一种晶圆多片印刷型半自动丝网印刷机的制作方法

1.本实用新型涉及丝网印刷机技术领域，具体为一种晶圆多片印刷型半自动丝网印刷机。


背景技术：

2.丝网印刷机是用丝网印版施印的机器，属于印刷机的一种，丝网印刷机是印刷文字和图像的机器，是用于生产印刷品的机器或设备的总称,因晶圆手动镀膜劳动强度大,镀膜质量参差不齐效率低，为此开发了一种半自动丝网印刷机，提高镀膜质量和效率。
3.例如公开号为cn213891715u的中国专利公开了一种圆硅片印刷设备，通过印刷台面布置的环形小孔，对圆硅片进行吸附，按动开始按钮，印刷台面吸气将圆硅片吸附在台面上，印刷台面自动回到印刷位置，开始自动印刷及离网，完成印刷后印刷台面自动运行至外侧，取消吸气，虽然做到了提高镀膜质量和效率，但是其台面与定位一体，升降机构与台面一体，台面部分质量重惯量高，定位部分造成台面需开豁口，台面整体性差印刷刮刀经过时不平；且升降机构隐藏于台面下方框架内，维护不便。


技术实现要素：

4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶圆多片印刷型半自动丝网印刷机，将台面、定位、升降三者分离，具有台面质量轻惯量低，台面整体性好，升降组件布置在外部便于维护的优点，解决现有的半自动丝网印刷机台面整体性差和不方便维护问题。
6.(二)技术方案
7.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆多片印刷型半自动丝网印刷机，包括机架组件；
8.所述机架组件顶部设置有印刷装置，所述机架组件顶部设置有台面组件，所述机架组件顶部设置有定位组件，所述机架组件顶部设置有升降组件，所述台面组件滑动连接于所述定位组件上方，所述升降组件位于所述定位组件中间，并位于所述台面组件下方。
9.优选的：所述机架组件包括直线导轨和架体；所述架体顶部对称设置有所述直线导轨。
10.优选的：所述台面组件包括上台面、下台面、顶针和连接支座；两个所述直线导轨上的滑块分别与两个所述连接支座底部固定连接，所两个述连接支座顶部与所述下台面底部固定连接，所述下台面顶部设置有所述上台面，所述下台面底部设置有多个所述顶针。
11.优选的：所述台面组件还包括圆孔和环形沟槽；所述上台面上设置有多组所述圆孔，所述下台面上开设有多组所述环形沟槽，所述环形沟槽与所述圆孔同心对应。
12.优选的：所述台面组件还包括轴承套、顶针本体、滑动轴承、压缩弹簧、孔体一和孔体二；所述顶针由所述轴承套、所述顶针本体、所述滑动轴承和所述压缩弹簧组成，所述上台面上开设有多个所述孔体一，所述下台面上开设有多个所述孔体二。
13.优选的：所述定位组件包括定位气缸、连接件、x导向轴、x微调块一和定位模板；所述架体顶部对称设置有两组所述定位气缸，每组所述定位气缸分为两个，每两个所述定位气缸顶部均设置有所述连接件，每两个所述连接件之间均对称设置有所述x导向轴，每两个所述x导向轴上均设置有多个所述x 微调块一，每个所述x微调块一底部均设置有所述定位模板。
14.优选的：所述定位组件还包括x锁紧块、y微调块、连接片、y导向轴、x 微调块二和y锁紧块；每个所述x微调块一侧面均设置有所述x锁紧块，每个所述x锁紧块内侧壁均与所述x导向轴外侧壁贴紧，每个所述x微调块一与所述定位模板之间均设置有所述y微调块，每个所述x微调块一侧面均设置有所述连接片，每个所述连接片侧面均设置有所述y锁紧块，每个所述y微调块上均对称设置有所述y导向轴，每组所述y导向轴分别贯穿一个所述x微调块一，所述连接件顶部设置有所述x微调块二。
15.优选的：所述升降组件包括顶板、升降板、立板、连接板、导向座、导向轴和升降气缸；所述架体顶部设置有所述连接板，所述x导向轴底部设置有所述升降气缸，所述升降气缸输出端设置有所述升降板，所述升降板顶部设置有多个所述立板，每个所述立板顶部均设置有所述顶板，所述顶板数量与所述顶针数量对应，所述连接板底部设置有多个所述导向座，每个所述导向座内均设置有所述导向轴，每个所述导向轴顶部均与所述升降板底部固定连接。
