液体喷出头以及记录装置的制作方法

本发明涉及液体喷出头以及记录装置。

背景技术：

以往，作为印刷用头，例如已知有通过在记录介质上喷出液体而进行各种印刷的液体喷出头。作为这样的液体喷出头，已知具备流路构件和多个加压部的液体喷出头，其中，该流路构件具备多个喷出孔、与多个喷出孔分别连接的多个加压室、与多个加压室分别连接的多个第一流路、连接有多个第一流路的公共的第二流路、与多个加压室分别连接的多个第三流路、以及连接有多个第三流路的公共的第四流路，该多个加压部分别对多个加压室内的液体进行加压(例如参照专利文献1)。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-143168号公报

技术实现要素：

本发明的液体喷出头具备流路构件和多个加压部，所述流路构件具备：多个喷出孔；与多个所述喷出孔分别连接的多个加压室；与多个所述加压室分别连接的多个第一流路；连接有多个所述第一流路的公共的第二流路；与多个所述加压室分别连接的多个第三流路；以及连接有多个所述第三流路的公共的第四流路，多个所述加压部对多个所述加压室内的液体分别进行加压。另外，所述第三流路的流路阻力低于所述第一流路的流路阻力。另外，所述流路构件在所述第四流路形成有减振部。

另外，本发明的其他方式的液体喷出头具备流路构件和多个加压部，所述流路构件具备：多个喷出孔；与多个所述喷出孔分别连接的多个加压室；与多个所述加压室分别连接的多个第一流路；连接有多个所述第一流路的公共的第二流路；与多个所述加压室分别连接的多个第三流路；连接有多个所述第三流路的公共的第四流路；以及与多个所述加压室分别连接的多个第五流路，多个所述加压部对多个所述加压室内的液体分别进行加压。另外，所述第五流路与公共的所述第二流路连接。另外，所述第三流路的流路阻力低于所述第一流路的流路阻力以及所述第五流路的流路阻力。另外，所述流路构件在所述第四流路形成有减振部。

本发明的记录装置具备：所述液体喷出头；将记录介质向所述液体喷出头输送的输送部；以及控制所述液体喷出头的控制部。

附图说明

图1的(a)是概要地示出包含第一实施方式所涉及的液体喷出头的记录装置的侧视图，(b)是概要地示出包含第一实施方式所涉及的液体喷出头的记录装置的俯视图。

图2是第一实施方式所涉及的液体喷出头的分解立体图。

图3的(a)是图2的液体喷出头的立体图，(b)是图2的液体喷出头的剖视图。

图4的(a)是头主体的分解立体图，(b)是从第二流路构件的下表面观察到的立体图。

图5的(a)是透过第二流路构件的一部分观察到的头主体的俯视图，(b)是透过第二流路构件观察到的头主体的俯视图。

图6是将图5的一部分放大示出的俯视图。

图7的(a)是喷出单元的立体图，(b)是喷出单元的俯视图，(c)是示出喷出单元上的电极的俯视图。

图8的(a)是图7的(b)的viiia-viiia线剖视图，(b)是图7的(b)的viiib-viiib线剖视图。

图9是示出液体喷出单元的内部的流体的流动的概要图。

图10是将形成第一流路构件的板的一部分放大示出的立体图。

图11是示出第二实施方式所涉及的液体喷出头且示出各流路的连接的概要图。

图12是示出第二实施方式所涉及的液体喷出头且将第二流路以及第四流路放大示出的概要立体图。

图13是示出第三实施方式所涉及的液体喷出头的概要图。

具体实施方式

<第一实施方式>

使用图1对包含第一实施方式所涉及的液体喷出头2的彩色喷墨打印机1(以下称为打印机1)进行说明。

打印机1通过将记录介质p从输送辊74a向输送辊74b输送，从而使记录介质p相对于液体喷出头2相对地移动。控制部76基于图像、文字的数据，控制液体喷出头2朝向记录介质p喷出液体，并使液滴击中记录介质p，在记录介质p上进行印刷。

在本实施方式中，液体喷出头2相对于打印机1固定，打印机1为所谓的行式打印机。作为记录装置的其他实施方式，可以举出所谓的串行式打印机。

在打印机1上以与记录介质p大致平行的方式固定有平板状的框架70。在框架70上设有20个孔(未图示)，20个液体喷出头2搭载于各个孔。5个液体喷出头2构成1个头组72，打印机1具有4个头组72。

液体喷出头2如图1(b)所示形成细长的长条形状。在1个头组72内，3个液体喷出头2沿着与记录介质p的输送方向交叉的方向排列，其他2个液体喷出头2在沿着输送方向错开的位置处，分别逐一地排列在3个液体喷出头2之间。相邻的液体喷出头2配置为，使各液体喷出头2所能够印刷的范围在记录介质p的宽度方向上相连或者端部重复，从而能够实现在记录介质p的宽度方向上无间隙的印刷。

4个头组72沿着记录介质p的输送方向配置。从未图示的液体槽向各液体喷出头2供给墨液。向属于1个头组72的液体喷出头2供给同色的墨液，利用4个头组来印刷4色的墨液。从各头组72喷出的墨液的颜色例如是品红色(m)、黄色(y)、青色(c)以及黑色(k)。

