工业用机器人的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种搬运半导体晶圆等基板的工业用机器人。
【背景技术】
[0002]以往公知一种搬运半导体晶圆等基板的工业用机器人(例如，参照专利文献I)。专利文献I中所记载的工业用机器人例如设置于半导体制造系统中使用。该工业用机器人具有:一个基板装载机构，所述基板装载机构装载多片基板；臂部，所述臂部将基板装载机构的基端侧支承为能够旋转；旋转机构部，所述旋转机构部将臂部的基端侧支承为能够旋转；以及本体部，所述本体部将旋转机构部支承为能够朝向上下方向移动。基板装载机构具有五个手叉，这五个手叉以规定的间距在上下方向上重叠配置。在该工业用机器人中，能够同时在基板装载机构装载五片基板。因此，在该工业用机器人中，能够同时搬运五片基板。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1:日本特开2010-179419号公报
【发明内容】
[0006]发明所要解决的问题
[0007]如上所述，在专利文献I所记载的工业用机器人中，由于可同时搬运五片基板，因此在设置有该工业用机器人的半导体制造系统中能够提高生产性。另一方面，在半导体制造系统中，也有只想搬运一片基板的要求。但是，在专利文献I所记载的工业用机器人中，难以只搬运一片基板。
[0008]并且，在半导体的制造系统中，例如有时要进行基板的清洗，且工业用机器人有时要将清洗前的基板搬进清洗装置或将清洗后的基板从清洗装置中搬出。在此，有可能在装载有清洗前的基板的手叉处附着有附着在清洗前的基板上的灰尘等。因此，如果清洗后的基板被装载到装载过清洗前的基板的手叉处，则有可能装载于手叉的清洗后的基板会被再次污染。因此，优选在有别于装载有清洗前的基板的手叉的其他手叉处装载清洗后的基板。但是，在专利文献I所记载的工业用机器人中，由于一个基板装载机构设有五个手叉，因此难以在有别于装载有清洗前的基板的基板装载机构的其他基板装载机构装载清洗后的基板。
[0009]因此，本发明的课题是提供一种工业用机器人，其能够改变可同时搬运的基板的片数。并且，本发明的课题是提供一种工业用机器人，其即便是能够在有别于装载有规定的处理工序前的基板的手的其他手装载该处理工序后的基板，也能够简化结构。
[0010]用于解决问题的技术方案
[0011]为了解决上述问题，本发明的工业用机器人的特征在于包括:第一手以及第二手，所述第一手以及所述第二手包括具有一个装载一片基板的基板装载部的第一手部和具有以规定的间距在上下方向上重叠配置的多个基板装载部的第二手部；第一臂，第一手的第一手部以及第二手部能够转动地连接到所述第一臂的末端侧；第二臂，第二手的第一手部以及第二手部能够转动地连接到所述第二臂的末端侧；臂支承部，所述臂支承部将第一臂的基端侧以及第二臂的基端侧能够转动地连接；柱部，所述柱部将臂支承部保持为能够朝向上下方向移动；第一手部转动机构，所述第一手部转动机构使第一手的第一手部相对于第一臂转动；第二手部转动机构，所述第二手部转动机构使第一手的第二手部相对于第一臂转动；第三手部转动机构，所述第三手部转动机构使第二手的第一手部相对于第二臂转动；第四手部转动机构，所述第四手部转动机构使第二手的第二手部相对于第二臂转动；第一臂转动机构，所述第一臂转动机构使第一臂相对于臂支承部转动；以及第二臂转动机构，所述第二臂转动机构使第二臂相对于臂支承部转动，第一手的第一手部与第二手部以彼此在上下方向上重叠的方式、且以使第一手的第一手部的转动中心与第一手的第二手部的转动中心一致的方式配置，第二手的第一手部与第二手部以彼此在上下方向上重叠的方式、且以使第二手的第一手部的转动中心与第二手的第二手部的转动中心一致的方式配置，第一臂安装于臂支承部的上表面侧，第二臂安装于臂支承部的下表面侧，第一臂以及第二臂以使第一臂的转动中心与第二臂的转动中心一致的方式配置。
