丝网印刷装置的制作方法

本发明涉及在基板上印刷糊状钎焊料或导电性膏等膏的丝网印刷装置。

背景技术：
作为在电子零件实装工序中，在基板上印刷糊状钎焊料或导电性膏等膏的方法，广泛采用经由设于掩模板上的图案孔在基板上转印膏的丝网印刷。在印刷作业中，由于在掩模板的下面，在基板上附着从印刷部位溢出的糊状钎焊料，或者没有被完全转印在基板上的糊状钎焊料残留在掩模板的开口部，因此，需要以规定的间隔进行用于吸收或擦拭这些糊状钎焊料的清洁作业。因此，目前，在丝网印刷装置上设置有用清洁片材擦拭、清扫掩模板的下面的清洁机构。而且，在溶剂成分蒸发而粘度上升的糊状钎焊料成为除去对象的情况下，为确保良好的清洁性能而采用使用含浸了IPA等洗涤液的清洁片材的湿式清洁（例如，参照专利文献1）。该专利文献1所示的湿式清洁方式的清洁机构中，由气压驱动的泵吸入并排出贮存在罐内的洗涤液，从设于清洁头上的排出嘴向片材供给。作为泵，一般使用结构简单且廉价的隔膜式的泵，在从泵到排出嘴的排出配管中，设置有用于防止泵停止时的洗涤液的倒流的止回阀。专利文献1：（日本）特开2006-7462号公报但是，在上述构成的清洁机构中，由于洗涤液的排出系的构成，在稳定供给洗涤液方面存在如下的难点。即，气压驱动的隔膜式泵，因结构简单的泵所内装的吸入阀、排出阀的工作不稳定而容易产生液体渗漏，并且在泵内，因隔膜而在对洗涤液进行加压的加压室内容易产生空气滞留等，因此，难以稳定地确保正确的排出量。另外，关于与该泵组合而用于防止洗涤液的倒流的止回阀，由于其为通过弹簧将阀体按压在阀座上的构成，因此，在阀体与阀座的接触面被洗涤液中包含的有机成分等粘合那样的情况下，阀体的正常动作不能进行，也不能发挥作为止回阀的作用。这样，在现有丝网印刷装置所配备的湿式的清洁机 构中，存在难以向清洁片材稳定地供给洗涤液之类的课题。

技术实现要素：
于是，本发明的目的在于，提供一种能够稳定地向清洁片材供给洗涤液的丝网印刷装置。本发明的丝网印刷装置，具有：丝网印刷部，其通过使设有图案孔的掩模板与基板抵接，并使刮板在供给有膏的掩模板上滑动，由此，经由所述图案孔将膏印刷到基板上；清洁机构，其利用清洁头将清洁片材按压在所述掩模板的下面并使其滑动，由此，对该掩模板进行清洁，其特征在于，所述清洁机构具有设于所述清洁头上向所述清洁片材排出洗涤液的排出嘴和将所述洗涤液向所述排出嘴供给的洗涤液供给部，所述洗涤液供给部具备：液体供给罐，其贮存所述洗涤液；吸入配管，其吸入所述液体供给罐内的洗涤液；泵，其利用驱动空气使隔膜往复运动，从而使从与所述吸入配管连接的吸入口吸入洗涤液并从排出口排出；阀，其与所述排出口连接，并介设于至所述排出嘴的排出配管，通过利用驱动空气而动作的阀机构，对该排出配管进行开关；空气供给控制部，其控制向所述泵及所述阀供给驱动空气，所述空气供给控制部在所述泵驱动时可将所述阀置于打开状态而进行向所述排出配管的洗涤液的供给，在所述泵停止时可将所述阀置于关闭状态而防止所述排出配管内的洗涤液的倒流。根据本发明，在利用空气驱动的隔膜式的泵吸入液体供给罐内的洗涤液，经由与泵的排出口连接的排出配管向排出嘴输送的洗涤液供给系统中，具备控制向开关排出配管的具备空气驱动的阀机构的阀及泵的驱动空气的供给的空气供给控制部，在泵驱动时可以将阀置于打开状态而进行向排出配管的洗涤液的供给，在泵停止时将阀置于关闭状态而防止排出配管内的洗涤液的倒流，由此，防止使用隔膜式的泵的现有装置中的阀工作不良引起的故障，能够稳定地向清洁片材供给洗涤液。附图说明图1是本发明一实施方式的丝网印刷装置的正面图；图2是本发明一实施方式的丝网印尉装置的侧面图；图3是本发明一实施方式的丝网印刷装置的平面图；图4是本发明一实施方式的丝网印刷装置中的清洁单元的结构说明图；图5是本发明一实施方式的丝网印刷装置的清洁单元所具备的洗涤液供给部的结构说明图；图6是本发明一实施方式的丝网印刷装置的清洁单元所使用的洗涤液排出用的泵的结构说明图；图7是本发明一实施方式的丝网印刷装置中的液体供给配管系的作用说明图。