显示装置的检查装置、显示装置用母基板的检查方法及显示装置与流程

本申请基于2015年6月12日提出的日本专利申请第2015－119028号主张优先权，这里引用其全部内容。

技术领域

本发明涉及显示装置的检查装置、显示装置用母基板的检查方法及显示装置。

背景技术：

近年来，液晶显示装置及有机电致发光显示装置等显示装置正在被实用化。在这样的显示装置的制造过程中，进行点亮检查等各种动作检查。在这样的检查中使用的检查装置中，为了对形成在显示装置上的多个焊盘一起供给检查信号而需要多个探头。例如，公开了一种通过将阵列检查用的电路和单元(cell)检查用的电路一体地形成、来减少在检查时需要的探头的数量的技术。

另一方面，在检查装置的信号源的通道的总数超过显示装置的焊盘的总数或检查装置的探头的总数的情况、或焊盘的总数及焊盘间的间距(或焊盘的布局)按每个产品规格而不同的情况下，需要每次将探头重新设计来制作，导致成本的增大及检查效率的下降。

技术实现要素：

本发明提供一种显示装置的检查装置，具备：第1探头块，具有多个第1探头；探头块安装夹具，将上述第1探头块的位置改变自如地支承上述第1探头块；信号源，对上述多个第1探头供给信号；以及传送线缆，连接上述第1探头块与上述信号源。

另外，本发明提供一种显示装置用母基板的检查方法，使用检查装置， 该检查装置具备：第1探头块，具有多个第1探头；第2探头块，具备多个第2探头；探头块安装夹具，将上述第1及第2探头块的间隔改变自如地支承上述第1及第2探头块；信号源；以及传送线缆，连接上述第1及第2探头块与上述信号源；上述检查方法中，将上述第1及第2探头块的间隔匹配于第1焊盘组和第2焊盘组之间的间隔来调整，上述第1焊盘组设置于上述显示装置用母基板，由多个第1焊盘构成，上述第2焊盘组从上述第1焊盘组离开，由多个第2焊盘构成；使上述第1及第2探头分别与上述第1及第2焊盘接触。

另外，本发明提供一种显示装置，具备显示区域和具有检查用焊盘的周边区域，上述检查用焊盘具备由多个第1焊盘构成的第1焊盘组、和由多个第2焊盘构成的第2焊盘组；上述第1焊盘组与上述第2焊盘组相离，上述多个第2焊盘以与上述多个第1焊盘相同的间距排列。

附图说明

图1是概略地表示本实施方式的显示装置DSP的结构的图。

图2是表示图1所示的第1焊盘组PG1及第2焊盘组PG2的结构例的俯视图。

图3是表示用来检查本实施方式的显示装置DSP的检查装置1的结构例的图。

图4是表示能够应用到图3所示的检查装置1中的探头块10的结构例的图。

图5是用来说明能够应用到本实施方式的检查装置1中的检查方法的图。

图6是表示作为本实施方式的检查装置1的检查对象的母基板M的结构例的图。

图7是表示作为本实施方式的检查装置1的检查对象的母基板M的另一结构例的图。

图8是表示作为本实施方式的检查装置1的检查对象的母基板M的另一结构例的图。

图9是表示作为本实施方式的检查装置1的检查对象的母基板M的另 一结构例的图。

具体实施方式

根据本实施方式，提供一种显示装置的检查装置，具备：第1探头块，具有多个第1探头；探头块安装夹具，将上述第1探头块的位置改变自如地支承上述第1探头块；信号源，对上述多个第1探头供给信号；以及传送线缆，连接上述第1探头块与上述信号源。

根据本实施方式，提供一种显示装置用母基板的检查方法，使用检查装置，该检查装置具备：第1探头块，具有多个第1探头；第2探头块，具备多个第2探头；探头块安装夹具，将上述第1及第2探头块的间隔改变自如地支承上述第1及第2探头块；信号源；以及传送线缆，连接上述第1及第2探头块与上述信号源；上述检查方法中，将上述第1及第2探头块的间隔匹配于第1焊盘组和第2焊盘组之间的间隔来调整，上述第1焊盘组设置于上述显示装置用母基板，由多个第1焊盘构成，上述第2焊盘组从上述第1焊盘组离开，由多个第2焊盘构成；使上述第1及第2探头分别与上述第1及第2焊盘接触。

