头芯片、液体喷射头和液体喷射记录装置的制作方法

本公开涉及头芯片、液体喷射头和液体喷射记录装置。

背景技术：

1、在搭载于喷墨打印机的头芯片中，在由压电材料形成的致动器板产生电场，使致动器板变形，从而在压力室内生成压力变动。由此，容纳于压力室内的墨水通过喷嘴孔而被吐出。

2、作为致动器板的变形模式，存在通过在致动器板产生的电场来使致动器板剪切变形(厚度滑移变形)的所谓的剪切模式。在剪切模式中，包括所谓的壁弯型或顶射型。

3、壁弯型的头芯片是在致动器板本身形成有压力室的构成。在壁弯型的头芯片中，夹着压力室而相对的分隔壁彼此沿接近或远离的方向变形，从而在压力室内生成压力变动。

4、另一方面，顶射型的头芯片是致动器板对于形成于流路部件的压力室相对地配置的构成。在顶射型的头芯片中，致动器板沿厚度方向变形，从而在压力室内生成压力变动。

5、可是，在顶射型的头芯片中，致动器板仅面向压力室的一面，因而与壁弯型的头芯片相比，存在难以确保压力室内的产生压力(弹性能量)这一课题。

6、在顶射型的头芯片中，作为谋求提高产生压力的构成，可考虑使致动器板层叠(例如，参照下述专利文献1)。

7、【在先技术文献】

8、【专利文献】

9、【专利文献1】日本特开平10-58674号公报。

技术实现思路

1、【发明要解决的课题】

2、然而，在以往技术中，即使设为使致动器板层叠，也难以使产生压力按层叠数增加。另外，在将致动器板层叠的情况下，有必要按各层配置电极等，因而牵涉到制造效率或成品率的下降。

3、本公开提供头芯片、液体喷射头和液体喷射记录装置，其不仅能够谋求制造效率或成品率的提高，而且能够使产生压力提高。

4、【用于解决课题的方案】

5、为了解决上述课题，本公开采用了以下的方案。

6、(1)本公开的一个方案所涉及的头芯片具备：流路部件，其形成有能容纳液体的压力室；致动器板，其以相对于前述压力室沿第1方向相对的状态配置于前述流路部件上，并且以前述第1方向为极化方向；以及驱动电极，其形成于前述致动器板，使前述致动器板沿前述第1方向变形而使前述压力室的容积变化，在前述致动器板中的从前述第1方向观察而与前述压力室重合的部分，形成有由相对于在前述第1方向上朝向前述流路部件的第1表面突出的凸部或相对于前述第1表面凹陷的凹部构成的形状变化部，前述驱动电极具备：第1电极，其形成于前述形状变化部的表面；以及第1对置电极，其在前述致动器板中的在前述第1方向上朝向与前述第1表面相反的一侧的第2表面处与前述第1电极相对地形成，在前述第1对置电极与前述第1电极之间生成电位差。

7、依据本方案，通过在第1电极和第1对置电极之间产生电位差，能够沿致动器板的极化方向产生电场。由此，通过使致动器板以弯曲模式(双压电晶片型)沿z方向变形，能够使压力室内的容积变化。

8、特别地，在本方案中，通过在由凹部或凸部构成的形状变化部的表面形成第1电极，能够确保第1电极的表面积。因此，容易确保在第1电极和第1对置电极之间生成的电位差。其结果是，能够增大在致动器板产生的电场，能够使液体喷射时的压力室内的产生压力提高。另外，仅通过在形状变化部的表面形成第1电极就能够使产生压力提高，因而与如以往那样将多块致动器板重叠的构成相比，能够谋求制造效率或成品率的提高。而且，通过在致动器板形成形状变化部，能够提高致动器板在第1方向上的刚性。

9、(2)在上述(1)的方案所涉及的头芯片中，优选的是，前述形状变化部具备：端面，其朝向前述第1方向；以及侧面，其将前述端面的外周边缘和前述第1表面之间连接，并且朝向与前述第1方向交叉的第2方向，遍及前述端面和前述侧面地形成前述第1电极。

10、依据本方案，能够确保第1电极的表面积，因而能够使液体喷射时的压力室内的产生压力提高。

11、而且，通过在形状变化部的端面形成第1电极，能够使第1电极与第1对置电极的距离拉近。由此，容易增大在致动器板产生的电场，能够有效地使压力室内的产生压力提高。

12、(3)在上述(1)或(2)的方案所涉及的头芯片中，优选的是，前述驱动电极具备在前述第1表面处与前述第1电极相邻地形成并且在与前述第1电极之间生成电位差的第2电极。

13、依据本方案，通过在第1电极和第2电极之间产生电位差，能够沿与致动器板的极化方向交叉的方向产生电场。由此，通过使致动器板以剪切模式(顶射型)沿第1方向变形，能够使压力室的容积变化。在此情况下，能够通过剪切模式和弯曲模式双方的驱动模式来使致动器板沿第1方向变形，能够使压力室的产生压力提高。

14、(4)在上述(2)的方案所涉及的头芯片中，优选的是，前述驱动电极具备在前述第2表面处与前述第2电极相对地形成且与前述第1对置电极相邻地形成的第2对置电极，前述第2对置电极在与前述第2电极之间沿前述第1方向生成电位差，并且在与前述第1对置电极之间沿与前述第1方向交叉的第2方向生成电位差。

15、依据本方案，在致动器板的第2表面处，第1对置电极和第2对置电极相邻地形成，因而通过在第1对置电极与第2对置电极之间产生的电位差，能够使致动器板通过剪切模式(顶射型)来变形。

16、(5)在上述(1)至(4)的任一个的方案所涉及的头芯片中，优选的是，在前述致动器板，形成有相对于前述第2表面沿前述第1方向凹陷的槽部。

17、依据本方案，在致动器板沿第1方向变形时，槽部作为容许致动器板的变形的退避部起作用。由此，容易确保致动器板的变形量。

18、(6)在上述(5)的方案所涉及的头芯片中，优选的是，前述槽部沿前述第1方向贯通前述致动器板。

19、依据本方案，槽部贯通致动器板，因而容易容许液体喷射时的致动器板的变形。因此，能够使压力室的产生压力提高。

20、(7)在上述(5)或(6)的方案所涉及的头芯片中，优选的是，在前述槽部的内表面，形成有在与前述第1电极之间产生电位差的槽内电极。

21、依据本方案，通过在第1电极与槽内电极之间生成的电位差，在致动器板，沿与极化方向交叉的方向生成电场。其结果是，致动器板中的被形状变化部和槽部划分的部分(以下，称为划分部。)通过剪切模式来以向槽部内倒塌的方式进行厚度滑移变形。由此，在液体喷射时，划分部以槽部的容积扩大或缩小的方式变形。此时，槽部作为容许划分部的变形的退避部起作用，因而容易确保致动器板的变形量，能够使压力室的产生压力提高。

22、(8)本公开所涉及的液体喷射头具备上述(1)至(7)的任一个的方案所涉及的头芯片。

23、依据本方案，具备上述方案所涉及的头芯片，因而能够提供能够发挥期望的喷射性能的高质量的液体喷射头。

24、(9)本公开的一个方案所涉及的液体喷射记录装置具备上述(8)的方案所涉及的液体喷射头。

25、依据本方案，具备上述方案所涉及的液体喷射头，因而能够提供能够发挥期望的喷射性能的高质量的液体喷射记录装置。

26、【发明效果】

27、依据本公开的一个方案，不仅能够谋求制造效率或成品率的提高，而且能够使产生压力提高。