需要说明的是，如果采用单色对1个液体喷出头2所能够印刷的范围进行印刷，则搭载于打印机1的液体喷出头2的个数也可以为1个。头组72所包含的液体喷出头2的个数或者头组72的个数可以根据要印刷的对象、印刷条件而适当进行变更。例如，为了进一步进行多色印刷，也可以增加头组72的个数。另外，通过配置多个以同色印刷的头组72，并在输送方向上交替地进行印刷，能够加快印刷速度、即输送速度。另外，也可以准备多个以同色印刷的头组72，在与输送方向交叉的方向上错开配置，来提高记录介质p的宽度方向上的分辨率。

此外，除了印刷带有颜色的墨液以外，为了进行记录介质p的表面处理，也可以印刷涂层剂等液体。

打印机1在记录介质p上进行印刷。记录介质p成为卷绕于输送辊74a的状态，在通过2个输送辊74c之间后，通过搭载于框架70的液体喷出头2的下侧。之后，通过2个输送辊74d之间，最后被输送辊74b回收。

作为记录介质p，除了印刷用纸以外，也可以采用布等。另外，也可以将打印机1设为取代记录介质p而对输送带进行输送的方式，记录介质p除了辊状的记录介质以外，也可以采用载置在输送带上的单张处理纸、被裁断的布、木材、或者瓷砖等。此外，也可以从液体喷出头2喷出包含导电性粒子的液体，来印刷电子设备的布线图案等。另外，也可以从液体喷出头2朝向反应容器等喷出规定量的液体的化学药剂或包含化学药剂的液体并进行反应等，来制作化学药品。

另外，也可以在打印机1上安装位置传感器、速度传感器、温度传感器等，控制部76根据从来自各传感器的信息而知晓的打印机1各部分的状态，来控制打印机1的各部分。特别是，若从液体喷出头2喷出的液体的喷出特性(喷出量、喷出速度等)受到外部的影响，则也可以根据液体喷出头2的温度、液体槽的液体的温度、液体槽的液体施加给液体喷出头2的压力，来改变使液体喷出头2中喷出液体的驱动信号。

接下来，使用图2～10对第一实施方式所涉及的液体喷出头2进行说明。需要说明的是，为了在图5、6中容易理解附图，以实线来描绘处于其他构件的下方的应以虚线描绘的流路等。另外，在图5的(a)中，透过第二流路构件6的一部分来示出，在图5的(b)中，透过第二流路构件6的全部来示出。另外，在图9中，以虚线示出以往的液体的流动，以实线示出喷出单元15的液体的流动，以长虚线示出从第二独立流路14供给的液体的流动。

需要说明的是，在附图中图示出第一方向d1、第二方向d2、第三方向d3、第四方向d4、第五方向d5以及第六方向d6。第一方向d1是第一公共流路20以及第二公共流路24所延伸的方向的一侧，第四方向d4是第一公共流路20以及第二公共流路24所延伸的方向的另一侧。第二方向d2是第一合并流路22以及第二合并流路26所延伸的方向的一侧，第五方向d5是第一合并流路22以及第二合并流路26所延伸的方向的另一侧。第三方向d3是与第一合并流路22以及第二合并流路26所延伸的方向正交的方向的一侧，第六方向d6是与第一合并流路22以及第二合并流路26所延伸的方向正交的方向的另一侧。

在液体喷出头2中，将第一流路作为第一独立流路12、将第二流路作为第一公共流路20、将第三流路作为第三独立流路16、将第四流路作为第二公共流路24、将第五流路作为第二独立流路14进行说明。

如图2、3所示，液体喷出头2具备头主体2a、框体50、散热板52、布线基板54、按压构件56、弹性构件58、信号传递部60以及驱动器ic62。需要说明的是，液体喷出头2具备头主体2a即可，可以不必具备框体50、散热板52、布线基板54、按压构件56、弹性构件58、信号传递部60以及驱动器ic62。

液体喷出头2中，从头主体2a引出信号传递部60，信号传递部60与布线基板54电连接。在信号传递部60上设有用于控制液体喷出头2的驱动的驱动器ic62。驱动器ic62被按压构件56经由弹性构件58而按压于散热板52。需要说明的是，省略了支承布线基板54的支承构件的图示。

散热板52可以由金属或合金形成，是为了将驱动器ic62的热向外部散出而设置的。散热板52通过螺钉或粘结剂而与框体50接合。

框体50载置于头主体2a的上表面，利用框体50和散热板52来覆盖构成液体喷出头2的各构件。框体50具备第一开口50a、第二开口50b、第三开口50c以及隔热部50d。第一开口50a以在第三方向d3及第六方向d6上对置的方式分别设置，通过在第一开口50a配置散热板52而将第一开口50a密封。第二开口50b朝向下方开口，经由第二开口50b将布线基板54以及按压构件56配置于框体50的内部。第三开口50c朝向上方开口，收容设于布线基板54的连接器(未图示)。

隔热部50d以从第二方向d2朝第五方向d5延伸的方式设置，且配置在散热板52与头主体2a之间。由此，能够减少散出到散热板52上的热向头主体2a传递的可能性。框体50可以由金属、合金或树脂形成。