根据本实施方式，提供一种显示装置，具备显示区域和具有检查用焊盘的周边区域，上述检查用焊盘具备由多个第1焊盘构成的第1焊盘组、和由多个第2焊盘构成的第2焊盘组；上述第1焊盘组与上述第2焊盘组相离，上述多个第2焊盘以与上述多个第1焊盘相同的间距排列。

以下，参照附图对本实施方式进行说明。另外，公开只不过是一例，关于能够由本领域的技术人员容易就保持着发明的主旨的适当变更想到的形态，当然包含在本发明的范围中。此外，附图为了使说明变得更明确，有与实际的形态相比关于各部的宽度、厚度、形状等示意地表示的情况，但不过是一例，并不限定本发明的解释。此外，在本说明书和各图中，有时对发挥关于已表示的图中叙述的内容相同或类似的功能的构成要素赋予相同的标号，将重复的详细的说明适当省略。

作为本实施方式的显示装置，能够在具有液晶元件的液晶显示装置、具有有机电致发光(EL)元件等的自发光型显示装置、具有电泳元件等的电子纸型显示装置、应用了MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)的 显示装置、或应用了电致变色的显示装置等中使用。这样的显示装置例如可以在智能电话、平板终端、便携电话终端、个人计算机、电视机、车载装置、游戏设备等各种装置中使用。

图1是概略地表示本实施方式的显示装置DSP的结构的图。另外，这里示意地表示在说明中需要的主要部分的结构。

即，显示装置DSP具备平板状的显示面板PNL。显示面板PNL具备第1基板SUB1、和与该第1基板SUB1对置而配置的第2基板SUB2。这些第1基板SUB1及第2基板SUB2隔着密封件等被贴合。

这样的显示面板PNL具备显示图像的显示区域DA及比显示区域DA靠外侧的周边区域PR。显示区域DA由多个像素PX构成。在图示的例子中，显示区域DA形成为四边形状，但也可以形成为其他的多边形状，也可以形成为圆形状或椭圆形状等其他形状。显示面板PNL在显示区域DA中，具备栅极布线G、源极布线S、在各像素PX中与栅极布线G及源极布线S电连接的开关元件SW、在各像素PX中与开关元件SW电连接的像素电极PE、与像素电极对置的共通电极CE等。

在上述显示装置DSP是液晶显示装置的情况下，显示装置DSP既可以是通过由各像素PX使从背灯单元向显示面板PNL入射的光有选择地透射来显示图像的所谓透射型的液晶显示装置，也可以是通过由各像素PX使从外部朝向显示面板PNL入射的外光有选择地反射来显示图像的反射型的液晶显示装置，也可以是具备透射型及反射型双方的功能的半透射型的液晶显示装置。

另外，关于显示面板PNL的详细的结构在这里省略说明，但在显示面板PNL是在第1基板SUB1与第2基板SUB2之间保持着液晶层LC的液晶显示面板的情况下，显示面板PNL具有与以下显示模式对应的哪一种结构都可以，这些显示模式为：利用沿着基板主面的法线的纵电场的显示模式、利用相对于基板主面斜向倾斜的倾斜电场的显示模式、利用沿着基板主面的横电场的显示模式、还有将上述纵电场、横电场及倾斜电场适当组合利用的显示模式。例如，在利用纵电场的显示模式的情况下，第1基板SUB1具备像素电极PE，第2基板SUB2具备隔着液晶层LC而与像素电极PE对置的共通电极CE。此外，在利用横电场的显示模式的情况下，第 1基板SUB1具备像素电极PE及共通电极CE。

在图示的显示面板PNL中，周边区域PR形成为包围显示区域DA的框状。显示面板PNL在周边区域PR中具备检查部IS及信号供给部SS。

检查部IS具备用来供给显示装置DSP的动作检查所需要的检查信号的多个检查用焊盘。这里的动作检查，例如包括在向第1基板SUB1贴合第2基板SUB2之前检查点缺陷(第1基板SUB1上的布线间的短路或布线的断线)的有无等的品质检查、在将第2基板SUB2贴合到第1基板SUB1之后检查各像素是否正常地点亮的点亮检查等。这样的检查部IS具备由多个第1焊盘PA构成的第1焊盘组PG1、以及由多个第2焊盘PB构成的第2焊盘组PG2作为检查用焊盘。关于这些第1焊盘组PG1及第2焊盘组PG2的详细情况在后面叙述。