16.(三)有益效果
17.与现有技术相比，本实用新型提供了一种晶圆多片印刷型半自动丝网印刷机，具备以下有益效果：
18.本实用新型具备台面质量轻惯量低，台面无需另开豁口整体性好，升降组件布置在外部便于维护的优点，将需要印刷的晶圆卡在定位模板卡合面，通过圆孔对晶圆进行吸附后，通过印刷装置进行自动印刷及离网，直至完成印刷后，通过气缸驱动，使上台面移动至升降组件顶部后，升降气缸工作，使顶板通过顶针将晶圆顶起，手动取出晶圆后，完成印刷，做到了在对晶圆印刷时，实现对晶圆的位置进行快速固定，且通过吸附的方式，防止晶圆位置发生偏移，方便印刷工作，且能对多个晶圆同时进行印刷工作，提高工作效率，并且还能通过升降组件，方便将晶圆取出，便于工作人员使用，解决现有的半自动丝网印刷机台面整体性差和不方便维护问题。
附图说明
19.图1为本实用新型结构示意图；
20.图2为本实用新型中台面组件的正面结构示意图；
21.图3为本实用新型中上台面的结构示意图；
22.图4为本实用新型中下台面的结构示意图；
23.图5为本实用新型中定位组件的立体结构示意图；
24.图6为本实用新型中升降组件的立体结构示意图。
25.图中：1、机架组件；11、直线导轨；12、架体；
26.2、印刷装置；
27.3、台面组件；31、上台面；311、圆孔；312、孔体一；32、下台面；321、环形沟槽；322、
孔体二；33、顶针；331、轴承套；332、顶针本体；333、滑动轴承；334、压缩弹簧；34、连接支座；
28.4、定位组件；41、定位气缸；42、连接件；43、x导向轴；440、x锁紧块；441、x微调块一；442、y微调块；443、连接片；444、y导向轴；445、 x微调块二；446、y锁紧块；447、定位模板；
29.5、升降组件；51、顶板；52、升降板；53、立板；54、连接板；55、导向座；56、导向轴；57、升降气缸。
具体实施方式
30.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
31.实施例一
32.一种晶圆多片印刷型半自动丝网印刷机，包括机架组件1；所述机架组件 1顶部设置有印刷装置2，所述机架组件1顶部设置有台面组件3，所述机架组件1顶部设置有定位组件4，所述机架组件1顶部设置有升降组件5，所述台面组件3滑动连接于所述定位组件4上方，所述升降组件5位于所述定位组件4中间，并位于所述台面组件3下方；所述机架组件1包括直线导轨11和架体12；所述架体12顶部对称设置有所述直线导轨11；所述台面组件3包括上台面31、下台面32、顶针33和连接支座34；两个所述直线导轨11上的滑块分别与两个所述连接支座34底部固定连接，所两个述连接支座34顶部与所述下台面32底部固定连接，所述下台面32顶部设置有所述上台面31，所述下台面32底部设置有多个所述顶针33；所述台面组件3还包括圆孔311和环形沟槽321；所述上台面31上设置有多组所述圆孔311，所述下台面32上开设有多组所述环形沟槽321，所述环形沟槽321与所述圆孔311同心对应；所述定位组件4包括定位气缸41、连接件42、x导向轴43、x微调块一441和定位模板447；所述架体12顶部对称设置有两组所述定位气缸41，每组所述定位气缸41分为两个，每两个所述定位气缸41顶部均设置有所述连接件42，每两个所述连接件42之间均对称设置有所述x导向轴43，每两个所述x导向轴43上均设置有多个所述x微调块一441，每个所述x微调块一441底部均设置有所述定位模板447；所述升降组件5包括顶板51、升降板52、立板53、连接板54、导向座55、导向轴56和升降气缸57；所述架体12顶部设置有所述连接板54，所述x导向轴43底部设置有所述升降气缸57，所述升降气缸 57输出端设置有所述升降板52，所述升降板52顶部设置有多个所述立板53，每个所述立板53顶部均设置有所述顶板51，所述顶板51数量与所述顶针33 数量对应，所述连接板54底部设置有多个所述导向座55，每个所述导向座55 内均设置有所述导向轴56，每个所述导向轴56顶部均与所述升降板52底部固定连接。