如图4的(a)所示，头主体2a从第二方向d2朝向第五方向d5形成为长的平板形状，且具有第一流路构件4、第二流路构件6以及压电致动器基板40。头主体2a在第一流路构件4的上表面设有压电致动器基板40以及第二流路构件6。压电致动器基板40载置于图4的(a)所示的虚线区域。压电致动器基板40是为了对设于第一流路构件4的多个加压室10(参照图8)进行加压而设置的，具有多个位移元件48(参照图8)。

第一流路构件4在内部形成有多个流路，将从第二流路构件6供给的液体引导至设于下表面的喷出孔8(参照图8)。第一流路构件4的上表面成为加压室面4-1，在加压室面4-1形成有开口20a、24a、28c、28d。开口20a设有多个，且从第二方向d2沿着第五方向d5排列。开口20a配置在加压室面4-1的第三方向d3上的端部。开口24a设有多个，且从第二方向d2沿着第五方向d5排列。开口24a配置在加压室面4-1的第六方向d6上的端部。开口28c设置在比开口20a靠第二方向d2上的外侧以及第五方向d5上的外侧的位置。开口28d设置在比开口24a靠第二方向d2上的外侧以及第五方向d5上的外侧的位置。

第二流路构件6在内部形成有多个流路，将从液体槽供给的液体引导至第一流路构件4。第二流路构件6设置在第一流路构件4的加压室面4-1的外周部上，且在压电致动器基板40的载置区域的外侧借助粘结剂(未图示)而与第一流路构件4接合。

如图4、5所示，在第二流路构件6上形成有贯通孔6a以及开口6b、6c、6d、22a、26a。贯通孔6a以从第二方向d2朝第五方向d5延伸的方式形成，且配置在比压电致动器基板40的载置区域靠外侧的位置。信号传递部60穿过贯通孔6a。

开口6b设置于第二流路构件6的上表面，且配置在第二流路构件的第二方向d2上的端部。开口6b从液体槽向第二流路构件6供给液体。开口6c设置于第二流路构件6的上表面，且配置在第二流路构件的第五方向d5上的端部。开口6c从第二流路构件6向液体槽对液体进行回收。开口6d设置于第二流路构件6的下表面，且在由开口6d形成的空间内配置压电致动器基板40。

开口22a设置于第二流路构件6的下表面，且以从第二方向d2朝向第五方向d5延伸的方式设置。开口22a形成于第二流路构件6的第三方向d3上的端部，且设置在比贯通孔6a靠第三方向d3侧的位置。

开口22a与开口6b连通，开口22a被第一流路构件4密封而形成第一合并流路22。第一合并流路22以从第二方向d2朝第五方向d5延伸的方式形成，且向第一流路构件4的开口20a以及开口28c供给液体。

开口26a设置于第二流路构件6的下表面，且以从第二方向d2朝向第五方向d5延伸的方式设置。开口26a形成于第二流路构件6的第六方向d6上的端部，且设置在比贯通孔6a靠第六方向d6侧的位置。

开口26a与开口6c连通，开口26a被第一流路构件4密封而形成第二合并流路26。第二合并流路26以从第二方向d2朝第五方向d5延伸的方式形成，且向第一流路构件4的开口24a以及开口28d供给液体。

通过以上的结构，从液体槽供给至开口6b的液体向第一合并流路22供给，并经由开口22a而流入第一公共流路20，向第一流路构件4供给液体。而且，由第二公共流路24回收到的液体经由开口26a而流入第二合并流路26，经由开口6c向外部回收液体。需要说明的是，也可以不必设置第二流路构件6。

如图5～8所示，第一流路构件4通过层叠多个板4a～4m而形成，在沿层叠方向观察剖面时，具有设于上侧的加压室面4-1和设于下侧的喷出孔面4-2。在加压室面4-1上载置有压电致动器基板40，从在喷出孔面4-2开始的喷出孔8喷出液体。多个板4a～4m可以由金属、合金或树脂形成。需要说明的是，第一流路构件4也可以不层叠多个板4a～4m而由树脂一体形成。

第一流路构件4中形成有多个第一公共流路20、多个第二公共流路24、多个端部流路28、多个独立单元15以及多个临时独立单元17。

第一公共流路20以从第一方向d1朝第四方向d4延伸的方式设置，且形成为与开口20a连通。另外，第一公共流路20从第二方向d2朝第五方向d5排列有多个。

第二公共流路24以从第四方向d4朝第一方向d1延伸的方式设置，且形成为与开口24a连通。另外，第二公共流路24从第二方向d2朝第五方向d5排列有多个，且配置在相邻的第一公共流路20彼此之间。因此，第一公共流路20以及第二公共流路24从第二方向d2朝向第五方向d5交替地配置。

端部流路28形成于第一流路构件4的第二方向d2的端部以及第五方向d5的端部。端部流路28具有宽幅部28a、狭窄部28b以及开口28c、28d。从开口28c供给的液体依次流经宽幅部28a、狭窄部28b、宽幅部28a以及开口28d，从而在端部流路28中流动。由此，使端部流路28中存在液体并使液体在端部流路28中流动，从而利用液体使位于端部流路28的周围的第一流路构件4的温度均匀化。因此，减少了第一流路构件4从第二方向d2的端部以及第五方向d5的端部散热的可能性。