符号说明1基板定位部8基板9印刷传送带10丝网印刷部12掩模板15刮板20清洁单元24清洁头27清洁片材29排出嘴30洗涤液供给部31排出配管32洗涤液33液体供给罐34吸入配管34b弯曲部35泵35f隔膜36吸入口37排出口39空气驱动机构42阀43电磁阀44空气供给源具体实施方式首先，参照图1、图2、图3说明丝网印刷装置的构造。在图1中，丝网印刷装置是在基板定位部1的上方配设丝网印刷部10而构成。基板定位部1是堆积Y轴工作台2、X轴工作台3及θ轴工作台4，再在其上载置Z轴工作台5而构成。在Z轴工作台5上设有从下面侧接受保持基板的基板保持部6。从上游侧经由搬入传送带9A（图2）搬入的基板8由印刷传送带9搬入到基板保持部6上，且由夹持器7从两侧夹住而位置被固定。由以下说明的丝网印刷部10印刷后的基板8经由搬出传送带9B向下游侧被搬出。配设于基板定位部1的上方的丝网印刷部10具备张开在掩模框11上的掩模板12。在掩模板12上设有与印刷对象相对应的图案孔12a（参照图3）。如图2所示，在配设于基板定位部1的两侧的纵框架21的侧面，向内侧水平延伸配设有两根棒形状的托架22。在两根托架22的上面，沿Y方向架设有L字形截面形状的掩模架23。掩模架23对掩模板12的掩模框11进行定位保持。在掩模板12上配设有刮板头13。刮板头13设定为在水平的板13a上配设有使刮板15升降的刮板升降机构14的构成，如图2所示，板13a的两端由排列在纵框架21上的导向机构支承，并沿Y方向滑动自如。板13a通过由螺母16a、进给丝杠16b及旋转驱动电动机（省略图示）构成的刮板移动装置沿Y方向进行水平移动。并且通过驱动刮板升降机构14，刮板15升降并与掩模板12的上面抵接。在使Z轴工作台5上升而使掩模板12的下面与基板8抵接的状态下，在供给有膏即糊状钎焊料的掩模板12上，驱动刮板移动装置使刮板15沿Y方向移动，由此，糊状钎焊料经由图案孔12a被印刷在基板8上。即，丝网印刷部10通过使基板8与设有图案孔12a的掩模板12抵接，并使刮板15在掩模板12上滑动，经由图案孔12a将膏即糊状钎焊料印刷到基板8上。在丝网印刷部10的上方设有摄像机19。如图3所示，摄像机19利用X轴工作台18及Y轴工作台17沿XY方向进行水平移动。X轴工作台18及Y轴工作台17为使摄像机19移动的摄像机移动机构。利用摄像机移动机构使摄像机19相对于掩模板12而移动，由此，摄像机19拍摄掩模板12的任意的位置。基板定位部1可以利用Y轴工作台2从丝网印刷部10的下方沿Y 方向移动，使所保持的基板8移动到基板识别位置，在该状态下使摄像机19在基板定位部1上的基板8上移动，由此，用摄像机19拍摄基板8的任意的位置，能够识别基板位置。在Y轴工作台2上的基板定位部1的侧方，配设有清洁单元20（清洁机构）。清洁单元20为在本体部20a内配设有以下进行说明的各要素的构成，从本体部20a的上部突出有清洁头24。通过驱动Y轴工作台2，清洁单元20和基板定位部1一起沿Y方向移动，利用清洁头24对掩模板12的下面进行清洗。在本实施方式中，作为清洁机构的清洁单元20具有利用清洁头24将清洁片材27（参照图4）按压在掩模板12的下面并使其滑动，由此对掩模板12进行清洗的作用。另外，在本实施方式中，表示了通过驱动基板定位部1的Y轴工作台2而使清洁单元20水平移动的构成例，但也可以将清洁单元20的水平移动与基板定位部1分离而设置独立的清洁单元驱动机构。接着，参照图4说明清洁单元20的构成。在清洁单元20的本体部20a的上面配设有清洁头24，该清洁头24利用升降装置（省略图示）以升降自如的方式配设。