基板处理装置和用于基板处理装置的控制方法与流程

本发明涉及一种基板处理装置，并且更具体地，涉及一种用于向基板喷墨并在基板上打印的基板处理装置以及一种用于基板处理装置的控制方法。

背景技术：

1、在显示器制造设备中，存在一种喷射系统，其将诸如取向膜的化学墨水喷射到玻璃中。

2、此种喷射系统以压电方式驱动喷头的喷嘴，同时在二维平面上移动喷墨头和排出模块传送装置，以将墨水喷射到显示器玻璃上。

3、在这种情况下，在喷射系统中，当在二维平面上划分x轴和y轴时，在将待对其下部传送基底施加墨水的传送对象向x轴传送一定距离的状态下，在设置在传送对象上并联接到墨水排出模块的排出模块传送装置沿着y轴移动的同时施加墨水，并且在所述施加完成后，通过重复执行将待再次施加墨水的传送对象向x轴移动一定距离然后将排出模块传送装置传送回y轴的过程，将墨水印刷在传送对象的整个上表面上。

4、在这种情况下，喷射系统通过编码器接收脉冲波，以确定何时喷射墨水。编码器以排出模块传送装置的特定移动间隔产生脉冲波，并且排墨控制器接收脉冲波。接收脉冲波的排墨控制器基于接收的脉冲波的数量检查排出模块传送装置的位置，然后排出墨水。

5、如果分辨率设置为100nm，则当排出模块传送装置移动100nm时，编码器产生一个脉冲波信号。在这种情况下，排墨控制器确认排出模块传送装置移动100nm，并且基于此事件，执行各种控制驱动，诸如排出模块传送装置的pid控制。在这种情况下，排墨控制器确定排出模块传送装置对于一个脉冲波信号已经移动了100nm，并且当相应的区域属于应该喷射墨水的位置时喷射墨水。

6、在这种情况下，当排出模块传送装置连续移动时，喷射系统喷射墨水。此时，在编码器的分辨率为100nm的情况下，当排出模块传送装置以20um为单位移动时，喷射系统可计数大约200个脉冲波并识别喷射位置。

7、由于常规的喷射系统具有低打印分辨率和充足的生产时间，所以通常使用通过以菊花链方式连接多个排墨控制器来施加墨水的方法。

8、然而，最近，人们努力最大限度地缩短生产时间，结果由于电缆长度的不同而导致信号延迟。为了解决这个问题，排墨控制器采用了一种设置信号分配器的输出定时的方法，即使电缆的长度不同，也具有相同的时间延迟。

9、然而，由于此种调整信号分离器的时间延迟的设置方式并未提供一种提高打印机分辨率的直接技术，因此需要一种根本的解决方案来提高打印机分辨率。

10、另一方面，编码器周期性地产生脉冲波，并且因为从编码器输出的脉冲波由于输入/输出区间中的各种变量而被遗漏或重叠，所以排墨控制器的控制时间可能改变。

技术实现思路

1、本发明致力于提供一种基板处理装置和一种用于基板处理装置的控制方法，其可通过以比编码器产生的脉冲波更高的分辨率确定排墨控制器的排出时间来提高打印机的分辨率。

2、本发明还致力于提供一种基板处理装置和一种用于基板处理装置的控制方法，其即使在输入到排墨控制器的编码器的脉冲波被省略或重叠的情况下，也可确保正常的墨水排出定时。

3、本发明的目的不限于此，并且本领域的普通技术人员将从以下描述中清楚地理解未提及的其他目的。

4、本发明的示例性实施例提供了一种基板处理装置，其包括：基板传送部分，在所述基板传送部分中放置传送对象；以及喷射系统，其包括；喷墨主体，其配置成从基板传送部分的上表面向传送对象喷射墨水，并在传送对象上打印；墨水模块传送部分，其配置成传送喷墨主体；排墨控制器，其配置成通过与喷墨主体互锁来控制喷墨主体的喷墨定时；速度测量部分，其配置成指定喷墨主体的移动速度；以及信号分离器，其配置成通过与速度测量部分互锁来接收喷墨主体的移动速度，并且将根据移动速度预测的预测移动信号传送到排墨控制器。

5、根据示例性实施例，喷射系统还可以包括编码器，所述编码器设置在墨水模块传送部分周围，并且配置成针对墨水模块传送部分的每个单位移动距离输出移动信号。

6、根据示例性实施例，信号分离器可以使用速度曲线和预测脉冲波曲线，所述速度曲线用于喷墨主体的移动，所述预测脉冲波曲线配置成产生根据速度曲线的速度预测的预测脉冲波。

7、根据示例性实施例，可以将速度曲线划分成等效加速度区间和等效速度区间，并且在等效速度区间中，相同间隔的预测脉冲波可以被传输到排墨控制器。

8、根据示例性实施例，在等效加速度区间中，间隔与等效加速度区间的斜率成比例变窄的预测脉冲波可以被传输到排墨控制器。

9、根据示例性实施例，多个喷墨主体和多个排墨控制器可以互锁以喷射墨水，并且信号分离器可以向所述多个排墨控制器中的每一个输出预测脉冲波。

10、根据示例性实施例，排墨控制器可以通过对预测脉冲波的输入次数进行计数来获取喷墨主体的位置信息。

11、根据示例性实施例，墨水模块传送部分可以包括：模块基底，在所述模块基底中安装喷墨主体；致动器驱动器，其配置成在一个方向上传送模块基底；以及墨水模块位置控制器，其配置成通过控制致动器驱动器移动模块基底来控制墨水的喷射位置。