使用图6、7对喷出单元15进行说明。喷出单元15具有喷出孔8、加压室10、第一独立流路(第一流路)12、第二独立流路(第五流路)14以及第三独立流路(第三流路)16。需要说明的是，在液体喷出头2中，从第一独立流路12以及第二独立流路14向加压室10供给液体，第三独立流路16从加压室10对液体进行回收。需要说明的是，第三独立流路16的流路阻力低于第一独立流路12以及第二独立流路14的流路阻力，详细情况见后述。

喷出单元15设置在相邻的第一公共流路(第二流路)20与第二公共流路(第四流路)24之间，在第一流路构件4的平面方向上形成为矩阵状。喷出单元15具有喷出单元列15a和喷出单元行15b。喷出单元列15a从第一方向d1朝向第四方向d4排列。喷出单元行15b从第二方向d2朝向第五方向d5排列。

加压室10具有加压室列10c和加压室行10d。另外，喷出孔8具有喷出孔列9a和喷出孔行9b。喷出孔列9a以及加压室列10c也同样从第一方向d1朝向第四方向d4排列。另外，喷出孔行9b以及加压室行10d也同样从第二方向d2朝向第五方向d5排列。

第一方向d1及第四方向d4与第二方向d2及第五方向d5所成的角度与直角有偏差。因此，沿着第一方向d1配置的属于喷出孔列9a的喷出孔8彼此在第二方向d2上偏离相对于直角的偏差量而配置。而且，由于喷出孔列9a在第二方向d2上排列配置，因此，属于不同的喷出孔列9a的喷出孔8在第二方向d2上相应地偏离配置。配合这些情况，第一流路构件4的喷出孔8以固定间隔在第二方向d2上排列配置。由此，能够通过由喷出的液体所形成的像素来填埋规定范围的方式进行印刷。

在图6中，当将喷出孔8向第三方向d3以及第六方向d6投影时，在假想直线r的范围内投影有32个喷出孔8，在假想直线r内，各喷出孔8以360dpi的间隔排列。由此，若在与假想直线r正交的方向上输送记录介质p进行印刷，则能够以360dpi的分辨率进行印刷。

临时喷出单元17设置在位于最靠第二方向d2侧的第一公共流路20与位于最靠第二方向d2侧的第二公共流路24之间。另外，临时喷出单元17还设置在位于最靠第五方向d5侧的第一公共流路20与位于最靠第五方向d5侧的第二公共流路24之间。临时喷出单元17是为了使位于最靠第二方向d2侧或第五方向d5侧的喷出单元列15a的喷出稳定而设置的。

如图7、8所示，加压室10具有加压室主体10a和局部流路10b。加压室主体10a在俯视观察下呈圆形形状，局部流路10b从加压室主体10a的中心朝向下方延伸。加压室主体10a构成为，通过从设于加压室主体10a上的位移元件48接受压力，从而向局部流路10b中的液体施加压力。

加压室主体10a为大致圆板形状，平面形状呈圆形形状。通过将平面形状设为圆形形状，能够增大位移量以及因位移产生的加压室10的体积变化。局部流路10b为直径比加压室主体10a小的大致圆柱形状，平面形状呈圆形形状。另外，从加压室面4-1观察时，局部流路10b收纳在加压室主体10a内。

需要说明的是，局部流路10b也可以是朝向喷出孔8侧而截面面积减小的圆锥形状或者圆锥台形状。由此，能够增大第一公共流路20以及第二公共流路24的宽度，能够减小上述压力损失的差。

加压室10沿着第一公共流路20的两侧配置，构成每一侧1列而合计2列的加压室列10c。第一公共流路20与在其两侧排列的加压室10经由第一独立流路12以及第二独立流路14而连接。

另外，加压室10沿着第二公共流路24的两侧配置，构成每一侧1列而合计2列的加压室列10c。第二公共流路24与在其两侧排列的加压室10经由第三独立流路16而连接。

使用图7对第一独立流路12、第二独立流路14以及第三独立流路16进行说明。

第一独立流路12将第一公共流路20与加压室主体10a连接起来。第一独立流路12在从第一公共流路20的上表面朝向上方延伸之后，朝向第五方向d5延伸，在朝向第四方向d4延伸之后，再次朝向上方延伸而与加压室主体10a的下表面连接。

第二独立流路14将第一公共流路20与局部流路10b连接起来。第二独立流路14从第一公共流路20的下表面朝向第五方向d5延伸，在朝向第一方向d1延伸之后与局部流路10b的侧面连接。

第三独立流路16将第二公共流路24与局部流路10b连接起来。第三独立流路16从第二公共流路24的侧面朝向第二方向d2延伸，在朝向第四方向d4延伸之后与局部流路10b的侧面连接。

而且，第三独立流路16的流路阻力构成为小于第一独立流路12以及第二独立流路14的流路阻力。为了使第三独立流路16的流路阻力低于第一独立流路12以及第二独立流路14的流路阻力，例如可以将形成第三独立流路16的板4f的厚度设得比形成第一独立流路12的板4c的厚度以及形成第二独立流路14的板4l的厚度厚。另外，可以将在俯视观察下第三独立流路16的宽度设得比第一独立流路12的宽度以及第二独立流路14的宽度宽。另外，可以将在俯视观察下第三独立流路16的长度设得比第一独立流路12的长度以及第二独立流路14的长度短。

