工业用机器人的制作方法
【专利说明】工业用机器人
[0001]本发明专利申请是国际申请号为PCT/JP2008/002319，国际申请日为2008年8月27日，进入中国国家阶段的申请号为200880105098.X，名称为“工业用机器人”的发明专利申请的分案申请。
技术领域
[0002]本发明涉及一种搬运规定搬运对象物的工业用机器人。
【背景技术】
[0003]一直以来，从收纳有搬运对象物的收纳部搬出搬运对象物、并朝收纳部搬入搬运对象物的工业用机器人得到了广泛使用。作为这种工业用机器人，已知有从作为收纳部的真空室搬出作为搬运对象物的半导体晶片等基板、并朝真空室搬入基板的基板搬运机器人(例如参照专利文献I和2)。
[0004]专利文献I所记载的基板搬运机器人包括:大致L形的第一臂，其顶点部分能转动地保持于收纳有驱动部的驱动箱；第二臂和第三臂，其一端侧分别能转动地保持于第一臂的两端；以及基板保持部(手)，其能转动地保持于第二臂和第三臂各自的另一端侧。
[0005]上述基板搬运机器人包括用于单独地驱动第一臂?第三臂的三个电动机，在手相对于第二臂转动的转动中心与手相对于第三臂转动的转动中心重叠的状态下，第一臂?第三臂相对于驱动箱回转。因此，上述基板搬运机器人可减小回转直径。另外，上述基板搬运机器人构成为一个手只装载一片基板，在一次搬入动作或搬出动作中只搬运一片基板。
[0006]另外，专利文献2所记载的基板搬运机器人也与专利文献I所记载的基板搬运机器人大致同样地构成。
[0007]专利文献1:日本专利特开平10 - 163296号公报
[0008]专利文献2:日本专利特开平7 - 171778号公报
[0009]发明的公开
[0010]发明所要解决的技术问题
[0011]近年来，为了实现生产率的提高，要求工业用机器人在一次搬入动作或搬出动作中搬运多片基板。然而，专利文献I或2所记载的基板搬运机器人在一次搬入动作或搬出动作中只搬运一片基板。即，在专利文献I或2中未公开能减小回转直径并能在一次搬入动作或搬出动作中搬运多片基板的工业用机器人的具体结构。
[0012]因此，本发明的目的在于提供一种能减小回转直径、并能在一次搬入动作或搬出动作中搬运多个搬运对象物的工业用机器人的具体结构。
[0013]解决技术问题所采用的技术方案
[0014]为了解决上述技术问题，本发明工业用机器人从收纳有搬运对象物的收纳部搬出搬运对象物和朝收纳部搬入搬运对象物，其特征是，包括:装载多个搬运对象物的第一手和第二手、将第一手能转动地保持于一端侧的第一臂和将第二手能转动地保持于一端侧的第二臂、将第一臂的另一端侧和第二臂的另一端侧能转动地保持的共用臂、作为第一臂相对于共用臂转动的转动中心的第一转动中心部和作为第二臂相对于共用臂转动的转动中心的第二转动中心部、以及将共用臂能转动地保持的主体部，在第一臂和第二臂相对于主体部收缩的状态、即第一手和第二手的待机状态下，第一手与第二手重叠配置，并且，在第一手和第二手上形成有用于防止转动时与第一转动中心部和第二转动中心部产生干涉的避让部。
[0015]本发明的工业用机器人包括:第一手，该第一手保持在另一端侧保持于共用臂的第一臂的一端侧；以及第二手，该第二手保持在另一端侧保持于共用臂的第二臂的一端侧，在第一手和第二手的待机状态下，第一手与第二手重叠配置。因此，本发明中，通过设置分别单独驱动共用臂、第一臂和第二臂的驱动源，并在第一手和第二手的待机状态下进行工业用机器人的回转动作，可减小共用臂、第一臂和第二臂等的回转直径(即工业用机器人的回转直径)。
[0016]另外，本发明的工业用机器人包括装载多个搬运对象物的第一手和第二手，在第一手和第二手上形成有用于防止转动时与第一转动中心部和第二转动中心部产生干涉的避让部。因此，即使为了在一次搬入动作或搬出动作中搬运多个搬运对象物而使第一手和第二手大型化时，也能顺利地进行第一手和第二手等的动作。其结果是，本发明中，可在一次搬入动作或搬出动作中搬运多个搬运对象物。