在本体部20a设有清洁片材27的供给卷筒25及回收卷筒26。清洁片材27从供给卷筒25抽出并围绕清洁头24的上面旋转，由回收卷筒26卷取。在使清洁头24上升而将清洁片材27压入到掩模板12的下面的状态下，通过使清洁单元20水平移动，从下面侧清洗掩模板12。在从供给卷筒25抽出的清洁片材27到达清洁头24的上面的输送路径上，配置有多个导向辊28a及排出嘴29。清洁片材27围绕这些导向辊28a及排出嘴29旋转而被送至清洁头24的上面，在清洁中被使用后，经由导向部28b卷取到回收卷筒26。排出嘴29是空心管状的部件，在排出嘴29的上面侧设有多个排出孔29a。排出嘴29的空心部与向下方导设的排出配管31连接，排出配管31还与配设在本体部20a内的洗涤液供给部30连接。洗涤液供给部30具有贮存乙醇或异丙醇等被用于清洁的洗涤液32，并使其从排出嘴29的排出孔29a排出的作用。即、清洁单元20为具有设于清洁头24上以向清洁片材27排出洗涤液32的排出嘴29和将洗涤液32向排出嘴29供给的洗涤液供给部30的构成。而且，由洗涤液供给部30供给到排出嘴29的洗涤液32进而从排出孔29a向外 周部排出而含浸于清洁片材27。接着，参照图5说明洗涤液供给部30的构成。洗涤液供给部30为配设有向单元框30a内贮存洗涤液32的液体供给罐33、从液体供给罐33吸入洗涤液32并排出的泵35、断开/连接自泵35的排出的阀42及用于驱动、控制泵35和阀42的电磁阀43的构成。即，在单元框30a的下部配置有贮存洗涤液32的液体供给罐33，在液体供给罐33中从上方插入使吸入口34a位于洗涤液32内的吸入配管34，该吸入配管34吸入贮存在液体供给罐33内的洗涤液32。吸入配管34从液体供给罐33向上方伸出，经过向上弯曲成凸形状的弯曲部34b而下垂，进而，向上方弯曲的端部的连接口34c与泵35的吸入口36连接。电磁阀43的P口、R口分别与空气供给源44、排气单元45连接，在电磁阀43的P口总是被供给驱动空气。电磁阀43的开关动作由控制部46控制，经由电磁阀43、空气配管40、空气连接口38向泵35供给驱动空气，由此，液体供给罐33内的洗涤液32经由吸入配管34被吸入到泵35内。然后，再经由设于泵35的上部的排出口37向排出配管31排出。在上述的配管系中，吸入配管34设定为具有向上弯曲成凸形状的弯曲部34b的形态，该弯曲部34b配设为上端部位于比泵35的排出口37高出规定的高度差△h的高度水平。另外，理想的是，液体供给罐33与泵35的相对高度为，泵35位于尽量和液体供给罐33同水平的高度水平、或者泵35位于液体供给罐33内的液面的更下方。在排出配管31上介设有用于开关排出配管31的具备空气驱动的阀机构的二通阀即阀42，经由空气配管41供给驱动空气，由此，能断开/连接阀42的P口、A口。即，阀42与排出口37连接，并在直到排出嘴29的排出配管31中设于比泵35高的位置，具有通过利用驱动空气进行工作的阀机构开关该排出配管31的作用。然后，通过驱动阀42将排出配管31关闭，在排出配管31中比阀42更靠上侧的配管内的洗涤液32被阀42截断，可以彻底防止洗涤液32朝向下方流动的倒流。由此，不会产生在从泵35的排出口37直到排出嘴29的排出配管31中设有止回阀的构成的现有技术中的问题，即，不会产生洗涤液32中的有机异物等附着在止回阀的阀体和阀座的抵接面而引起的动作不良，能够稳定地确保洗涤液32的防倒流作用。此外，由于止回阀的构造是仅在流体超过规定的启动压力的状态下允许其流动，因此，在为了以小流量排出而在低流体压下使用的情况下，存在不能获得稳定的排出量的难点。与此相反，如本实施方式所示，通过使用由二通阀即阀42明确地切换开关的方式，从泵35排出的洗涤液32在低压、低流量的使用条件下也能够进行稳定的液体供给。