通过以上那样的结构，在第一流路构件4中，经由开口20a供给至第一公共流路20的液体经由第一独立流路12以及第二独立流路14而流入加压室10，一部分液体从喷出孔8喷出。而且，剩余的液体从加压室10经由第三独立流路16而流入第二公共流路24，经由开口24a从第一流路构件4向第二流路构件6喷出。

使用图8对压电致动器基板40进行说明。在第一流路构件4的上表面接合有包含位移元件48的压电致动器基板40，各位移元件48以位于加压室10上的方式配置。压电致动器基板40占据与由加压室10形成的加压室组大致相同的形状的区域。另外，各加压室10的开口通过在第一流路构件4的加压室面4-1上接合压电致动器基板40而被堵塞。

压电致动器基板40具有由作为压电体的2片压电陶瓷层40a、40b构成的层叠构造。这些压电陶瓷层40a、40b分别具有20μm左右的厚度。压电陶瓷层40a、40b的任一层均以跨越多个加压室10的方式延伸。

这些压电陶瓷层40a、40b例如由具有强介电性的钛酸锆酸铅(pzt)系、nanbo3系、batio3系、(bina)nbo3系、binanb5o15系等陶瓷材料构成。需要说明的是，压电陶瓷层40b作为振动板发挥作用，不必是压电体，取而代之，也可以采用不为压电体的其他陶瓷层或金属板。

在压电致动器基板40上形成有公共电极42、独立电极44以及连接电极46。公共电极42在压电陶瓷层40a与压电陶瓷层40b之间的区域遍及面方向的大致整个面而形成。而且，独立电极44配置在压电致动器基板40的上表面的与加压室10对置的位置。

压电陶瓷层40a的被独立电极44和公共电极42夹持的部分在厚度方向上被极化，成为若向独立电极44施加电压则发生位移的单压电片(unimorph)构造的位移元件48。因此，压电致动器基板40具有多个位移元件48。

公共电极42可以由ag-pd系等金属材料形成，公共电极42的厚度可以为2μm左右。公共电极42在压电陶瓷层40a上具有公共电极用表面电极(未图示)，公共电极用表面电极经由贯穿压电陶瓷层40a而形成的通孔与公共电极42相连，并被接地而保持为地电位。

独立电极44由au系等金属材料形成，具有独立电极主体44a和引出电极44b。如图7的(c)所示，独立电极主体44a在俯视观察下形成为大致圆形形状，且形成为比加压室主体10a小。引出电极44b从独立电极主体44a引出，在引出了的引出电极44b上形成有连接电极46。

连接电极46例如由包含玻璃粉的银-钯构成，厚度为15μm左右且形成为凸状。连接电极46与设于信号传递部60的电极电接合。

液体喷出头2在控制部76的控制下经由驱动器ic62等，按照供给至独立电极44的驱动信号而使位移元件48发生位移。作为驱动方法，可以使用所谓的拉弹驱动。

使用图8对减振部30详细进行说明。

在第一流路构件4的第二公共流路24形成有减振部30，隔着减振部30配置有与第二公共流路24相面对的空间32。减振部30具有第一减振部30a和第二减振部30b。空间32具有第一空间32a和第二空间32b。第一空间32a隔着第一减振部30a而设于供液体流动的第二公共流路24的上方。第二空间32b隔着第一减振部30b而设于供液体流动的第二公共流路24的下方。

第一减振部30a形成于第二公共流路24的上方的大致整个区域。因此，在俯视观察时，第一减振部30a呈与第二公共流路24相同的形状。另外，第一空间32a形成于第一减振部30a的上方的大致整个区域。因此，在俯视观察时，第一空间32a呈与第二公共流路24相同的形状。

第二减振部30b形成于第二公共流路24的下方的大致整个区域。因此，在俯视观察时，第二减振部30b呈与第二公共流路24相同的形状。另外，第二空间32b形成于第二减振部30b的下方的大致整个区域。因此，在俯视观察时，第二空间32b呈与第二公共流路24相同的形状。

第一减振部30a以及第一空间32a可以通过如下方式形成：通过半蚀刻在板4d、4e上形成槽，以槽彼此对置的方式进行接合。此时，板4e的由于半蚀刻而残留的残留部成为第一减振部30a。第二减振部30b以及第二空间32b也同样可以通过利用半蚀刻在板4k、4l上形成槽来制作。

就液体喷出头2而言，当对加压室10进行加压时，压力波从加压室主体10a传递至喷出孔8，由此从喷出孔8喷出液体。此时，加压室主体10a中产生的压力波的一部分会传递至位于加压室主体10a与喷出孔8之间的第二独立流路14，从而有可能向第一公共流路20进行压力传播。同样，加压室主体10a中产生的压力波的一部分会传递至位于加压室主体10a与喷出孔8之间的第三独立流路16，从而有可能向第二公共流路24进行压力传播。

当向第一公共流路20以及第二公共流路24产生压力传播时，有可能经由与其他喷出单元15连接的第二独立流路14以及第三独立流路16而向其他喷出单元15的加压室10产生压力传播。由此，有可能发生流体串扰。