33.参阅图1-6，在使用时，通过气缸驱动，使连接支座34通过滑块在直线导轨11上滑动，连接支座34滑动的同时带动下台面32和上台面31向外滑出，直至下台面32和上台面31滑动至定位模板447底部后，通过多个定位气缸 41通过多个连接件42以及多个x导向轴43带动多个x微调块一441向下滑动，直至多个定位模板447均位于上台面31顶部后，将需要印刷的晶圆卡在定位模板447卡合面，环形沟槽321汇集一起并与台面吸附设备通过管路连接，通过环形分布的多个圆孔311对晶圆进行吸附，实现对多个晶圆同时进行固定，此时多
个定位气缸41输出轴同时向上滑动，使多个定位模板447同时与多个晶圆脱离，通过气缸驱动使连接支座34通过滑块在直线导轨11移动，直至上台面31以及上台面31上的多个晶圆移动至印刷装置2底部后，使上台面31 返回至印刷位置，通过印刷装置2进行自动印刷及离网，直至完成印刷后，通过气缸驱动，使连接支座34通过滑块在直线导轨11上滑动，直至上台面31 移动至升降组件5顶部后，台面吸附设备停止工作，使多个晶圆同时与上台面 31脱附后，升降气缸57工作，使升降气缸57推动升降板52向上滑动，升降板52通过多个立板53带动多个顶板51向上滑动，使多个顶板51同时将多个顶针33顶出，将上台面31上的晶圆顶起，手动取出晶圆后，完成印刷，升降气缸57缩回，并复位，放置下一批晶圆，重复操作，持续进行印刷工作。
34.实施例二
35.在根据实施例一的基础上增加了辅助的功能；
36.所述台面组件3还包括轴承套331、顶针本体332、滑动轴承333、压缩弹簧334、孔体一312和孔体二322；所述顶针33由所述轴承套331、所述顶针本体332、所述滑动轴承333和所述压缩弹簧334组成，所述上台面31上开设有多个所述孔体一312，所述下台面32上开设有多个所述孔体二322。
37.参阅图1-6，在使用时，当升降气缸57工作时，使多个顶板51分别与多个顶针本体332向上滑动，顶针本体332通过孔体一312和孔体二322在滑动轴承333的导向下滑动，方便顶起晶圆。
38.实施例三
39.在根据实施例一或实施例二的基础上增加了调节的功能；
40.所述定位组件4还包括x锁紧块440、y微调块442、连接片443、y导向轴444、x微调块二445和y锁紧块446；每个所述x微调块一441侧面均设置有所述x锁紧块440，每个所述x锁紧块440内侧壁均与所述x导向轴43 外侧壁贴紧，每个所述x微调块一441与所述定位模板447之间均设置有所述 y微调块442，每个所述x微调块一441侧面均设置有所述连接片443，每个所述连接片443侧面均设置有所述y锁紧块446，每个所述y微调块442上均对称设置有所述y导向轴444，每组所述y导向轴444分别贯穿一个所述x微调块一441，所述连接件42顶部设置有所述x微调块二445。
41.参阅图1-6，在需要调节时，拧松多个x锁紧块440，使多个x微调块一 441均能在两个x导向轴43上滑动，直至将多个x微调块一441位置调节合适后，反方向拧动x锁紧块440，通过x锁紧块440与x导向轴43相对锁定，对多个x微调块一441进行固定，依次拧松多个y锁紧块446后，可使多个y 微调块442带动多个x微调块一441在每组y导向轴444上滑动，直至将多个 x微调块一441位置调节合适后，依次拧紧多个y锁紧块446，通过多个连接片443实现x微调块一441与y微调块442相对锁定，对y微调块442进行固定。
42.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。