信号供给部SS在周边区域PR中位于第1焊盘组PG1与第2焊盘组PG2之间。这样的信号供给部SS具备用来供给在显示装置DSP上显示图像所需要的信号的端子。更具体地讲，信号供给部SS具备由多个第1端子TA构成的第1端子组TG1及由多个第2端子TB构成的第2端子组TG2。第1端子组TG1沿着第1基板SUB1的显示装置DSP的端边SA形成。另外，在图示的例子中，端边SA相当于第1基板SUB1的端边。第2基板SUB2的端边SB位于比端边SA靠显示区域DA侧。在该第1端子组TG1，安装柔性印刷电路基板等的信号供给源。第2端子组TG2形成在端边SA与端边SB之间。在该第2端子组TG2，安装驱动IC芯片等的信号供给源。

图2是表示图1所示的第1焊盘组PG1及第2焊盘组PG2的结构例的俯视图。另外，在图示的例子中，设端边SA及SB延伸的方向为第1方向X，设与第1方向X正交的方向为第2方向Y。

在图2中，构成第1焊盘组PG1的第1焊盘PA的总数与构成第2焊盘组PG2的第2焊盘PB的总数是相同数量。此外，第1焊盘组PG1中的第1焊盘PA的布局与第2焊盘组PG2中的第2焊盘PB的布局相同。这些第1焊盘组PG1及第2焊盘组PG2位于沿着端边SA及SB的同一直线上。

以下，着眼于第1焊盘组PG1对详细的结构进行说明。在图示的例子中，第1焊盘PA的总数是27个。第1焊盘PA如在图中放大那样，形成为沿着第1方向X具有宽度W并且沿着第2方向Y具有长度L的长方形 状。这样的第1焊盘PA具有在第2方向Y上排列为2列的布局，具有位于与端边SA接近的一侧的第1列R1、以及位于与端边SB接近的一侧的第2列R2。第1列R1具有13个第1焊盘PA，这些第1焊盘PA沿着第1方向X以等间距DX排列。第2列R2具有14个第1焊盘PA，这些第1焊盘PA沿着第1方向X以等间距DX排列。第1列R1及第2列R2中的第1焊盘PA的排列间距DX相同。第1列R1的第1焊盘PA与第2列R2的第1焊盘PA的沿着第2方向Y的间距DY是一定的。另外，这里的间距DX相当于第1焊盘PA的中心间的沿着第1方向X的间隔，间距DY相当于第1焊盘PA的中心间的沿着第2方向Y的间隔。

关于第2焊盘组PG2，第2焊盘PB以与第1焊盘PA的排列间距DX及DY相同的间距排列。第2焊盘PB形成为实质上与第1焊盘PA相同形状，如在图中放大那样，沿着第1方向X的宽度W及沿着第2方向Y的长度L都与第1焊盘PA相同。

在图2中，第1端子组TG1及第2端子组TG2位于第1焊盘组PG1与第2焊盘组PG2之间，但不受特别限制，也可以是在第1焊盘组PG1与第2焊盘组PG2之间仅设有第1端子组TG1及第2端子组TG2中的一方的结构、或者两者都没有设置的结构。此外，第1焊盘组PG1的第1焊盘PA的数量与第2焊盘组PG2的第2焊盘PB的数量不需要相等，也可以根据检查项目及检查方法、像素排列及检查用的布线的引绕等而使各自的数量不同。即，在后述的探头块中排列的探头的数量与各个焊盘组的焊盘的数量也可以不同。此外，第1焊盘PA及第2焊盘PB为在第2方向Y上以2列排列的布局，但也可以是1列，也可以是3列以上。第1焊盘组PG1的列数和第2焊盘组PG2的列数也可以不同。此外，第1焊盘组PG1及第2焊盘组PG2位于沿着端边SA及SB的同一直线上，但如果是矩形以外的面板的情况，则只要至少设置在沿着第1端子组TG1的延伸方向或第2端子组TG2的延伸方向的同一直线上就可以。

图3是表示用来检查本实施方式的显示装置DSP的检查装置1的结构例的图。这里，作为检查装置的一例，对排列有多个具有显示区域DA及周边区域PR的有效区域EF的显示装置用母基板M的检查装置1进行说明。在图示的例子中，在母基板M中，有效区域EF在第1方向X及第2 方向Y上分别排列。在各有效区域EF的周边区域PR中，形成有相当于上述检查用焊盘的第1焊盘组PG1及第2焊盘组PG2。在图示的例子中，母基板M被在第2方向Y上输送。

