抛光台辅助装配治具及抛光台装配方法与流程

本发明涉及半导体装置制造领域，尤其涉及抛光台辅助装配治具及抛光台装配方法。

背景技术：

1、化学机械抛光（cmp）设备主要用途为在晶圆加工过程中对晶圆表面进行抛光研磨。对晶圆进行抛光的作业时，需要将晶圆转移至抛光台上进行抛光研磨。

2、抛光台包括上抛光盘与下抛光盘，两者均为圆形板状结构，两者平行且贴合设置，且两者为可拆卸连接。上抛光盘上安装抛光垫，晶圆在抛光垫上进行抛光。在上抛光盘出现问题时，需要将上抛光盘拆下检修后重新进行装配在进行抛光盘装配过程中通常需要依靠工人使用双手托住并直接将上抛光盘安装到下抛光盘上，而并无任何的辅助治具。上抛光盘与下抛光盘之间具有一定的安装位，安装准确度要求较高，由于上抛光盘与下抛光盘是面-面相对贴合安装的，故将上抛光盘边对准边下落安装过程中，上抛光盘可能会瞬间下落，造成一定的人身伤害或者设备损坏。

3、如图1所示，抛光台200包括上抛光盘210与下抛光盘220，两者均为圆形板状结构，为了便于两者面-面对准装配，上抛光盘210包括至少一个第一定位槽211，下抛光盘220包括至少一个第一定位件221，当上抛光盘210与下抛光盘220贴合且任一第一定位件221插入对应的第一定位槽211内时，两者对准装配。通常的，下抛光盘220包括两个第一定位件221，且为了加以区别，两个第一定位件221的直径不等，相应的，对应的两个第一定位槽211的直径也不等，且肉眼可分辨，以便作业人员在上抛光盘210上方即可根据两个第一定位槽211的直径的差别对上抛光盘210的装配方向进行预判断。采用两个第一定位件221与两个第一定位槽211配合更有利于快速、精准装配，且能有效确保装配后上抛光盘210与下抛光盘220在水平方向上的相对稳定性。

4、因此，需要寻找一种抛光台辅助装配治具，以实现上抛光盘与下抛光盘的精准、便捷装配。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供抛光台辅助装配治具及抛光台装配方法，其能有效提高上抛光盘与下抛光盘装配时的准确性及安全性。

2、为实现上述发明目的，本发明提出如下技术方案：

3、第一方面，提供抛光台辅助装配治具，所述抛光台包括上抛光盘与下抛光盘，所述上抛光盘包括至少一个第一定位槽，所述下抛光盘包括至少一个第一定位件，所述抛光台辅助装配治具包括第一环形件、第二环形件、至少一组第一定位组件及至少一组第二定位组件，所述第一环形件可拆卸环设于所述上抛光盘周向，任一所述第一定位组件与所述第一环形件连接，所述第二环形件可拆卸环设于所述下抛光盘周向，任一所述第二定位组件与所述第二环形件连接；

4、任一所述第一定位组件包括第二定位件，任一所述第二定位组件包括第三定位件，所述第二定位件与对应的所述第三定位件对准连接时，任一所述第一定位件嵌设于对应的所述第一定位槽内以实现所述上抛光盘与所述下抛光盘的装配。

5、在一种较佳的实施方式中，任一所述第一定位组件还包括连接件，所述连接件与所述第一环形件连接，所述第二定位件活动套设在所述连接件上；

6、当所述第二定位件朝向所述上抛光盘圆心方向旋转至第一位置时，所述第二定位件与所述第一定位槽配接；

7、当所述第二定位件远离所述上抛光盘圆心方向旋转至第二位置时，所述第二定位件与所述第三定位件连接。

8、在一种较佳的实施方式中，所述第二定位件包括滑块及第一定位销，所述第一定位销设于所述滑块靠近所述上抛光盘的一侧表面，当所述第二定位件旋转至所述第一位置时，所述第一定位销插设于所述第一定位槽内。

