一种无模板激光纳米原位图形化设备的制作方法

文档序号:23875737发布日期:2021-02-05 18:14阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种无模板激光纳米原位图形化设备,包括:计算机,其特征在于,所述计算机分别与激光作用机构、丝网刮膜机构、衬底趋近机构、激光对准机构相连接,所述激光作用机构包括激光器(2)、激光调节组件(3)和x-y平面激光移动组件,所述激光器(2)通过激光调节组件(3)、x-y平面激光移动组件与计算机(1)相连,所述计算机控制激光器(2)的激光功率、光斑大小、自动聚焦调节并实现对丝网刮膜机构在x-y平面扫描移动。2.根据权利要求1所述的一种无模板激光纳米原位图形化设备,其特征在于:所述x-y平面激光器移动组件包括x向精密丝杆(4)、y向精密丝杆(5)、x向高精度步进电机(6)、y向高精度步进电机(7),x向精密丝杆(4)设置有x向高精度步进电机(6),y向精密丝杆(5)设置有y向高精度步进电机(7),x向精密丝杆(4)和y向精密丝杆(5)交叉相连,激光器(2)设置于x向精密丝杆(4)上。3.根据权利要求1所述的一种无模板激光纳米原位图形化设备,其特征在于:所述丝网刮膜机构包括丝网板(8)、刮墨刀(9)、回墨刀(10)、步进电机g(11)和步进电机h(12),所述丝网板(8)与刮墨刀(9)和回墨刀(10)成角度设置,所述刮墨刀(9)和回墨刀(10)分别设有步进电机g(11)和步进电机h(12),所述步进电机g(11)和步进电机h(12)均通过计算机(1)分别控制刮墨刀(9)和回墨刀(10)在丝网板(8)上往复刮涂印刷材料。4.根据权利要求3所述的一种无模板激光纳米原位图形化设备,其特征在于:所述刮墨刀(9)和回墨刀(10)均为双面刮刀,由刮板框(901)、滑轨(902)、上刮刀(903)、下刮刀(904),刮板框(901)为长方形边框,两侧边设置滑轨(902),刮板框(901)内上下设置两个刮刀,刀面相对,且上刮刀(903)和下刮刀(904)的间距可沿滑轨(902)滑动调节,丝网板(8)从刮墨刀/回墨刀的上刮刀(903)和下刮刀(904)间穿过。5.根据权利要求3所述的一种无模板激光纳米原位图形化设备,其特征在于:所述丝网板与刮/回墨刀成30-90度角设置。6.根据权利要求1所述的一种无模板激光纳米原位图形化设备,其特征在于:所述激光对准机构包括有低倍率ccd摄像机(13)、高倍率ccd摄像机(14),所述低倍率ccd摄像机(13)、高倍率ccd摄像机(14)分别设置于丝网板(8)附近且与计算机(1)连接,所述低倍率ccd摄像机(13)大视场内识别、初步定位,所述高倍率ccd摄像机(14)进行图形形貌局部精细显示,对衬底(15)和丝网板(8)的间距进行定位测量。7.根据权利要求1所述的一种无模板激光纳米原位图形化设备,其特征在于:所述衬底趋近机构包括衬底工作台(16)、电动升降平台(17)、升降平台控制器(18)、温控组件(19)、真空管路(21)和抽真空泵(22),所述衬底工作台(16)表面有若干吸附孔(20),通过真空管路(21)与抽真空泵(22)连接,吸附固定衬底(15);所述衬底工作台(16)设置于电动升降平台(17)上,电动升降平台(17)通过升降平台控制器(18)与计算机(1)相连接,由激光对准机构精准测距,升降平台控制器(18)对衬底工作台(16)高度进行精准调控;所述衬底工作台(16)通过温控组件(19)和计算机(1)连接,实现衬底图形固化加热的温度控制。
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