检查装置1具备多个探头块10、探头块安装夹具20、信号源30、传送线缆40等。另外，在图中，设与第1方向X及第2方向Y正交的方向为第3方向Z。

各个探头块10都是相同结构，具备多个探头。关于探头块10的详细情况在后面叙述。在本实施方式中，对应于1个有效区域EF设有至少两个探头块10。在图示的例子中，对于1个有效区域EF设有两个探头块，在说明上，为了将它们区别，以下将这些探头块称作第1探头块11及第2探头块12。第1探头块11在与第2探头块12之间隔开规定的间隔而配置。第1探头块11与有效区域EF中的第1焊盘组PG1对置，第2探头块12与该有效区域EF中的第2焊盘组PG2对置。第1探头块11及第2探头块12的沿着第1方向X的间隔与第1焊盘组PG1及第2焊盘组PG2的沿着第1方向X的间隔相等。

探头块安装夹具20支承多个探头块10。该探头块安装夹具20沿着第1方向X延伸，将第1探头块11及第2探头块12以将两者的间隔改变自如的方式支承。即，第1探头块11及第2探头块12分别能够沿着与第1方向X平行的图中的箭头A的方向移动。即，第1探头块11及第2探头块12匹配于作为检查对象的母基板M的第1焊盘组PG1与第2焊盘组PG2的间隔而沿着探头块安装夹具20移动。由此，第1探头块11及第2探头块12的间隔能够匹配于第1焊盘组PG1及第2焊盘组PG2的间隔来调整。

这样的探头块安装夹具20连接于升降机构21及滑动机构22。升降机构21具备沿着与第3方向Z平行的图中的箭头B的方向使探头块安装夹具20升降的结构。滑动机构22具备沿着与第2方向Y平行的图中的箭头C的方向使探头块安装夹具20滑动的结构。

信号源30具有检查所需要的规定的数量的通道。在信号源30中，分配给第1探头块用的通道的个数是与分配给第2探头块用的通道的个数相同的数量。

传送线缆40连接第1探头块11及第2探头块12的各自与信号源30。 连接在信号源30上的传送线缆40中的与第1探头块11相连的传送线缆40与在信号源30中分配给第1探头块用的通道连接。同样，连接在信号源30上的传送线缆40中的与第2探头块12相连的传送线缆40与在信号源30中分配给第2探头块用的通道连接。

图4是表示在图3所示的检查装置1中能够应用的探头块10的结构例的图。图中的(a)是探头块10的立体图，图中的(b)是从探头块10的探头侧观察的俯视图。

即，如图4(a)所示，探头块10在其下表面上具备多个探头PP。在图示的例子中，探头块10形成为长方体状，具有供探头块安装夹具20插入的贯通孔10H。在这样的探头块10连接有传送线缆40。

如图4(b)所示，探头块10具备在由第1方向X及第2方向Y规定的X－Y平面中以规定的布局排列的探头PP。探头PP的布局与图2所示的第1焊盘组PG1中的第1焊盘PA的布局相同。当然，探头PP的布局也与第2焊盘组PG2中的第2焊盘PB的布局相同。即，探头PP的总数是与第1焊盘PA的总数相同的数量，在图示的例子中是27个。这样的探头PP具有在第2方向Y上以2列排列的布局，具有与图2所示的第1焊盘PA的第1列R1及第2列R2分别对置的第1列R11及第2列R12。第1列R11具有13个探头PP，这些探头PP沿着第1方向X以等间距DX排列。第2列R12具有14个探头PP，这些探头PP沿着第1方向X以等间距DX排列。第1列R11及第2列R12中的各个探头PP的排列间距DX相同。第1列R11的探头PP与第2列R12的探头PP的沿着第2方向Y的间距DY是一定的。另外，这里的间距DX与第1焊盘PA的沿着第1方向X的间距DX相同，间距DY与第1焊盘PA的沿着第2方向Y的间距DY相同。

上述探头块10是与图3所示的第1探头块11及第2探头块12都相同的结构。即，对应于第1焊盘组PG1的第1探头块11具备的探头PP的总数是与对应于第2焊盘组PG2的第2探头块12具备的探头PP的总数相同的数量(在一例中是27个)。此外，第1探头块11中的探头PP的布局与第2探头块12中的探头PP的布局相同。换言之，第2探头块12中的探头PP以与第1探头块11中的探头PP的排列间距相同的间距排列。