与此相对，液体喷出头2具有第三独立流路16的流路阻力低于第二独立流路14的流路阻力的结构。因此，加压室主体10a中产生的压力波的一部分通过流路阻力比第二独立流路14低的第三独立流路16，而容易向第二公共流路24进行压力传播。由此，液体喷出头2成为容易向第二公共流路24进行压力传播、但难以向第一公共流路20进行压力传播的结构。

而且，通过在第二公共流路24中形成减振部30，由此能够在第二公共流路24的内部使压力衰减。其结果是，能够抑制从第二公共流路24向其他的第三独立流路16传播压力，能够减少流体串扰。

第三独立流路16的流路阻力例如可以设为第二独立流路14的流路阻力的15～30倍。由此，能够减少向第二独立流路14的压力传播。另外，第三独立流路16的流路阻力例如可以设为第一独立流路12的流路阻力的15～30倍。由此，能够减少向第一独立流路12的压力传播。

另外，压力波的一部分有可能会从加压室主体10a沿着第一独立流路1而向第一公共流路20进行压力传播。由此，有可能导致加压室主体10a未被施加所希望的压力，而使得液体的喷出量不足。

与此相对，液体喷出头2具有第三独立流路16的流路阻力低于第一独立流路12以及第二独立流路14的流路阻力的结构。因此，成为加压室主体10a中产生的压力波的一部分难以向第一独立流路12以及第二独立流路14进行压力传播的结构。其结果是，向加压室主体10a施加的压力波朝向喷出孔8进行压力传播，由此液体的喷出量不容易变得不足。

此外，第一流路构件4在第二公共流路24的上方设有第一减振部30a，在第二公共流路24的下方设有第二减振部30b。即，在构成第二公共流路24的上表面形成有第一减振部30a，在构成第二公共流路24的下表面形成有第二减振部30b。

由此，通过第一减振部30a以及第二减振部30b发生变形，由此能够吸收第二公共流路24的内部压力的变动，能够在第二公共流路24的内部使压力衰减。其结果是，能够抑制压力从第二公共流路24向第三独立流路16逆流，能够减少流体串扰。

需要说明的是，减振部30也可以不必具有第一减振部30a以及第二减振部30b。也可以仅具有第一减振部30a，还可以仅具有第二减振部30b。

另外，在俯视观察时，第三独立流路16与第二公共流路24的第二方向d2上的侧面连接。换言之，第三独立流路16从第二公共流路24的第二方向d2上的侧面向第二方向d2引出之后向第四方向d4引出，与局部流路10b的第一方向d1上的侧面连接。

因此，能够将第三独立流路16沿平面方向、换言之沿板4f的扩展方向引出，能够在第二公共流路24的上方以及下方确保设置空间32的空间。其结果是，能够在第二公共流路24的上表面设置第一减振部30a，并且能够在第二公共流路24的下表面设置第二减振部30b，能够利用第二公共流路24有效地衰减压力。

另外，第三独立流路16与第二公共流路24的侧面中的加压室主体10a侧连接。因此，即便在气泡从喷出孔8侵入到局部流路10b的内部的情况下，也能够利用气泡的浮力而向第三独立流路16喷出气泡。由此，能够减少由于气泡滞留在局部流路10b的内部而对向液体的压力传播造成影响的状况。

需要说明的是，第二公共流路24的侧面中的加压室主体10a侧是指，第二公共流路24的侧面中的、比板4a～4m的层叠方向的中央靠上方的部分。

另外，第三独立流路16的上表面与第二公共流路24的上表面优选共面。由此，从局部流路10b喷出的气泡沿着第三独立流路16的上表面以及第二公共流路24的上表面流动，能够更加容易地向外部排出。

另外，如图6所示，在俯视观察下，加压室10配置在第一公共流路20与第二公共流路24之间，加压室10的一部分配置在第二公共流路24上。因此，当俯视观察时，加压室10的一部分设置在第一减振部30a上，在第一减振部30a上配置位移元件48(参照图8)。

其结果是，能够使伴随着位移元件48的驱动而产生的振动不容易向第二公共流路24传播。即，能够使位移元件48的振动由第一减振部30a减少，不容易向第二公共流路24传播。

使用图9对在喷出单元15中流动的液体的流动详细进行说明。需要说明的是，在图9中，以实线示出实际的液体的流动，以虚线示出以往的液体的流动，以长虚线示出从第二独立流路14供给的液体的流动。

喷出单元15构成为，从第一独立流路12以及第二独立流路14供给液体，未喷出的液体由第三独立流路16回收。

从第一独立流路12供给的液体通过加压室主体10a朝向下方在局部流路10b中流动，一部分从喷出孔8喷出。未从喷出孔8喷出的液体经由第三独立流路16被回收到喷出单元15的外部。

从第二独立流路14供给的液体的一部分从喷出孔8喷出。未从喷出孔8喷出的液体朝向上方在局部流路10b内流动，经由第三独立流路16被回收到喷出单元15的外部。

在此，从第一独立流路12供给的液体在加压室主体10a、以及局部流路10b中流动而从喷出孔8喷出。在未连接第二独立流路14的情况下，液体的流动如虚线所示，同样地从加压室主体10a的中央部朝向喷出孔8流动。

