技术特征：
1.一种压电元件，其为在基板上依次层叠有第一电极、种子层、压电体层和第二电极的压电元件，其特征在于，所述种子层由作为结构元素而包含铅、铁以及钛的复合氧化物构成。2.如权利要求1所述的压电元件，其特征在于，所述种子层中所包含的复合氧化物由下式(1)来表示，所述式(1)为，pb
x
fe
y
ti
(1
‑
y)
o
z
。3.如权利要求2所述的压电元件，其特征在于，满足1.00≤x＜2.00的关系。4.如权利要求2或3所述的压电元件，其特征在于，满足0.20≤y≤0.80的关系。5.如权利要求2所述的压电元件，其特征在于，满足1.3≤(x/y)＜13.0的关系。6.如权利要求2所述的压电元件，其特征在于，满足z＝3.00的关系。7.如权利要求1所述的压电元件，其特征在于，所述第一电极包含铂。8.如权利要求1所述的压电元件，其特征在于，所述基板包含氧化锆。9.如权利要求1所述的压电元件，其特征在于，所述种子层的厚度薄于所述压电体层的厚度。10.如权利要求1所述的压电元件，其特征在于，所述种子层的厚度处于20nm以上且200nm以下的范围内。11.如权利要求1所述的压电元件，其特征在于，所述种子层的相对介电常数为100f
·
m
‑1以上。12.如权利要求1所述的压电元件，其特征在于，在通过x射线衍射法而解析了所述压电体层时，(100)取向度高于(110)取向度。13.如权利要求1所述的压电元件，其特征在于，所述压电体层由具有钙钛矿结构的复合氧化物构成，所述钙钛矿结构作为结构元素而包含铅、锆以及钛。14.如权利要求1所述的压电元件，其特征在于，所述种子层的所述复合氧化物具有钙钛矿结构。15.一种液体喷出头，其特征在于，具有：权利要求1至14中的任一项所述的压电元件；驱动电路，其对所述压电元件进行驱动。16.如权利要求15所述的液体喷出头，其特征在于，所述压电元件包括被排列的多个压电元件，所述第一电极被独立地设置于所述多个压电元件上，所述第二电极被共同地设置于所述多个压电元件上。17.如权利要求15所述的液体喷出头，其特征在于，
所述压电元件包括被排列的多个压电元件，所述第一电极被共同地设置于所述多个压电元件上，所述第二电极被独立地设置于所述多个压电元件上。18.一种液体喷出装置，其特征在于，具有：权利要求15至17中的任一项所述的液体喷出头；控制部，其对所述液体喷出头的动作进行控制。
技术总结
本发明提供一种提高压电元件的特性的压电元件、液体喷出头以及液体喷出装置。压电元件为，在基板上依次层叠有第一电极、种子层、压电体层和第二电极的压电元件，种子层由作为结构元素而包含铅、铁以及钛的复合氧化物构成。铁以及钛的复合氧化物构成。铁以及钛的复合氧化物构成。
技术研发人员：北田和也
受保护的技术使用者：精工爱普生株式会社
技术研发日：2021.05.17
技术公布日：2021/11/25