接着，参照附图对能够在上述检查装置1中使用的检查方法的一例进 行说明。

图5是用来说明能够在本实施方式的检查装置1中使用的检查方法的图。

首先，如图5(a)所示，匹配于第1焊盘组PG1与第2焊盘组PG2之间的间隔D1，调整第1探头块11及第2探头块12的间隔D2。此时，将第1探头块11及第2探头块12根据需要而沿着探头块安装夹具20滑动移动，调整为两者的间隔D2与间隔D1相同。在一例中，检查装置1可以具备信息取得部50，该信息取得部50取得对第1探头块11及第2探头块12的间隔D2进行调整所需要的信息。例如，信息取得部50能够通过将母基板M的第1焊盘组PG1及第2焊盘组PG2的位置光学地读取，来取得需要的信息。或者，信息取得部50能够通过从母基板M读取其识别信息(批次号码等)，来取得需要的信息。或者，信息取得部50能够基于操作者输入的信息来取得需要的信息。在检查装置1中，第1探头块11及第2探头块12基于由信息取得部50取得的信息被驱动，并分别移动至规定的位置。

另外，这里的间隔D1相当于第1焊盘组PG1及第2焊盘组PG2的中心间的距离(或间距)，间隔D2相当于第1探头块11及第2探头块12的中心间的距离(或间距)。如图示那样，第1探头块11的第1探头PPA的总数与第1焊盘组PG1中的第1焊盘PA的总数是相同数量，第2探头块12的第2探头PPB的总数与第2焊盘组PG2中的第2焊盘PB的总数是相同数量。但是，如上述那样，各个探头块的探头的总数和对应的焊盘组中的焊盘的总数也可以不同。

接着，如图5(b)所示，使第1探头块11的第1探头PPA与第1焊盘组PG1的第1焊盘PA接触，并使第2探头块12的第2探头PPB与第2焊盘组PG2的第2焊盘PB接触。另外，此时滑动机构22使探头块安装夹具20移动，以使第1探头块11及第2探头块12分别位于第1焊盘组PG1及第2焊盘组PG2的正上方。升降机构21在进行检查时使探头块安装夹具20下降，使第1探头PPA及第2探头PPB分别与第1焊盘PA及第2焊盘PB接触。

接着，如图5(c)所示，从信号源30的各通道向第1探头PPA及第2 探头PPB分别供给检查信号。在本实施方式中，信号源30的通道的个数比第1探头PPA的总数与第2探头PPB的总数的总和、或第1焊盘PA的总数与第2焊盘PB的总数的总和少。因此，信号源30将从其至少1个通道输出的检查信号以相同的定时向第1探头块11及第2探头块12双方供给。由此，能够从具备有限的个数的通道的信号源30对全部的探头供给需要的检查信号。

在图示的例子中，第1探头PPA及第2探头PPB的总数(或第1焊盘PA及第2焊盘PB的总数)是54。相对于此，信号源30的通道的个数是48，比探头的总数(或焊盘的总数)少。因此，在第1探头块11及第2探头块12中，被供给共通的检查信号的探头在信号源30中被连接到相同的通道上。

在一例中，在第1焊盘组PG1中位于与第2焊盘组PG2接近的一侧的6个第1焊盘PA、以及在第2焊盘组PG2中位于与第1焊盘组PG1接近的一侧的6个第2焊盘PB相当于分别以相同的定时被供给相同的检查信号的共通焊盘。在信号源30中，与这6组共通焊盘对应而分配6个通道。即，信号源30的全部48个通道分别被分配给第1焊盘组PG1中的21个第1焊盘PA、第2焊盘组PG2中的21个第2焊盘PB、以及6组共通焊盘。并且，信号源30从各通道向各探头供给检查信号。这样的检查信号从各探头供给至各焊盘。

能够共通化的通道或焊盘例如是作为检查信号而被供给向共通电极CE输入的固定电位的信号、向共通电极CE输入的脉冲信号、驱动栅极布线所需要的固定电位的信号、老化用的脉冲信号、时钟信号、使能信号、选择信号等的通道或焊盘。另外，关于能够共通化的焊盘的配置或探头的配置，并不限于图示的例子。

然后，在检查结束时，升降机构21使探头块安装夹具20上升，使第1探头PPA及第2探头PPB分别从第1焊盘PA及第2焊盘PB离开。并且，滑动机构22使探头块安装夹具20移动到下个检查对象。

根据上述本实施方式，显示装置不论各个产品的规格如何，都具备由多个第1焊盘构成的第1焊盘组、和由与第1焊盘相同数量的第2焊盘构成的第2焊盘组，第2焊盘以与第1焊盘的排列间距相同的间距排列。因 此，对这样的显示装置供给检查信号的检查装置使用相同结构的探头块作为第1探头块及第2探头块，从而能够对第1焊盘组及第2焊盘组供给检查信号。

