信息输入程序从设备终端或操作员终端接收与设备的操作有关的参数信息；通过初级模拟模型生成程序，利用参数信息生成反映当前设备的操作的初级模拟模型信息；通过次级模拟模型重构程序，利用初级模拟模型信息重构虚拟可操作的次级模拟模型信息；通过模拟结果比较程序，计算并比较初级模拟模型信息的初级进度结果信息和次级模拟模型信息的次级进度结果信息；通过最优设备控制程序，当次级进度结果信息优于初级进度结果信息时，将最优设备控制信息发送至设备终端或操作员终端，以控制设备遵循次级模拟模型信息。

23、根据本发明的另一方面，提供了一种计算机可读记录介质，在该计算机可读记录介质记录有使用计算机系统的设备进度控制方法，该计算机系统包括通过网络连接至至少一个设备终端和至少一个操作员终端的服务器计算机，其中，该服务器计算机包括：参数信息输入程序，该参数信息输入程序用于从设备终端或操作员终端接收与设备操作相关的参数信息；初级模拟模型生成程序，该初级模拟模型生成程序用于通过使用参数信息生成反映当前设备的操作的初级模拟模型信息；次级模拟模型重构程序，该次级模拟模型重构程序用于通过使用初级模拟模型信息重构虚拟可操作的次级模拟模型信息；模拟结果比较程序，该模拟结果比较程序用于计算并比较初级模拟模型信息的初级进度结果信息和次级模拟模型信息的次级进度结果信息；最优设备控制程序，该最优设备控制程序用于在次级进度结果信息优于初级进度结果信息时、将最优设备控制信息发送至设备终端或操作员终端、以控制设备遵循次级模拟模型信息；参数信息数据库，该参数信息数据库用于存储参数信息；初级模拟模型信息数据库，该初级模拟模型信息数据库用于存储初级模拟模型信息；次级模拟模型信息数据库，该次级模拟模型信息数据库用于存储次级模拟模型信息；初级进度结果信息数据库，该初级进度结果信息数据库用于存储初级进度结果信息；次级进度结果信息数据库，该次级进度结果信息数据库用于存储次级进度结果信息；以及最优设备控制信息数据库，该最优设备控制信息数据库用于存储最优设备控制信息，其中，该设备进度控制方法包括：(a)通过参数信息输入程序，从设备终端或操作员终端接收与设备的操作相关的参数信息；(b)通过初级模拟模型生成程序，利用该参数信息生成反映当前设备的操作的初级模拟模型信息；(c)通过次级模拟模型重构程序，使用初级模拟模型信息重构虚拟可操作的次级模拟模型信息；(d)通过模拟结果比较程序，计算并比较初级模拟模型信息的初级进度结果信息和次级模拟模型信息的次级进度结果信息；以及(e)通过最优设备控制程序，当次级进度结果信息优于初级进度结果信息时，将最优设备控制信息发送至设备终端或操作员终端，以控制设备遵循次级模拟模型信息。