[0012]在本发明的工业用机器人中，第一手包括:第一手部，所述第一手部具有一个基板装载部；以及第二手部，所述第二手部具有多个基板装载部，所述第一手部以及所述第二手部能够转动地连接到第一臂。并且，本发明的工业用机器人包括:第一手部转动机构，所述第一手部转动机构使第一手的第一手部相对于第一臂转动；以及第二手部转动机构，所述第二手部转动机构使第一手的第二手部相对于第一臂转动，第一手的第一手部以及第二手部以彼此在上下方向上重叠配置的方式、且以使第一手的第一手部的转动中心与第一手的第二手部的转动中心一致的方式配置。同样，在本发明中，第二手包括:第一手部，所述第一手部具有一个基板装载部；以及第二手部，所述第二手部具有多个基板装载部，所述第一手部以及第二手部能够转动地连接到第二臂。并且，本发明的工业用机器人包括:第三手部转动机构，所述第三手部转动机构使第二手的第一手部相对于第二臂转动；以及第四手部转动机构，所述第四手部转动机构使第二手的第二手部相对于第二臂转动，第二手的第一手部与第二手部以彼此在上下方向上重叠的方式、且以使第二手的第一手部的转动中心与第二手的第二手部的转动中心一致的方式配置。
[0013]因此，在本发明中，可将第一手部的基板装载部与第二手部的基板装载部重叠配置而能够在第一手部与第二手部的双方装载基板，并且可将第一手部的基板装载部与第二手部的基板装载部错开配置而能够仅在第一手部的基板装载部装载基板或能够仅在第二手部的基板装载部装载基板。因此，在本发明中，能够改变可同时搬运的基板的片数。
[0014]并且，由于本发明的工业用机器人包括:第一手；第二手；第一臂，所述第一臂将第一手能够转动地连接；第二臂，所述第二臂将第二手能够转动地连接；第一臂转动机构，所述第一臂转动机构使第一臂相对于臂支承部转动；以及第二臂转动机构，所述第二臂转动机构使第二臂相对于臂支承部转动，因此能够使第一手和第二手单独动作。因此，在本发明中，例如，可将规定的处理工序之前的基板装载于第一手，将该处理工序之后的基板装载于第二手，其结果是能够在有别于装载过规定的处理工序之前的基板的手的其他手处装载该处理工序之后的基板。并且，在本发明中，由于第一臂以及第二臂被安装于共用的臂支承部，因此与将第一臂的基端侧能够转动地连接的臂支承部和将第二臂的基端侧能够转动地连接的臂支承部被单独设置的情况相比，能够简化工业用机器人的结构。如此，在本发明中，即使可在有别于装载过规定的处理工序之前的基板的手的其他手处装载该处理工序之后的基板，也能够简化工业用机器人的结构。
[0015]在本发明中，优选工业用机器人具有水平移动机构，所述水平移动机构使柱部朝向水平方向移动。如果这样构成，则通过工业用机器人能够在更为宽广的范围内搬运基板。
[0016]在本发明中，例如，构成第一手部转动机构的第一手部驱动马达以及构成第二手部转动机构的第二手部驱动马达配置在第一臂的内部，构成第三手部转动机构的第三手部驱动马达以及构成第四手部转动机构的第四手部驱动马达配置在第二臂的内部。并且，在本发明中，例如，构成第一臂转动机构的第一臂驱动马达以及构成第二臂转动机构的第二臂驱动马达配置在臂支承部的内部。
[0017]在本发明中，优选在第一手的第一手部以及第二手部装载规定的处理工序之前的基板，在第二手的第一手部以及第二手部装载处理工序之后的基板。在本发明中，处理工序例如为清洗基板