[0017]在本发明中，较为理想的是，共用臂形成为从第一臂或第二臂相对于共用臂转动的转动中心的轴向观察时呈大致三角形，第一转动中心部和第二转动中心部分别配置在共用臂的不同角部的附近。这样构成时，可提高共用臂的刚性，并可在共用臂上平衡地配置第一臂和第二臂。
[0018]在本发明中，较为理想的是，第一手和第二手在待机状态下靠近地相对。这样构成时，可实现工业用机器人的薄型化。
[0019]在本发明中，较为理想的是，第一手和第二手包括:用于逐片装载搬运对象物的第一装载部和第二装载部、以及固定第一装载部的基端侧和第二装载部的基端侧的固定部，第一装载部和第二装载部以在与搬运对象物的搬运方向正交的正交方向上空开规定间隔的状态固定于固定部，在正交方向上的第一装载部和第二装载部的外侧形成有避让部。这样构成时，第一装载部和第二装载部以在正交方向上空开规定间隔的状态固定于固定部，因此，即使在收纳有装载(或要装载)在第一装载部上的搬运对象物的收纳部与收纳有装载(或要装载)在第二装载部上的搬运对象物的收纳部之间存在分隔物时，也能适当地搬出或搬入搬运对象物。
[0020]另外，为了解决上述技术问题，本发明的工业用机器人从收纳有搬运对象物的收纳部搬出搬运对象物和朝收纳部搬入搬运对象物，其特征是，包括:装载多个搬运对象物的第一手和第二手、将第一手能转动地保持于一端侧的第一臂和将第二手能转动地保持于一端侧的第二臂、将第一臂的另一端侧和第二臂的另一端侧能转动地保持的共用臂、作为第一臂相对于共用臂转动的转动中心的第一转动中心部和作为第二臂相对于共用臂转动的转动中心的第二转动中心部、以及将共用臂能转动地保持的主体部，在第一臂和第二臂相对于主体部收缩的状态、即第一手和第二手的待机状态下，第一手和第二手从上侧起依次重叠配置，并且，在第二手上形成有用于防止转动时与第一转动中心部产生干涉的避让部。
[0021]本发明的工业用机器人包括:第一手，该第一手保持在另一端侧保持于共用臂的第一臂的一端侧；以及第二手，该第二手保持在另一端侧保持于共用臂的第二臂的一端侧，在第一手和第二手的待机状态下，第一手与第二手重叠配置。因此，通过设置分别单独驱动共用臂、第一臂和第二臂的驱动源，并在第一手和第二手的待机状态下进行工业用机器人的回转动作，可减小共用臂、第一臂和第二臂等的回转直径。
[0022]另外，本发明的工业用机器人包括装载多个搬运对象物的第一手和第二手，第一手和第二手从上侧起依次重叠。另外，在配置于下侧的第二手上形成有用于防止转动时与第一转动中心部产生干涉的避让部。因此，即使为了在一次搬入动作或搬出动作中搬运多个搬运对象物而使第一手和第二手大型化时，也能顺利地进行第一手和第二手等的动作。其结果是，本发明中，可在一次搬入动作或搬出动作中搬运多个搬运对象物。
[0023]发明效果
[0024]如上所述，本发明所涉及的工业用机器人能减小回转直径，并能在一次搬入动作或搬出动作中搬运多个搬运对象物。
【附图说明】
[0025]图1是表示本发明的实施方式所涉及的工业用机器人的俯视图。
[0026]图2是从图1的E — E方向表示工业用机器人的侧视图。
[0027]图3是从图1的F — F方向表示工业用机器人的侧视图。
[0028]图4是表示装有图1所示的工业用机器人的半导体制造系统的概略结构的俯视图。
[0029]图5是图1所示的共用臂的俯视图。
[0030]图6是用于说明图1所示的工业用机器人的动力传递机构的概略结构的概念图。
[0031]图7是图1所示的第一手的俯视图。
[0032]图8是用于说明图1所示的工业用机器人的概略动作的图，图8(A)表示工业用机器人的返回原点状态，图8(B)表示工业用机器人的第一臂部伸缩动作时的状态。
[0033](符号说明)
[0034]I机器人(工业用机器人)
[0035]2晶片(搬运对象物)
[0036]3 第一手
[0037]4 第二手
[0038]5 第一臂
[0039]6 第二臂
[0040]7共用臂
[0041]7b 角部
[0042]8主体部
[0043]13交接室(收纳部)
[0044]14处理室(收纳部)
[0045]18第一装载部
[0046]19第二装载部
[0047]20固定部
[0048]31第一转动中心部
[0049]41第二转