空气配管41和空气配管40同样地与同一电磁阀43的A口连接，由控制部46控制电磁阀43，由此，能够将驱动空气在任意的时刻经由空气配管40、41分别同时向泵35、阀42进行供给。因此，泵35进行的洗涤液的排出动作和阀42进行的排出配管31的大开动作总能做到同步，并且，当泵35停止排出时，排出配管31总是被关闭。电磁阀43及控制部46构成控制向泵35及阀42的驱动空气的供给的空气供给控制部。接着，参照图6说明泵35的构造及作用。如图6所示，泵35的构造为，在形成于外壳部35a的内部的吸入排出空间35b内，利用空气驱动机构39使富有挠性的膜部件即隔膜35f沿箭头方向往复移动。从空气连接口38经由内部流路35c向空气驱动机构39供给驱动空气。吸入排出空间35b经由吸入侧流路35d、排出侧流路35e分别与吸入口36、排出口37连接。吸入口36、排出口37都内装有如下构成的止回阀，即，将圆锥形状的阀座面36b、阀座面37b和球体36c、37c组合，将球体36c、37c按压在阀座面36b、37b上而堵塞导入流路36a、37a，吸入口36、排出口37都是仅允许洗涤液32从导入流路36a、37a向上方的单方向的流动。通过驱动空气驱动机构39使隔膜35f在吸入排出空间35b内往复移动，经由吸入口36从吸入配管34向吸入排出空间35b内吸入洗涤液32，再经由排出口37从吸入排出空间35b将洗涤液32向排出配管31排出。即，泵35具有利用驱动空气使隔膜35f往复移动，由此，从连接于吸入配管34的吸入口36吸入洗涤液32并从排出口37排出的作用。在通过洗涤液供给部30向排出嘴29供给洗涤液32的液体供给动作中，由控制部46及电磁阀43构成的空气供给控制部以下对各部分进行控制。即，在为了向排出配管31排出洗涤液32而使泵35动作的泵驱动时，将阀42置于打开状态，允许从排出口37排出的洗涤液32的流动。由此，可以向排出配管31供给洗涤液32。另外，在为了止住洗涤液32的排出而使泵35的动作停止的泵停止时，将阀42置于关闭状态，防止排出配管31内的洗涤液32的 倒流。图7表示在持续进行该液体供给动作的过程中，使泵35的动作停止的状态下的配管系各部分的洗涤液32的残留状态。即，在通过泵35连续地吸入、排出液体供给罐33内的洗涤液32的液体供给状态时，吸入配管34内、泵35的吸入排出空间35b内及排出配管31内，利用泵35的泵作用而被洗涤液32充满。若在该状态下停止泵35，与泵35的排出停止同步阀42成为关闭状态。然后，通过将阀42彻底关闭，配管系内的洗涤液32成为流动被制约的状态。在本实施方式所示的洗涤液供给部30的配管系中，设于吸入配管34的弯曲部34b配设为上端部位于比泵35的排出口37高规定的高度差△h的高度水平，因此，在从泵35到阀42的排出配管31内，洗涤液32的液体水平L至少不会比弯曲部34b的上端部低。因此，排出口37、吸入口36内的止回阀机构处于总是被浸泡在洗涤液32中的接触液体状态，即使在泵停止状态下也不会产生排出口37、吸入口36内的止回阀机构被暴露在大气中引起的有机异物的附着，也不会损害排出口37、吸入口36的止回阀作用。另外，包括排出口37且从泵35到液体供给罐33内的配管系，处于大部分由洗涤液32充满的接触液体状态，在使泵35再起动而开始排出时，空气的吸入引起的空动作少，能够迅速地移行至通常的吸入、排出状态。而且，即使在产生了空气吸入的情况下，空气也会在吸入配管34及泵35内分散成小的气泡并向洗涤液32内扩散，因此，能够减少大容积的空气以块状态流动造成的液体供给不良的情况。工业上的应用本发明的丝网印刷装置具有能够稳定地向清洁片材供给洗涤液的效果，可以用于进行使清洁片材含浸洗涤液的湿式的掩模清洗的丝网印刷装置。