液体喷出头的制作方法

文档序号:26539049发布日期:2021-09-07 20:59阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种液体喷出头,具备:压力室;压电致动器,其使所述压力室的容积发生变化,所述压电致动器具备:振动板,其构成所述压力室的一个壁面;下电极,其被形成在所述振动板上;压电体,其被形成在所述下电极上;上电极,其被形成在所述压电体以及所述振动板上,在从与所述振动板正交的第一方向进行观察时,所述下电极以及所述压电体与所述压力室的中心部不重叠,在从所述第一方向进行观察时,所述下电极、所述压电体以及所述上电极与所述压力室的端部重叠,在从所述第一方向进行观察时,所述上电极与所述压力室的所述中心部重叠。2.如权利要求1所述的液体喷出头,其中,在从所述第一方向进行观察时,被配置在所述压力室的所述中心部与所述压力室的所述端部之间的所述压电体的第一端面相比于被配置在所述压力室的所述中心部与所述压力室的所述端部之间的所述下电极的第二端面,更接近所述压力室的所述中心部,所述压电体的所述第一端面与所述下电极的所述第二端面之间的距离为所述下电极上的所述压电体的厚度以上。3.如权利要求1或2所述的液体喷出头,其中,在从所述第一方向进行观察时,所述压电致动器具备保护膜,所述保护膜被形成在与所述压力室的所述端部相比靠外侧的所述上电极以及所述压电体上。4.如权利要求3所述的液体喷出头,其中,所述保护膜对所述上电极的与所述压电体以及所述振动板相反的一侧的第一面和与所述第一面交叉的侧面进行覆盖。5.如权利要求1或2所述的液体喷出头,其中,所述压力室以及所述压电致动器被形成多个,所述下电极为针对每个所述压电致动器而被形成的独立电极,所述上电极为多个所述压电致动器所共用的共用电极,并且对所述压电体的与所述下电极相反的一侧的第二面和与所述第二面交叉的侧面进行覆盖。

技术总结
本发明提供一种能够在高湿度的环境下对漏电流的增加进行抑制的液体喷出头。记录头(3)具备:压力室(22);压电致动器,其使压力室(22)的容积发生变化,压电致动器具备:振动板(21),其构成压力室(22)的一个壁面;下电极(30),其被形成在振动板(21)上;压电体(31),其被形成在下电极(30)上;上电极(32),其被形成在压电体(31)以及振动板(21)上,在从与振动板(21)正交的


技术研发人员:古池晴信 角浩二 中山雅夫
受保护的技术使用者:精工爱普生株式会社
技术研发日:2021.03.01
技术公布日:2021/9/6
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