当产生这样的流动时，局部流路10b中的、位于与第二独立流路14的出口相反的一侧的区域80附近成为液体难以流动的结构，例如有可能在区域80附近滞留液体。

与此相对，第一流路构件4具备：与加压室主体10a连接的第一独立流路12；以及与局部流路10b的下侧连接、且向局部流路10b的喷出孔8侧供给液体的第二独立流路14。

因此，能够使从第二独立流路14向局部流路10b供给的液体的流动与从加压室主体10a向喷出孔8供给的液体的流动发生碰撞。由此，能够抑制从加压室主体10a向喷出孔8供给的液体的流动同样地进行，能够减少液体在局部流路10b内的滞留。

即，因从加压室主体10a向喷出孔8供给的液体的流动而产生的液体的滞留点的位置通过与从加压室主体10a向喷出孔8供给的液体的流动之间的碰撞而发生移动，从而能够减少液体在局部流路10b内的滞留。

使用图10，对形成第三独立流路16的板4f进行说明。板4f具有加压室面4-1(参照图8)侧的第一面4f-1和喷出孔面4-2(参照图8)侧的第二面4f-2。另外，板4f具有多个形成第三独立流路16的第一孔4f1、多个形成第二公共流路24的第二孔4f2、多个形成第一公共流路20的第三孔4f3以及多个位于第一孔4f1与第二孔4f2之间的隔壁5a。第一孔4f1配置在第二孔4f2的两侧。

隔壁5a为了划分第一孔4f1与第二孔4f2而按照各喷出单元15设置。板4f具有将隔着第二公共流路24而对置的隔壁5a彼此连接起来的连接部5b。

第一孔4f1贯穿板4f，形成局部流路10b与第三独立流路16。因此，第一孔4f1在板4f上形成为矩阵状。第二孔4f2贯穿板4f，形成第二公共流路24。第三孔4f3贯穿板4f，形成第一公共流路20。

板4f具有将隔着第二孔4f2而对置的隔壁5a彼此连接起来的连接部5b。因此，能够提高隔壁5a的刚性，使隔壁5a不易发生变形。其结果是，能够使第一孔4fl的形状稳定，能够减少各喷出单元15的第三独立流路16的形状的偏差。因此，能够减少各喷出单元15的喷出偏差。

另外，连接部5b的厚度比板4f的厚度薄。由此，能够抑制第二公共流路24的体积变小。其结果是，能够抑制第二公共流路24的流路阻力变小。需要说明的是，连接部5b可以通过从第一面4f-1进行半蚀刻而形成。

<第二实施方式>

使用图11、12对第二实施方式所涉及的液体喷出头102进行说明。液体喷出头102的喷出单元115、第一公共流路120、第二公共流路124、减振部130以及空间132的结构与液体喷出头2不同。需要说明的是，针对相同的构件标注相同的符号，以下同样。另外，在图11中，以实线示出液体的流动，在图12中，省略了第一减振部130a(参照图12)以及第一空间122a(参照图12)的图示。

喷出单元115具有加压室110、喷出孔8、第一独立流路12、第二独立流路114以及第三独立流路16。加压室110具有加压室主体10a和局部流路110b。

局部流路110b具有宽幅部110b1和窄幅部110b2。窄幅部110b2设置在比宽幅部110b1靠喷出孔8侧的位置。在剖视观察下，窄幅部110b2的宽度比宽幅部110b1的宽度小。换言之，窄幅部110b2的与厚度方向正交的截面面积小于宽幅部110b1的与厚度方向正交的截面面积。窄幅部110b2的直径可以为宽幅部110b1的直径的35～75％。

第二公共流路124具有第一部位124a和第二部位124b，第二部位124b设置在比第一部位124a靠喷出孔8侧的位置。第二部位124b在剖视观察下形成为宽度比第一部位124a的宽度宽。第二部位124b的宽度可以为第一部位124a的宽度的1.1～1.5倍。

第一公共流路120具有第三部位120a和第四部位120b，第四部位120b设置在比第三部位120a靠喷出孔8侧的位置。第四部位120b在剖视观察下形成为宽度比第三部位120a的宽度宽。第四部位120b的宽度可以为第三部位120a的宽度的1.1～1.5倍。

另外，第一公共流路120的突出部134形成在第四部位120b。突出部134以从第四部位120b向第二方向d2或第五方向d5突出的方式形成。在突出部134的下方连接有第二独立流路114。突出部134的突出长度可以为0.1～0.5mm。

减振部130具有第一减振部130a、第二减振部130b以及第三减振部130c。空间132具有第一空间32a、第二空间132b、以及第三空间132c。第一减振部130a以及第二减振部130b设置为与液体流动的第二公共流路124相面对，第三减振部130c设置为与液体流动的第一公共流路120相面对。

如图12所示，第二减振部130b设置为与第二公共流路124的第二部位124b相面对，在剖视观察下具有与第二部位124b大致相同的面积。另外，虽然未图示，但第一减振部130a设置为与第二公共流路124的第一部位124a相面对，在剖视观察下具有与第一部位124a大致相同的面积。