9、在一种较佳的实施方式中，所述第二定位件还包括第二定位销，所述第二定位销设于所述滑块远离所述上抛光盘的一侧表面，所述第三定位件开设有第二定位槽，当所述第二定位件旋转至所述第二位置时，所述第二定位销插设于所述第二定位槽内。

10、在一种较佳的实施方式中，所述第一定位组件还包括扭力弹簧，所述扭力弹簧套设在所述连接件上，所述扭力弹簧一端与所述第一环形件连接，另一端与所述第二定位件连接。

11、在一种较佳的实施方式中，所述第一环形件开设有至少一个开口朝向所述下抛光盘的第三定位槽，至少部分所述连接件设于所述第三定位槽内，所述连接件与所述第三定位槽的槽底连接并沿所述第三定位槽的深度反方向延伸。

12、在一种较佳的实施方式中，所述第二定位件沿所述连接件靠近或远离所述第三定位槽的槽底滑动设置。

13、在一种较佳的实施方式中，任一所述第二定位组件还包括第四定位件，所述第四定位件与所述第三定位件滑动连接以朝向或背离所述第一定位件移动。

14、在一种较佳的实施方式中，所述第四定位件开设有第四定位槽，所述第四定位槽的开口朝向所述第一定位件，当所述第四定位件朝向所述第一定位件移动时，部分所述第一定位件卡设于所述第四定位槽内。

15、在一种较佳的实施方式中，所述抛光台辅助装配治具还包括成对设置的握持结构，任一所述握持结构连接于所述第一环形件远离所述下抛光盘的一侧。

16、第二方面，提供抛光台装配方法，所述抛光台包括上抛光盘与下抛光盘，所述上抛光盘包括至少一个第一定位槽，所述下抛光盘包括至少一个第一定位件，所述抛光台辅助装配治具包括第一环形件、第二环形件、至少一组第一定位组件及至少一组第二定位组件，所述装配方法包括：

17、将所述第一环形件套设在所述上抛光盘的周向并定位，将所述第二环形件套设在所述下抛光盘的周向并定位；

18、将所述上抛光盘沿所述下抛光盘的垂直方向靠近所述下抛光盘，将任一所述第一定位组件所包括的第二定位件与对应的所述第二定位组件所包括的第三定位件对准连接，以使所述第一定位件嵌设于对应的所述第一定位槽中；

19、将所述第一环形件从所述上抛光盘上移除，将所述第二环形件从所述下抛光盘上移除。

20、与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：

21、本发明提供抛光台辅助装配治具及抛光台装配方法，抛光台包括上抛光盘与下抛光盘，上抛光盘包括至少一个第一定位槽，下抛光盘包括至少一个第一定位件，抛光台辅助装配治具包括第一环形件、第二环形件、至少一组第一定位组件及至少一组第二定位组件，第一环形件可拆卸环设于上抛光盘周向，任一第一定位组件与第一环形件连接，第二环形件可拆卸环设于下抛光盘周向，任一第二定位组件与第二环形件连接，任一第一定位组件包括第二定位件，任一第二定位组件包括第三定位件，第二定位件与对应的第三定位件对准连接时，任一第一定位件嵌设于对应的第一定位槽内以实现上抛光盘与下抛光盘的装配；本发明中抛光台辅助装配治具能有效实现上抛光盘与下抛光盘的精准装配，且安装过程安全、可靠、快捷；

22、任一第一定位组件还包括连接件，连接件与第一环形件连接，第二定位件活动套设在连接件上；当第二定位件朝向上抛光盘圆心方向旋转至第一位置时，第二定位件与第一定位槽配接；当第二定位件远离上抛光盘圆心方向旋转至第二位置时，第二定位件与第三定位件连接；本发明中抛光台辅助装配治具通过设置第一定位组件不仅能实现其本身与上抛光盘的预定位安装，还能通过与第二定位组件的配合将上抛光盘精准快捷地安装至下抛光盘上；

23、当然，本发明仅需实现上述至少一种技术效果即可。