在第1焊盘组及第2焊盘组分别具有不同的结构的情况下，检查装置需要具备分别适合于第1焊盘组及第2焊盘组的探头焊盘，需要设计并制作至少两种探头块。根据本实施方式，通过设计并制作1种探头块，能够提供第1探头块及第2探头块，所以能够削减成本。除此以外，由于不论显示装置的规格如何，都能够使用相同的探头块，所以能够从显示装置的新产品的试制阶段开始进行检查，能够改善检查效率。

此外，即使是具备比检查所需要的探头的总数(或者，构成第1焊盘组的第1焊盘及构成第2焊盘组的第2焊盘的总数)少的通道数的信号源的检查装置，信号源也将从该至少1个通道输出的检查信号以相同的定时向第1探头块及第2探头块双方供给。即，被供给共通的检查信号的探头在信号源中被连接到相同的通道。因此，能够使信号源的通道共通化，能够以信号源的有限的通道数检查显示装置。

此外，在检查装置中，第1探头块及第2探头块以将其间隔可变自如的方式被支承。因此，即使按每个作为检查对象的母基板而第1焊盘组及第2焊盘组的间隔不同，通过调整第1探头块及第2探头块的间隔，对哪个母基板都能够进行检查。

进而，在检查装置中，探头块的数量也能够增减。因此，即使按每个作为检查对象的母基板而检查对象数不同，通过调整探头块的数量，对哪个母基板都能够进行检查。

这里，对作为本实施方式的检查装置1的检查对象的各种母基板M进行说明。

图6所示的母基板M是沿着第1方向X的长度比沿着第2方向Y的长度短的长方形状。形成在该母基板M上的有效区域EF是沿着第1方向X的长度比沿着第2方向Y的长度短的长方形状。

图7所示的母基板M是沿着第1方向X的长度比沿着第2方向Y的长度短的长方形状。形成在该母基板M上的有效区域EF是沿着第1方向X的长度比沿着第2方向Y的长度长的长方形状。

图8所示的母基板M是沿着第1方向X的长度比沿着第2方向Y的长度长的长方形状。形成在该母基板M上的有效区域EF是沿着第1方向X的长度比沿着第2方向Y的长度短的长方形状。

图9所示的母基板M是沿着第1方向X的长度比沿着第2方向Y的长度长的长方形状。形成在该母基板M上的有效区域EF是沿着第1方向X的长度比沿着第2方向Y的长度长的长方形状。

在哪个母基板M中，形成在各有效区域EF中的第1焊盘组PG1及第2焊盘组PG2都是相同的结构。因此，根据本实施方式的检查装置1，不论母基板M的尺寸及有效区域EF的尺寸如何，通过将第1探头块11及第2探头块12的间隔匹配于第1焊盘组PG1及第2焊盘组PG2的间隔来调整，不用变更探头块就能够进行检查。

另外，在上述例子中，对1个有效区域具备两个焊盘组、对这样的有效区域使用两个探头块检查的情况进行了说明，但在1个有效区域具备3个以上的焊盘组的情况下，也可以对有效区域使用3个以上的探头块进行检查。在这样的情况下，也能够通过将在各探头块中被供给相同的检查信号的探头在信号源中连接到相同的通道，以信号源的有限的通道数检查各有效区域。当然，在1个有效区域具备1个焊盘组、对这样的有效区域使用1个探头块进行检查的情况下也能够采用。

如以上说明，根据本实施方式，能够提供可实现成本的削减及检查效率的改善的显示装置的检查装置、显示装置用母基板的检查方法及显示装置。

另外，说明了本发明的一些实施方式，但这些实施方式是作为例子提示的，并不是要限定发明的范围。例如，在上述实施方式中，使对1个有效区域使用的两个以上的探头块中的探头的配置相同，但不是特别进行限制的，也可以变更探头的排列及探头的数量。此外，探头的间距及焊盘的间距不需要相同，也可以在一个焊盘组或一个探头块中使一部分焊盘或探头的间距不同。另外，在上述实施方式中，记载了在一个有效区域(相当于一个显示面板)设置两个焊盘组、使用两个探头块(1组探头块)进行检查，但也可以用基板上的布线将两个以上的有效区域间连接，将两个以上的有效区域使用1组探头块进行检查。这些新的实施方式能够以其他各种 形态实施，在不脱离发明的主旨的范围内能够进行各种省略、替换、变更。这些实施方式及其变形包含在发明的范围及主旨中，并且包含在权利要求书所记载的发明和其等价的范围中。