在剖视观察下，第二减振部130b的宽度大于第一减振部130a的宽度。由此，能够增大第二减振部130b的截面面积，能够有效地使侵入第二公共流路124的压力波衰减。

局部流路110b具备宽幅部110b1和窄幅部110b2，在位于宽幅部110b1的下方的空间配置有第二公共流路124的第二部位124b和第一公共流路120的第四部位120b。由此，能够增大第一公共流路120的第四部位120b以及第二公共流路124的第二部位124b的容积，能够减小第一公共流路120以及第二公共流路124的流路阻力。

在第一公共流路120中设有第三减振部130c。由此，能够有效地使侵入第一公共流路120的压力波衰减。

在第一公共流路120的第四部位120b形成有突出部134。而且，在突出部134的下方连接第二独立流路114，第二独立流路114与局部流路110b的窄幅部110b2连接。因此，能够在第一公共流路120的下方形成第三减振部130c，并且将第一公共流路120与喷出单元115连接起来。

换句话说，突出部134突出至未设置第三减振部130c的区域，因此，能够避开第三减振部130c而从突出部134的下表面引出第二独立流路114。其结果是，能够在第一公共流路120中形成面积大的第三减振部130c，并且将第一公共流路120与喷出单元115连接起来。

另外，在剖视观察下，第三减振部130c的宽度比第三部位120a的宽度宽，且比第四部位120b的宽度窄。因此，能够使传播到第一公共流路120的内部的压力波衰减，并且能够在第四部位120b的下方引出第二独立流路114。

需要说明的是，剖视观察时的第三部位120a的宽度表示，沿与第一方向d1以及第四方向d4正交的方向将剖面切开时的第三部位120a的长度。第三减振部130c的宽度也同样。另外，剖视观察时的第四部位120b的宽度表示，沿与第一方向d1以及第四方向d4正交的方向将剖面切开时的第四部位120b的长度，是除了突出部134以外的第四部位120b的宽度。

需要说明的是，第三减振部130c可以设置在第一公共流路120的上方，也可以设置在第一公共流路120的上方以及下方。

<第三实施方式>

使用图13对第三实施方式所涉及的液体喷出头202进行说明。

液体喷出头202具有第一公共流路20、第二公共流路24以及喷出单元215。喷出单元215具有喷出孔8、加压室210、第一独立流路212以及第二独立流路214。

第一独立流路212将第一公共流路20与加压室210连接起来。第二独立流路214将第二公共流路24与加压室210连接起来。第二独立流路214的流路阻力小于第一独立流路212的流路阻力。

在第二公共流路24的上方，隔着减振部230而设有空间232。即，在液体流动的第二公共流路24的上表面设有减振部230。

液体喷出头202具有第二独立流路214的流路阻力低于第一独立流路212的流路阻力的结构。因此，加压室210中产生的压力波的一部分通过流路阻力比第一独立流路212低的第二独立流路214而容易向第二公共流路24进行压力传播。由此，液体喷出头2成为容易向第二公共流路24进行压力传播、但难以向第一公共流路20进行压力传播的结构。

而且，通过在第二公共流路24中形成减振部230，由此能够在第二公共流路24的内部使压力衰减。其结果是，能够抑制压力从第二公共流路24向第二独立流路214逆流，能够减少流体串扰。

以上，对第一～第三实施方式进行了说明，但本发明并不局限于上述实施方式，在不脱离其宗旨的范围内能够加以各种变更。

例如，作为加压部，示出了通过压电致动器的压电变形对加压室10进行加压的例子，但不局限于此。例如，也可以采用如下的加压部：按照各加压室10设置发热部，利用发热部的热来对加压室10的内部的液体进行加热，通过液体的热膨胀来进行加压。

另外，在液体喷出头2中示出了从第一独立流路12以及第二独立流路14向加压室10供给液体、通过第三独立流路16回收液体的结构，但不局限于此。例如也可以构成为，从第二独立流路14以及第三独立流路16向加压室10供给液体、通过第一独立流路12回收液体。

即，也可以构成为，从第二独立流路14以及第三独立流路16向局部流路10b供给液体，被供给的液体在局部流路10b中朝向上方流动而供给至加压室主体10a，供给至加压室主体10a的液体由第一独立流路12回收。

附图标记说明

1…彩色喷墨打印机

2、102、202…液体喷出头

4…第一流路构件

4a～4m…板(第一板)

6…第二流路构件

8…喷出孔

10、110、210…加压室

10a…加压室主体

10b、110b…局部流路

12、212…第一独立流路(第一流路)

14、114、214…第二独立流路(第五流路)

15、115、215…喷出单元

16、116…第三独立流路(第三流路)

20、120、220…第一公共流路(第二流路)

22…第一合并流路

24、124、224…第二公共流路(第四流路)

26…第二合并流路

30、130、230…减振部

30a、130a…第一减振部

30b、130b…第二减振部

130c…第三减振部

32、132、232…空间

32a、132a…第一空间

32b、132b…第二空间

40…压电致动器基板

48…位移元件(加压部)

50…框体

74a、74b、74c、74d…输送辊

76…控制部

p…记录介质

d1…第一方向

d2…第二方向

d3…第三方向

d4…第四方向

d5…第五方向

d6…第六方向