12、根据示例性实施例，墨水模块位置控制器可以通过与编码器互锁从编码器获取模块基底的位置信息。

13、根据示例性实施例，基板传送部分还可以包括基底控制器，其配置成根据预定的工作命令传送所述传送对象。

14、本发明的另一示例性实施例提供一种用于基板处理装置的控制方法，其包括：喷墨主体传送步骤，其中通过墨水模块传送部分移动设置在传送对象的上部部分中的喷墨主体；速度测量步骤，其中测量喷墨主体的移动速度，并通过速度测量部分将移动速度转换成数字速度值，并将经转换的数字速度值传输到信号分离器；信号分离器信号转换步骤，其中通过信号分离器产生响应于数字速度值而改变的预测运动信号；信号分配步骤，其中将来自信号分离器的预测移动信号输出和分配到排墨控制器，并基于来自排墨控制器的预测移动信号确认喷墨主体的位置；以及喷墨控制步骤，其中基于来自排墨控制器的预测移动信号调整和设置喷墨主体的位置信息，并且当经调整的位置对应于喷墨位置时，发送排出命令以从喷墨主体喷射墨水。

15、根据示例性实施例，在信号分离器信号转换步骤之前的步骤中，还可以包括编码器信号输出步骤，其中当墨水模块传送部分移动时，针对每个单位移动距离从编码器输出移动信号，并且在信号分离器信号转换步骤中，可以基于从编码器输出的移动信号的初始值产生预测脉冲波并将其传送到排墨控制器。

16、根据示例性实施例，在信号分离器信号转换步骤中，信号分离器可以使用速度曲线和预测脉冲波曲线，所述速度曲线用于喷墨主体的移动，所述预测脉冲波曲线配置成根据速度曲线的速度产生预测脉冲波。

17、根据示例性实施例，可以将速度曲线划分成等效加速度区间和等效速度区间，并且在等效速度区间中，相同间隔的预测脉冲波被传输到排墨控制器。

18、根据示例性实施例，在等效加速度区间中，间隔与等效加速度区间的斜率成比例变窄的预测脉冲波被传输送到排墨控制器。

19、根据示例性实施例，在信号分配步骤中，将预测移动信号输出到多个排墨控制器中的每一个。

20、根据示例性实施例，墨水模块传送部分可以包括：模块基底，在所述模块基底中安装喷墨主体；致动器驱动器，其配置成在一个方向上移动模块基底；以及墨水模块位置控制器，其配置成通过控制致动器驱动器移动模块基底来控制墨水的喷射位置。

21、根据示例性实施例，墨水模块位置控制器可以通过与编码器互锁而从编码器获取模块基底的位置信息。

22、根据示例性实施例，在喷墨主体传送步骤之前的步骤中，还可以包括传送对象传送步骤，其中放置在基底传送部分上的传送对象通过基底控制器的预定命令传送，并且放置在喷墨主体的下部部分的中间的特定位置中。

23、本发明的又一示例性实施例提供了一种基板处理装置，其包括：基板传送部分，在所述基板传送部分中放置传送对象；以及喷射系统，该喷射系统包括：喷墨主体，其配置成将墨水从基板传送部分的上表面喷射到传送对象并在传送对象上打印；墨水模块传送部分，其配置成传送喷墨主体；排墨控制器，其配置成通过与喷墨主体互锁来控制喷墨主体的喷墨定时；速度测量部分，其配置成指定喷墨主体的移动速度；以及信号分离器，其配置成通过与速度测量部分互锁来接收喷墨主体的移动速度，并将根据移动速度预测的预测移动信号传输到排墨控制器，并且喷射系统还包括编码器，其设置在墨水模块传送部分周围，并且配置成针对墨水模块传送部分的每个单位移动距离输出移动信号，信号分离器基于从编码器输出的移动信号的初始值产生预测脉冲波，并且将预测脉冲波传输到排墨控制器，信号分离器使用速度曲线和预测脉冲波曲线，所述速度曲线用于喷墨主体的运动，所述预测脉冲波曲线配置成根据速度曲线的速度产生预测脉冲波，速度曲线被分成等效加速度区间和等效速度区间，并且在等效速度区间中，相同间隔的预测脉冲波被传输到排墨控制器，在等效加速度区间中，间隔与等效加速度区间的斜率成比例变窄的预测脉冲波被传输到排墨控制器，多个喷墨主体和多个排墨控制器互锁以喷墨，信号分离器将预测脉冲波输出到所述多个排墨控制器中的每一个，排墨控制器通过对预测脉冲波的输入次数进行计数来获取喷墨主体的位置信息，墨水模块传送部分包括：模块基底，在所述模块基底中安装喷墨主体；致动器驱动器，其配置成在一个方向上传送模块基底；以及墨水模块位置控制器，其配置成通过控制致动器驱动器移动模块基底来控制墨水的喷射位置，墨水模块位置控制器通过与编码器互锁而从编码器获取模块基底的位置信息，并且基板传送部分还包括基底控制器，其配置成根据预定的工作命令传送所述传送对象。

24、根据本发明的示例性实施例，通过基于编码器的运动信号和数字速度值向排墨控制器输出预测脉冲波，信号分离器可以将移动信号分离到多个排墨控制器，通过产生比编码器的脉冲波更精确的预测脉冲波，可提高打印分辨率。此外，可以忽略在编码器和信号分离器之间产生的噪声，并且即使脉冲波丢失或重叠，由于产生了预测脉冲波，所以对喷墨主体的排出定时具有避免误差的效果。

25、本发明的效果不限于上述效果，并且本领域技术人员可以从本说明书和附图清楚地理解未提及的效果。